本发明涉及一种薄膜成型装置。
背景技术：
已知有一种薄膜成型装置：固化从模具装置的环状的喷出口挤出为管状的熔融树脂而成型薄膜。以往，提出有具备模具装置的薄膜成型装置，所述模具装置通过利用螺栓对确定环状的喷出口的外周的外周部件进行按压而能够使其弹性变形来局部性地变化喷出口的宽度(专利文献1)。通过局部性地变化喷出口的宽度，能够在圆周方向上局部性地控制薄膜的厚度。
以往技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-166365号公报
技术实现要素：
发明要解决的技术课题
如专利文献1中所记载的以往的薄膜成型装置中，通过对按压外周部件的螺栓的移动量(拧入量)进行管理，从而控制薄膜的厚度。然而，模具装置的附近因熔融树脂的热而成为比较高的温度，因此按压外周部件的螺栓能够受其热而热膨胀。这在管理螺栓的移动量而控制薄膜的厚度时，对其精度带来不良影响。
本发明是鉴于该种情形而完成的，其目的在于，提供一种能够以较高的精度来控制薄膜的厚度的薄膜成型装置。
用于解决技术课题的手段
为了解决上述课题，本发明的一种方式的薄膜成型装置具备：模具装置，将熔融树脂挤出为管状而成型薄膜；及控制装置，控制模具装置。模具装置包括：内周部件，确定圆环状的喷出口的内周；外周部件，环绕内周部件且确定喷出口的外周；及调节部，通过向内周部件及外周部件中的至少一方施加荷载来发生弹性变形，使喷出口的径向的宽度变化。控制装置利用通过由调节部施加的荷载来控制薄膜的厚度。
另外，在方法、装置、系统等之间相互置换以上构成要件的任意的组合或本发明的构成要件和表现的方式也作为本发明的方式有效。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够以较高的精度来控制薄膜的厚度的薄膜成型装置。
附图说明
图1是表示第1实施方式所涉及的薄膜成型装置的概略结构图。
图2是表示图1的模具装置的上部与其周边的剖视图。
图3是图1的模具装置的俯视图。
图4是表示图2的外周部件的上部与安装于其上的调节部的立体图。
图5是表示图2的外周部件的上部与安装于其上的调节部的侧视图。
图6是表示图2的调节部的立体图。
图7是表示图2的调节部的立体图。
图8(a)、图8(b)是用于说明调节部的动作的说明图。
图9是示意性地表示图1的控制装置的功能及结构的框图。
图10是表示第2实施方式所涉及的薄膜成型装置的调节部的结构的局部放大剖视图。
图11是表示第3实施方式所涉及的薄膜成型装置的调节部的结构的局部放大剖视图。
图12是表示第4实施方式所涉及的薄膜成型装置的调节部的结构的局部放大剖视图。
图13(a)、图13(b)是表示第5实施方式所涉及的薄膜成型装置的调节部的结构的图。
图14是表示变形例所涉及的薄膜成型装置的模具装置的上部与其周边的剖视图。
图15是表示图14的调节部的结构的局部放大剖视图。
图16是表示另一变形例所涉及的薄膜成型装置的模具装置的上部与其周边的剖视图。
图17是表示图16的调节部的结构的局部放大剖视图。
图18是表示又一变形例所涉及的薄膜成型装置的模具装置的上部与其周边的剖视图。
具体实施方式
以下，对各附图中所示的相同或相等的构成要件、部件标注相同的符号，并适当省略重复的说明。并且，为了便于理解，适当放大、缩小表示各附图中的部件的尺寸。并且，在各附图中说明实施方式时省略表示并非重要的部件的一部分。
(第1实施方式)
图1表示第1实施方式所涉及的薄膜成型装置1的概略结构。薄膜成型装置1成型管状的薄膜。薄膜成型装置1具备：模具装置2、冷却装置3、一对稳定板4、一对夹送辊5、厚度传感器6、及控制装置7。
模具装置2将由挤出机(未图示)供给的熔融树脂成型为管状。尤其，模具装置2通过从环状的狭缝18(图2中后述)挤出熔融树脂,将熔融树脂成型为管状。冷却装置3配置于模具装置2的上方。相对于从模具装置2所挤出的熔融树脂，冷却装置3从外侧吹送冷却风。熔融树脂被冷却，并成型薄膜。
一对稳定板4配置于冷却装置3的上方，且向一对夹送辊5之间引导所成型的薄膜。夹送辊5配置于稳定板4的上方，且提起所引导的薄膜的同时将其扁平地折叠。所折叠的薄膜通过卷取机(未图示)而被卷曲。
厚度传感器6配置于冷却装置3与稳定板4之间。厚度传感器6环绕管状的薄膜的周围的同时，测量薄膜的厚度。基于厚度传感器6的测量结果被发送至控制装置7。控制装置7向模具装置2发送与从厚度传感器6接收的测量结果相应的控制指令。模具装置2接收该控制指令，以厚度的不均变小的方式，调节狭缝18(尤其是该喷出口)的宽度。
图2是表示模具装置2的上部与其周边的剖视图。图3是模具装置2的俯视图。图3中，省略了冷却装置3的表示。
冷却装置3具备冷却环8及环状的整流部件9。冷却环8是内周部向下方凹陷的环状的框体。在冷却环8的内周部形成有向上侧开口的环状的吹出口8a。尤其，吹出口8a与以中心轴a为中心的环状的狭缝18同心的方式形成。
另外，之后如下进行说明：将与中心轴a平行的方向作为轴向，将在与中心轴a垂直的平面上通过中心轴a的任意的方向作为半径方向，将在径向上接近中心轴a的一侧作为内周侧，将远离中心轴a的一方作为外周侧，将在与中心轴a垂直的平面上沿着以中心轴a为中心的圆的圆周的方向作为圆周方向。
在冷却环8的外周部，在圆周方向上等间隔地形成有多个软管口8b。在多个软管口8b的每一个上连接软管(未图示)，冷却风经由该软管从鼓风机(未图示)送入冷却环8内。送入冷却环8内的冷却风从吹出口8a吹出，并吹送于熔融树脂。
整流部件9以包围吹出口8a的方式配置于冷却环8内。整流部件9对送入冷却环8内的冷却风进行整流。由此，冷却风在圆周方向上以均匀的流量、风速，从吹出口8a吹出。
模具装置2具备：模具主体10、内周部件12、外周部件14及多个(在此为32个)调节部16。内周部件12是载置于模具主体10的上表面的大致圆柱状的部件。外周部件14是环状的部件，且环绕内周部件12。在内周部件12与外周部件14之间，形成以环状的方式向上下方向延伸的狭缝18。熔融树脂朝向上侧而流经该狭缝18，且熔融树脂从狭缝18的喷出口(即上端开口)18a挤出，且被冷却装置3冷却，从而形成与喷出口18a的宽度相应的厚度的薄膜。在模具主体10的外周安装有多个加热器56。并且，在外周部件14的下部(具体而言为后述的大径部27)的外周也安装加热器56。模具主体10及外周部件14通过加热器56加热至所需的温度。由此，能够将流经模具装置2的内部的熔融树脂保持为适当的温度及熔融状态。
多个调节部16以围绕外周部件14的上端侧的方式在圆周方向上几乎无间隙地配置。尤其，调节部16以悬臂状安装于外周部件14。在多个调节部16的上方固定冷却装置3。多个调节部16分别能够向外周部件14施加径向向内的按压载荷或径向向外的拉伸载荷。因此，通过调节多个调节部16，能够在圆周方向上局部性地调整喷出口18a的宽度，且能够在圆周方向上局部性地控制薄膜的厚度。在薄膜中产生厚度的不均时，例如，从与壁厚较薄的部分对应的(例如位于壁厚较薄的部分的下方)调节部16向外周部件14施加拉伸载荷，且加大壁厚较薄的部分的下方的喷出口18a的间隙。由此，薄膜厚度的不均减小。
图4、图5是表示外周部件14的上部与安装于其上的调节部16的立体图及侧视图。图4、图5中，仅表示1个调节部16，省略其余的调节部16的表示。图6、图7是表示调节部16的立体图。图7中，表示拆卸一对支承部件30的其中一个的状态。
外周部件14的上部具有：小径部25，形成于上端；中径部26，在小径部25的下方形成为比小径部25更大的直径；及大径部27，在中径部26的下方形成为比中径部26更大的直径。小径部25具有柔性模唇部22。柔性模唇部22是指沿着圆周方向而设置的比凹状的缺口部20更靠上侧的小径部25的部分。柔性模唇部22以缺口部20为边界而发生弹性变形。柔性模唇部22包括圆筒状的主体部28以及从主体部28沿径向外侧伸出的环状的突出环绕部29。
调节部16包括：一对支承部件30，安装于外周部件14；转动轴32，固定于一对支承部件30；操纵杆34，以转动轴32为支点可转动的被支承；工作杆36，接受基于操纵杆34的旋转力而沿轴线方向工作；连结部件38，沿轴线方向连结工作杆36与柔性模唇部22；轴承部件40，沿轴线方向可滑动地支承工作杆；及驱动器24，向操纵杆34施加旋转力。
一对支承部件30形成为平板状且以彼此平行的方式螺纹固定于外周部件14。在一对支承部件30之间设置用于夹设操纵杆34的空间。轴承部件40形成为长方体状，且在支承部件30的径向内侧螺纹固定于外周部件14。在轴承部件40上形成有沿径向贯穿的插穿孔42。插穿孔42的内周面构成所谓的滑动轴承(无供油型的轴承)，且可滑动地支承工作杆36。
转动轴32以该轴朝向水平方向，并且沿径向大致正交的方式固定于一对支承部件30。
工作杆36形成为阶梯圆柱状，且该中间部插穿于轴承部件40的插穿孔42。在工作杆36的径向外侧设置有缩径部44。如后所述，缩径部44作为与操纵杆34的连结部而发挥功能。在工作杆36的径向内侧设置有凹状的卡合部46。如后所述，卡合部46作为与连结部件38的连接部而发挥功能。柔性模唇部22的突出环绕部29的外周面(以下，称为“受压面23”)与工作杆36的前端面对置。
在纵剖视观察时连结部件38形成为分叉形状。具体而言，在连结部件38中，轴向上与外周部件14对置的面上设置有向下侧突出的卡合部48、50。卡合部48与工作杆36的卡合部46呈大致互补形状。并且，在柔性模唇部22的突出环绕部29形成有向轴向下方凹陷的环状的卡合槽52。卡合部50与该卡合槽52呈大致互补形状。
螺纹固定工作杆36与连结部件38，以使卡合部48卡合在卡合部46、卡合部50卡合在卡合槽52。卡合部48与卡合部46的彼此的对置面被设为锥面。由此，随着紧固螺纹54，工作杆36的前端面按压于柔性模唇部22的受压面23，从而牢固地固定工作杆36与柔性模唇部22。通过连结部件38的卡合部50与工作杆36的前端部夹持柔性模唇部22的一部分。由此，工作杆36在该轴线方向上与柔性模唇部22连接。
操纵杆34具有沿径向延伸的长条板状的主体60，沿转动轴32可转动地支承其一端部。在非工作的状态下，操纵杆34以主体60与工作杆36大致平行的方式进行设置。并且，以从主体60的一端部向与该主体60的轴线垂直的方向延伸的方式设置有分叉形状的连结部62。即，连结部62由一对连结片64构成，并以它们之间的间隔略大于工作杆36的缩径部44的外径，且它们的宽度略小于缩径部44的长度的方式构成。通过这种结构，以连结部62嵌合在缩径部44的方式连结操纵杆34与工作杆36。
另外，若是操纵杆34的旋转力直接向工作杆36施加的结构，则并不限定于本实施方式。例如，连结部62也可以设为未从主体60的轴线向垂直的方向延伸的结构。主体60的轴线与连结部62的延伸方向可以呈锐角，或者也可以呈钝角。并且，在非工作的状态下，操纵杆34也可以设为主体60不与工作杆36平行。
驱动器24在本实施方式中是气压驱动式，且包括通过压缩空气的供排而工作的两组波纹管70、72及波纹管71、73、第1基座75、配置于第1基座75的轴向下侧的第2基座76、及4根连结棒77。第1基座75与第2基座76沿轴向分开配置，且通过4根连结棒77连结。在操纵杆34与第1基座75之间配置有波纹管70、72，且在操纵杆34与第2基座之间配置有波纹管71、73。即，成为操纵杆34的力点的端部以夹持于波纹管70、72与波纹管71、73之间的方式被支承。通过向波纹管70、72或波纹管71、73的其中一个供给压缩空气，操纵杆34在图中以顺时针或逆时针的方式被旋转驱动。
图5中，若通过压缩空气的供给而向波纹管70、72施加压力使波纹管70、72伸长，则操纵杆34在图中以逆时针的方式转动，该旋转力转换为朝向工作杆36的轴线方向左侧(即径向外侧)的力。其结果，相对于柔性模唇部22而施加拉伸荷载，从而对应的(即该调节部16的径向内侧的)狭缝18的喷出口18a的部分的间隙向增大的方向发生变化。另一方面，若通过压缩空气的供给而向波纹管71、73施加压力使波纹管71、73伸长，则操纵杆34在图中以顺时针的方式转动，该旋转力转换为朝向工作杆36的轴线方向右侧(即径向内侧)的力。其结果，相对于柔性模唇部22而施加按压荷载，从而对应的狭缝18的部分的间隙向减少的方向发生变化。
为了实现这种气压驱动，压缩空气从未图示的压力调整装置经由形成于第1基座75的供给通道75a或供给于第2基座76的供给通道76a而被供给。压力调整装置根据来自调节动作控制部83(后述)的控制指令，控制波纹管70～73内的压力。
图8是用于说明调节部16的动作的说明图。图8(a)表示调节部16的中立状态(波纹管70～73均为非工作的状态)，图4(b)表示调节部16的展开工作状态(仅波纹管70、72工作的状态)。
根据调节部16，操纵杆34的旋转力在作用点p上可直接向工作杆36施加。即，操纵杆34的旋转力作为工作杆36的轴线方向的力而向柔性模唇部22施加。此时，工作杆36通过外周部件14被稳定地支承，因此该轴线方向的力可有效地传递至柔性模唇部22。其结果，能够有效地使用于调整内周部件12与外周部件14之间的间隙的驱动力发挥作用。
本实施方式中，如图8(a)所示，连结操纵杆34与工作杆36的连接点(操纵杆34的作用点p)与转动轴32(操纵杆34的支点)的直线l1以与工作杆36的轴线l2正交的方式构成。由此，以转动轴32为中心而通过作用点p的假想圆c的切线方向与工作杆36的轴线方向一致。
因此，如图8(b)所示，操纵杆34的旋转力的作用点p上的方向与工作杆36的轴线方向一致。其结果，操纵杆34的旋转力直接成为工作杆36的轴线方向的驱动力，从而能够最大限度地提高力的传递效率。即，能够极其有效地使供柔性模唇部22展开工作时的驱动器24的驱动力发挥作用(参考图中粗线箭头)。
虽省略图示，但是即使在调节部16的缩小工作状态(仅波纹管71、73工作的状态)下，只要图8(b)中的力的方向相反，则操纵杆34的旋转力的作用点p上的方向与工作杆36的轴线方向一致。其结果，与展开工作时相同地，操纵杆34的旋转力直接成为工作杆36的轴线方向的驱动力，从而能够最大限度地提高力的传递效率。即，根据调节部16，能够有效地使用于调整狭缝18的喷出口18a的间隔的驱动力发挥作用。
另外，若是操纵杆34的旋转力直接向工作杆36施加的结构，则并不限定于本实施方式。例如，可以设为连结部62的延伸方向(连结转动轴32与作用点p的方向)与工作杆36的轴线方向呈锐角或钝角的结果、操纵杆34的旋转力的作用点p上的方向(为方便起见，还称为“旋转力作用方向”)与工作杆36的轴线方向(为方便起见，还称为“轴线力作用方向”)不一致的结构。该情况下，主体60与工作杆36平行，另一方面，主体60的轴线与连结部62的延伸方向也可以呈锐角或钝角。或者，主体60的轴线与连结部62的延伸方向呈直角，另一方面，主体60与工作杆36可以彼此不平行。或者，主体60的轴线与连结部62的延伸方向呈锐角或钝角，并且主体60与工作杆36可以彼此不平行。并且，作为主体60，也可以采用在至少一部分具有折弯部或弯曲部的结构(并不一定能够确定轴线的结构)。
图9是示意性地表示控制装置7的功能及结构的框图。在此所示的各框在硬件方面能够由以计算机的cpu为代表的元件或机械装置来实现，在软件方面通过计算机程序等来实现，但在此，描绘通过它们之间的协作来实现的功能框。因此，本领域技术人员能够理解这些功能框能够通过硬件、软件的组合而以各种形式来实现。
控制装置7包括：保持部80、获取部81、确定部82及调节动作控制部83。获取部81获取基于厚度传感器6的测量结果。保持部80将薄膜的厚度与调节部16应施加于外周部件14的荷载建立对应关联而保持。更具体而言，保持部80将薄膜的厚度与为了使具有该厚度的薄膜成为目标的厚度而调节部16应施加于外周部件14的荷载建立对应关联而保持。
确定部82确定为了缩小厚度的不均而各调节部16应施加于周部件14的荷载。尤其，确定部82参考通过厚度传感器6测量的厚度与保持部80，而确定应向外周部件14施加的荷载。并且，确定部82计算将调节部16的波纹管70～73的压力控制为多少，使得所确定的荷载施加于外周部件14。调节动作控制部83向压力调整装置发送控制指令，以使波纹管70～73的压力成为通过确定部82计算出的压力。
对如上结构的薄膜成型装置1的动作进行说明。
控制装置7通过基于厚度传感器6的测量结果而掌握薄膜的厚度的不均，且以缩小该厚度的不均的方式控制模具装置2的各调节部16。在控制装置7向调节部16施加按压荷载时，提高调节部16的波纹管71、73的压力而使操纵杆34以顺时针的方式进行转动。并且，在控制装置7向调节部16施加拉伸荷载时，提高调节部16的波纹管70、72的压力而使操纵杆34以逆时针的方式进行转动。
以上，基于已说明的本实施方式所涉及的薄膜成型装置1，根据通过厚度传感器6测量的薄膜的厚度，而确定调节部16应施加于外周部件14的荷载。在此，模具装置2的周边因用于熔融树脂的热而变为比较高的温度，因此工作杆36或操纵杆34受其热而热膨胀。因此，例如根据所测量的薄膜的厚度以工作杆36的位移量成为所期望的值的方式进行管理，从而控制薄膜的厚度时，会对该精度带来不良影响。与此相对，本实施方式中，根据所测量的薄膜的厚度，以工作杆36(即调节部16)应施加于外周部件14的荷载成为所期望的值的方式进行管理，从而控制薄膜的厚度。因此，即使工作杆36或操纵杆34因热而膨胀，也能够以较高的精度来控制薄膜的厚度。
并且，根据实施方式所涉及的薄膜成型装置1，经由操纵杆34向柔性模唇部22传递驱动器24的旋转力。即，驱动器的旋转力通过杠杆原理放大而传递至柔性模唇部22。因此，能够相对降低驱动器24所需要的输出。因此，例如能够减少驱动器24所需的波纹管的数量。或者，能够缩小波纹管的大小。
(第2实施方式)
接着，对第2实施方式进行说明。本实施方式所涉及的调节部除了工作杆与柔性模唇部的连接结构不同以外，与第1实施方式相同。因此，对与第1实施方式相同的构成部分标注相同的符号等，并省略其说明。图10是表示第2实施方式所涉及的调节部的结构的局部放大剖视图。
本实施方式中，在工作杆236的径向内侧设置有外螺纹部240。在外螺纹部240的基端部螺合有螺母242。另一方面，连结部件238呈纵剖视u字状，并在其上部贯穿形成有能够与外螺纹部240螺合的内螺纹部244。
在这种结构下，通过使外螺纹部240螺合至贯穿内螺纹部244的程度，从而工作杆236的前端面按压于柔性模唇部22的受压面23，使得工作杆236与柔性模唇部22被牢固地固定。此时，通过紧固螺母242，能够使工作杆236与连结部件238的固定稳定。此时，柔性模唇部22的一部分成为通过连结部件238的卡合部50与工作杆236的前端部夹持的形状，由此，工作杆236在该轴线方向上与柔性模唇部22连接。
(第3实施方式)
接着，对第3实施方式进行说明。本实施方式所涉及的调节部除了工作杆与柔性模唇部的连接结构不同以外，与第2实施方式相同。因此，对与第2实施方式相同的结构部分标注相同符号等，并省略其说明。图11是表示第3实施方式所涉及的调节部的结构的局部放大剖视图。
本实施方式中，与第2实施方式相同地，在工作杆336的下部设置有外螺纹部240，在该基端部螺合有螺母242。另一方面，代替卡合槽52，在柔性模唇部22的突出环绕部29设置有从受压面23沿径向内侧延伸的内螺纹部344，且外螺纹部240构成为能够沿轴线方向螺合。
在该种结构下，通过使外螺纹部240螺合于内螺纹部344，能够直接连结工作杆336与柔性模唇部22。此时，通过紧固螺母242，能够牢固地固定工作杆336与柔性模唇部22。此时，通过调整外螺纹部240向内螺纹部344的拧入量，能够高精度地设定工作杆336与操纵杆34的位置关系。即，能够使操纵杆34的旋转力的作用点p上的方向与工作杆336的轴线方向一致。
(第4实施方式)
接着，对本发明的第4实施方式进行说明。本实施方式所涉及的调节部除了工作杆与操纵杆的连接结构不同以外，与第1实施方式相同。图12是表示第4实施方式所涉及的调节部的结构的局部放大剖视图。
本实施方式中，通过在工作杆436的外周侧端部上沿轴线方向组装螺纹420，在工作杆436的外周侧端与螺纹420的头部之间形成有缩径部444。而且，在该缩径部444组装有操纵杆34的连结部62。通过这种结构，无需如第1实施方式那样在工作杆36的外周面加工缩径部44的工序。缩径部444在构成作用点p的方面上被要求高精度，因此能够通过省略该切削加工等来降低制造成本。并且，例如通过加大螺纹420的紧固强度，能够更坚固地连结工作杆436与操纵杆34。
(第5实施方式)
接着，对第5实施方式进行说明。本实施方式所涉及的调节部除了工作杆与操纵杆的连接结构不同以外，与第1实施方式相同。图13是表示第5实施方式所涉及的调节部的结构的图。图13(a)是表示工作杆与操纵杆的连接部及其周边结构的局部放大剖视图，图13(b)是工作杆的主视图。
本实施方式中，在工作杆536的外周侧端部设置有分叉形状的臂部540，并以横穿该臂部540的方式设置有转动轴544。另一方面，操纵杆534的连结部562并非如第1实施方式那样的分叉形状，以凸缘状延伸，并在其中央设置有用于供转动轴544插穿的插穿孔546。连结部562能够转动地连接于转动轴544。通过该结构，转动轴544的位置成为操纵杆534的作用点。操纵杆534能够在与工作杆536的连结部上相对地转动，因此在使工作杆536较大地位移时，具有能够防止过大的负荷施加于作用点p等的优点。
以上，对实施方式所涉及的薄膜成型装置的结构与动作进行了说明。本领域技术人员能够理解，这些实施方式仅为例示，这些各构成要件的组合中能够进行各种变形例，并且这种变形例也在本发明的范围。
(变形例1)
图14是表示变形例所涉及的薄膜成型装置的模具装置2的上部与其周边的剖视图。图14与图2对应。图15是表示图14的调节部的结构的局部放大剖视图。图15与图8(a)对应。本变形例中，连结部62的延伸方向(连结转动轴32与作用点p的方向)与主体60的轴线呈钝角，在操纵杆34非工作状态下，主体60的轴线不与工作杆36的轴线平行。由于基于驱动器的旋转力而向外周部件14施加荷载，因此主体60的轴线可以不与工作杆36的轴线成为平行的结构。此时，调节部16的配置自由度提高。
(变形例2)
图16是表示另一变形例所涉及的薄膜成型装置的模具装置2的上部与其周边的剖视图。图16与图2对应。图17是表示图16的调节部的结构的局部放大剖视图。图17与图8(a)对应。本变形例中，调节部16配置为，朝向轴向上侧而向外周部件14施加荷载。根据本变形例所涉及的薄膜成型装置，能够发挥与通过各实施方式所涉及的薄膜成型装置而发挥的作用效果相同的作用效果。
(变形例3)
实施方式中，对调节部16配置于外周部件14的外侧，且向外周部件14施加按压或拉伸的荷载而使外周部件14发生弹性变形的情况进行了说明，但是并不限于此。调节部16也可以通过向内周部件12施加荷载而使外周部件14发生弹性变形，从而使狭缝18的喷出口的径向的宽度局部性地变化。此时，内周部件12形成为空心，且调节部16可以配置于其空心部分。并且，例如保持部80可以将薄膜的厚度与为了使具有该厚度的薄膜成为目标的厚度而调节部16应施加于内周部件12的荷载建立对应关联而保持。
(变形例4)
实施方式中，对保持部80将薄膜的厚度与为了使具有该厚度的薄膜成为目标的厚度而调节部16应施加于外周部件14的荷载建立对应关联而保持的情况进行了说明，但是并不限于此。只要保持部80保持与薄膜的厚度以及调节部16应向外周部件14施加的荷载的关系有关的信息即可。例如，保持部80也可以保持表示薄膜的厚度以及为了使具有该厚度的薄膜成为目标的厚度而调节部16应施加于外周部件14的荷载的关系的关系式。此时，确定部82利用该关系式，并以缩小厚度的不均的方式来确定多个调节部16应施加于外周部件14的荷载即可。而且，如所确定的荷载向外周部件14施加那样，确定部82只要计算将调节部16的波纹管70～73的压力控制为多少即可。
并且，保持部80可以将薄膜的厚度与用于实现为了使具有该厚度的薄膜成为目标的厚度而调节部16应施加于外周部件14的荷载的波纹管70～73的压力建立对应关联而保持。此时，确定部82，参考通过厚度传感器6来测量的厚度与保持部80，来确定波纹管70～73的压力即可。
(变形例5)
实施方式中，设为如下结构：通过基于驱动器的驱动而引起的操纵杆及工作杆的工作，相对于柔性模唇部而能够施加拉伸荷载及按压荷载这两者。即，柔性模唇部能够从调节部的中立状态进行展开工作，并且能够进行缩小工作。在变形例中，可以设为相对于柔性模唇部而能够仅施加拉伸荷载或按压荷载的其中之一的结构，且能够仅进行柔性模唇部的展开工作或缩小工作的其中之一。例如，工作杆36的一端侧可以连接为，相对于柔性模唇部22能够仅向按压方向或拉伸方向的其中一个方向施加作用力(驱动力)。该情况下，若经由工作杆36的作用力被解除，则柔性模唇部22可根据该弹性等而能够返回至作用力施加前的状态。
(变形例6)
实施方式中，例示了作为驱动器24采用气压驱动方式的驱动器，向波纹管70、72或波纹管71、73的其中一个供给压缩空气时，将另一个向大气开放的结构。在变形例中，可以设为通过向波纹管70、72及波纹管71、73这两者供给压缩空气，并在这些中产生压力差，从而构成为能够向柔性模唇部施加拉伸荷载或按压荷载。例如，通过对波纹管70、72及波纹管71、73设置独立的压力调整阀，能够产生该压力差。
(变形例7)
实施方式中，例示了在一个操纵杆的两侧分别设置拉伸用的波纹管70、72及按压用的波纹管71、73的结构。在变形例中，可以设为仅在一个操纵杆的单侧设置波纹管，且通过对该波纹管进行升压或减压，来使操纵杆沿拉伸方向或按压方向工作的结构。
(变形例8)
实施方式中，作为驱动器24采用了气压驱动式的驱动器，但也可以设为基于水压或液压的驱动方式。并且，作为波纹管，例示了圆形类型的波纹管，但也能够采用矩形以外的形状。而且，也可以采用马达驱动以外的驱动器。
(变形例8)
图18是表示又一变形例所涉及的薄膜成型装置的模具装置2的上部与其周边的剖视图。图18与图2对应。
本变形例中，在外周部件14的上部的外周，具体而言，在外周部件14的小径部25的外周也安装有加热器56。在外周部件14的上部，通过来自冷却环8的冷却风的影响而熔融树脂的温度容易下降时，通过在小径部25的外周安装加热器56，由此能够将熔融树脂以更加适宜的温度及熔融状态保持，其结果，能够提高薄膜的品质。另外，本变形例中，与实施方式相同地，通过以应向外周部件14施加的荷载成为所期望的值的方式进行管理，而控制薄膜的厚度，因此，即使构成调节部16的部件因用于熔融树脂的热而膨胀，也能够以高精度控制薄膜的厚度。因此，能够在外周部件14的小径部25的外周安装加热器56。
并且，本变形例中，小径部25如下形成：与第1实施方式相比，比突出环绕部29更靠下方的小径部25的部分即弹性变形的变形部沿轴向变长。由此，柔性模唇部22的可变量变大，且薄膜的厚度的调整范围变大。
另外，内周部件12形成为空心时，代替外周部件14的上部的外周，或者除了外周部件14的上部的外周之外，加热器56可以安装于内周部件12的内周。
上述的实施方式及变形例的任意的组合也作为本发明的实施方式而有用。通过组合而产生的新的实施方式兼具每个组合的实施方式及变形例的效果。
符号说明
1-薄膜成型装置，2-模具装置，3-冷却装置，6-厚度传感器，7-控制装置，10-模具主体，12-内周部件，14-外周部件，16-调节部，80-保持部，81-获取部，82-确定部，83-调节动作控制部。
产业上的可利用性
根据本发明，能够提供一种能够以较高的精度来控制薄膜的厚度的薄膜成型装置。