专利名称：一种楔形膜制作夹具的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于楔形膜制作领域，涉及一种楔形膜制作夹具的装置。
背景技术：
楔形介质薄膜的制作属于精密加工领域,不仅要求精确控制楔形介质薄膜的厚度变化从几微米到几十微米，且厚度变化需符合线性方程，薄膜的使用长度可从几十毫米达到几百毫米。目前世界上只有加拿大等极少数国家掌握了大尺寸楔形介质薄膜的制作技术，从国外文献资料了解，他们采用了镀介质膜的工艺方法来实现楔形膜的制作，该方法的工艺过程是:首先，在光学基板上镀制半透半反膜，然后在半透半反膜上离子束溅射楔形介质膜，最后在介质膜上再镀一层半透半反膜，从而形成楔形介质薄膜。该方法的缺点是:1.镀厚度在5 μ m 40 μ m范围内线性变化的介质膜，制作时间长，斜率控制难度大，成活率低；2.厚度较厚的介质膜从镀膜机的真空环境中取出后，在空气中受湿度和内应力影响而易损坏。中国科技大学开展了基于斐索干涉仪中楔形腔的小尺寸楔形介质膜的制作工艺研究。但是对于大尺寸楔形薄膜的研究、制作在国内尚属空白，如何制作大尺寸楔形薄膜是一个难题，现处于摸索阶段。
发明内容本实用新型的目的是:提供一种楔形膜制作夹具的装置，解决了目前斐索干涉仪中厚度在5um-50um间线性变化的楔形腔制作难、一致性差、成本高或组成楔形腔的光学元件空间尺寸太大的问题，保证了斐索干涉仪中楔形膜的长度方向厚度均匀变化，提高了楔形膜制作的合格率。本实用新型采取的技术方案为:一种楔形膜制作夹具的装置，其特征在于:包括底座I和压板2两个部分，底座I表面为斜面5，该斜面5与底座底面7有一定的角度，且斜面5上有矩形凹槽6，压板2为具有一定厚度的表面面型较好的厚板，其面积完全覆盖斜面5。凹槽6底面严格平行于底座底面7。所述斜面5与底座底面7有一定的角度由式tan(t=H-h/L确定。使用时压板2压在斜面上，在压板上加力达到压制楔形膜的目的。夹具使用过程中，只需将待制作的产品放入凹槽6中，将压板2盖在斜面5上，施加足够的压力即可使楔形膜成型。该夹具具有加工简单，使用方便，加工的产品一致性好等特点。本实用新型的有益效果为:本实用新型是一种控制楔形膜成型厚度变化均匀、成型后使得楔形膜表面平滑度好、产品一致性好、使用快速简单的制作夹具。本实用新型使用的压板具有较高的刚性和表面平整度，保证了压印过程中楔形膜的表面质量和厚度均匀性。
图1为本装置结构示意图；图2为基底结构外形视图；图3为楔形膜和基底组合放入底座后截面位置关系示意图；图4为图3的俯视图；图5为压制楔形膜时整体结构截面剖视图；图6为压制成功的楔形膜。其中，1:底座，2:压板；3:楔形膜基底，4:楔形膜涂层，5:斜面，6:凹槽。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型做进一步详细说明。请参阅说明书附图1 6。图1为一种楔形膜制作夹具的装置整体结构示意图，制作该装置过程中，要注意底座I材料要有足够的强度，其斜面凹槽6长度与楔形膜基底3长度相等，凹槽6宽度比楔形膜基底3宽度稍宽，以便于压制过程中多余的楔形膜涂层材料从两侧排出。如图1所示，凹槽6的低端高度h与楔形膜基底3厚度相等，其高端高度H不大于楔形膜基底和楔形膜涂层的厚度和。压板2是面型为1/10波长(波长为632.8nm)的光学模板，为了保证在压制过程中不变形，其厚度大于100mm。实施步骤:1.底座I凹槽内涂脱模剂；2.压板2压制面涂脱模剂；3.将附有楔形膜涂层4的基底3置于凹槽内；4.用压板2压制面压在楔形膜涂层上，并施加适当压力，使压板2与底座斜面5接触；5.将夹具和楔形膜一起放入烘箱，烘箱温度为95 120°C之间，时间为30分钟；6.脱模并去除脱模剂:7.楔形膜制作完成。该装置在压制楔形膜过程中，压板四周均有支撑，可以保证压板几乎无形变，使楔形膜的厚度均匀，该装置可重复使用，用同一组夹具压制出的楔形膜一致性较好，而且该装置结构简单，使用方便，造价低廉，可制作大尺寸楔形膜，克服了传统利用镀膜方式制作楔形膜的高成本，耗时长的缺点，具有有益的技术效果。
权利要求1.一种楔形膜制作夹具的装置，其特征在于:包括底座(I)和压板(2)两个部分，底座(I)表面为斜面(5)，该斜面(5)与底座底面(7)有一定的角度，且斜面(5)上有矩形凹槽(6)，压板(2)为具有一定厚度的表面面型较好的厚板，其面积完全覆盖斜面(5)。
2.根据权利要求1所述的一种楔形膜制作夹具的装置，其特征在于，凹槽(6)底面严格平行于底座底面(7)。
专利摘要本实用新型属于楔形膜制作领域，涉及一种能快速压制楔形薄膜的装置。一种楔形膜制作夹具的装置，包括底座(1)和压板(2)两个部分，底座(1)表面为斜面(5)，该斜面(5)与底座底面(7)有一定的角度，且斜面(5)上有矩形凹槽(6)，压板(2)为具有一定厚度的表面面型较好的厚板，其面积完全覆盖斜面(5)。使用时压板(2)压在斜面上，在压板上加力达到压制楔形膜的目的。本实用新型是一种控制楔形膜成型厚度变化均匀、成型后使得楔形膜表面平滑度好、产品一致性好、使用快速简单的制作夹具。本实用新型使用的压板具有较高的刚性和表面平整度，保证了压印过程中楔形膜的表面质量和厚度均匀性。
文档编号B29C43/02GK202985905SQ20122066868
公开日2013年6月12日 申请日期2012年12月4日 优先权日2012年12月4日
发明者王东辉, 郑普超, 包艳, 李秉实, 张兵, 张超 申请人:中国航空工业第六一八研究所