模架、模具用凹槽单元、压缩成形用模具及压缩成形装置的制作方法

本发明涉及在对并列配置的多个工件分别单独进行夹紧并同时进行压缩成形时使用的模具用模架、模具用凹槽单元、压缩成形用模具以及使用上述构件的压缩成形装置。

背景技术：

针对利用脱模薄膜覆盖设于下模的下模腔室凹部，向下模腔室凹部供给模制树脂(颗粒树脂、液状树脂、粉状树脂等)，夹紧将工件保持于上模的模制模具并进行压缩成形的装置，开发有各种装置并实现了实用化(参照日本特开2010－36542号公报)。

针对下腔室可动型压缩成形用模制模具，由于利用1个模具对1个工件进行树脂模制的装置为主流，因此，从减少设置面积、提高生产性的观点出发，还提案有如下的压缩成形装置，即，使用在高度方向上上下两层的压缩成形用模具的压缩成形装置(参照日本特开2010－94931号公报)。

但是，例如在对作为工件的长条状的条形基板进行压缩成形的情况下，在为树脂基板的情况下，与引线框相比厚度的偏差较大，而且存在如下情况：搭载于1个条形基板上的半导体芯片的数量与半导体芯片的不良情况相应地在搭载数量上产生偏差。而且，在1个条形基板上的半导体芯片的搭载数量发生变化的情况下，如果不使模制树脂的供给量也变化，则会由于压缩成形而使得最终封装部(树脂密封部)的成形厚度发生变化。难以一边综合地调整它们一边缩短成形时间地进行压缩成形。

在此，提案有如传送成形用模具那样，将条形基板平行配置两列并且进行压缩成形的几个压缩成形装置(参照日本特开2011－143730号公报、日本特开2012－40843号公报)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－36542号公报

专利文献2：日本特开2010－94931号公报

专利文献3：日本特开2011－143730号公报

专利文献4：日本特开2012－40843号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

上述日本特开2011－143730号公报的压缩成形装置搭载有一对压缩成形用的成形模具，在可动盘上支承有下模，在下模支承有形成了两个腔室的夹紧构件以及两个滑动构件。在构成腔室底部的滑动构件的背侧(下侧)设有安装杆，在各安装杆分别卷装有弹性构件。由此，各滑动构件以能够滑动的方式支承于包围各滑动构件的夹紧构件。并且，接受各滑动构件的安装杆的调整部件以支承于可动盘的一根轴为中心呈天平状地转动从而能够对熔融树脂施加均等的按压。但是，由于调整部件构造成仅以设于可动盘的一根轴为中心呈天平状地转动从而吸收向左右的腔室供给的左右的树脂量的偏差，因此，调整部件的强度存在问题。若调整部件的强度不足则存在破损的可能性，导致滑动构件无法发挥功能而无法吸收树脂量的偏差。而且，在进行模具的维护作业的情况下，或在针对不同的工件进行压缩成形的情况下，需要自压缩成形装置取下上模以及下模再进行作业。在该情况下，需要将保持一对工件的上模整体自固定盘取下，将具有两个腔室的下模整体自可动盘取下，因此，成为大规模的作业。

而且，在日本特开2012－40843号的压缩成形用模具中，吸附保持条形基板的两个上压缩模分别借助缓冲弹簧悬挂支承于上主模具。在两个上压缩模的周围，一个上框模借助弹簧悬挂支承于上主模具。而且，在与上主模具相对配置的下主模具，支承有构成下模腔室的两个下压缩模以及供这两个下压缩模插入的下框模。下压缩模支承固定于下主模具，下框模借助弹簧被浮动支承。在两个下压缩模以及下框模的表面吸附保持有一张脱模薄膜。分别吸附保持在上压缩模的条形基板的板厚误差通过缓冲弹簧的挠曲而被吸收。虽然能够利用上压缩模吸收板厚误差，但由于存在于两个条形件之间的下框模共用地将条形件夹入，因此，存在由于条形件厚度的差导致夹紧时下框模倾斜的可能性。并且，在由于向下模腔室供给的树脂量的偏差而导致左右的模具的高度发生变化时，存在在单侧未填充、未达到目标树脂压力的事例、存在冲压装置整体(尤其是作为可动模具的下模)倾斜的可能性。而且，为了对两个条形基板进行压缩成形，使用覆盖两个下模腔室(两个下压缩模以及下框模)的一张脱模薄膜，因此，在吸附保持脱模薄膜时，彼此拉扯脱模薄膜而难以在适当的位置进行吸附。而且，由于利用一张脱模薄膜覆盖两个下模腔室的表面，因此难以处理，产生对压缩成形没有帮助的无用的使用区域。而且，在进行模具的维护作业的情况下，或者在针对不同种类的工件进行压缩成形的情况下，需要一体地更换借助缓冲弹簧悬挂支承于上主模具的两个上压缩模，需要将支承于下主模具的两个下压缩模以及供这两个下压缩模插入并被浮动支承的下框模一体地取下而进行更换作业，因此，成为大规模的模具更换作业。

用于解决问题的方案

能够适用以下所述的几个实施方式的发明是为了解决上述课题而做出来的。

第一目的在于，提供能够吸收对并列配置的多个工件分别进行压缩成形时的工件的厚度的偏差、树脂量的偏差并且能够高精度地压缩成形的通用性较高的压缩成形用模具，以及使用压缩成形用模具的、生产性较高且维持成形品质的通用性较高的压缩成形装置。

第二目的在于，提供一种能够容易地进行多个模具凹槽单元的更换作业且通用性较高的压缩成形模具用的模架。而且，提供一种能够对利用沿横向排列地并列配置于上述模架的多个模具凹槽单元同时进行压缩成形时的模具夹紧时的模具高度的偏差进行调整，从而高精度地压缩成形的压缩成形用模具。

第三目的在于，提供一种模具凹槽单元，其能够容易进行在进行压缩成形时的薄膜的处理并减少无用的使用区域，而且，以薄膜难以产生褶皱且封装部的厚度成为恒定的方式使成形品质提高。而且，提供一种压缩成形用模具，其即使将多个模具凹槽单元沿横向排列地并列配置于模架，也能够吸收工件的板厚、树脂量的偏差从而提高成形品质，使模具凹槽更换作业性提高。

与以下所述的几个实施方式相关的发明至少包括以下结构。即，一种压缩成形用模具，其将沿横向排列地并列配置的多个工件分别夹紧并对多个工件同时进行压缩成形，其特征在于，该压缩成形用模具具有：第一模具，其具有对所述多个工件分别进行保持的工件保持部；以及第二模具，其利用夹具和腔室块来形成多个腔室凹部，该腔室凹部与所述工件保持部相对配置，该夹具用于夹紧所述工件且针对每个工件独立地配置，该腔室块通过在插入所述夹具内的状态下进行相对移动从而对树脂进行加压，所述第一模具具有调整机构，该调整机构能够针对每个所述工件分别地调整高度。

采用上述结构，向形成于第二模具的多个腔室凹部供给模制树脂，在将工件保持于第一模具的多个工件保持部的状态下闭模从而针对每个工件进行压缩成形。此时，即使多个工件存在板厚的偏差、向多个腔室凹部供给的树脂量存在偏差，也能够利用设于第一模具的调整机构来针对每个工件分别地调整模具夹紧时的模具高度的偏差，因此，能够高精度地压缩成形出树脂密封部(封装部)的厚度。

而且，在换产调整而进行模具更换时，能够共用设于第一模具的调整机构，因此能够提高通用性。

优选的是，所述第一模具在第一模架分别沿横向排列地并列配置有具有所述工件保持部的第一凹槽单元，所述调整机构具有向使所述第一凹槽单元自所述第一模架沿开闭模方向离开的朝向分别施力的弹簧单元，所述调整机构分别地进行并列配置于所述第一模架的所述第一凹槽单元的模具夹紧时的模具高度的偏差调整。

由此，针对分别沿横向排列地并列配置的每个第一凹槽单元，由调整机构所具有的弹簧单元分别地进行模具夹紧时的模具高度的偏差调整，因此，能够针对每个第一凹槽单元调整工件的板厚的偏差、树脂量的偏差。而且，即使更换第一凹槽单元，也能够一直使用设于第一模架的调整机构。

也可以是，所述第二模具在第二模架并列配置有具有所述腔室凹部的第二凹槽单元，各第二凹槽单元以形成所述腔室凹部的底部的腔室块和围绕在所述腔室块的周围地形成所述腔室凹部的侧部的夹具能够相对移动的方式支承于所述第二模架。

由此，一边将相对配置的第二凹槽单元的夹具相对于腔室块相对地压下，一边将由多个沿横向排列地并列配置于第一模具的第一凹槽单元的工件保持部保持的工件分别夹紧，因此，不会由于工件的板厚的偏差、树脂量的偏差导致第一模具或者第二模具整体倾斜，能够针对每个工件分别地进行压缩成形。

优选的是，覆盖包含所述腔室凹部的下模夹紧面的薄膜能够被每个所述第二凹槽单元吸附保持。

像这样，若针对每个第二凹槽单元使用覆盖下模夹紧面的薄膜，则在吸附保持于包含下模腔室凹部的下模夹紧面时容易处理，能够尽量地避免像长条薄膜那样产生对压缩成形没有帮助的无用的使用区域。

也可以是，压缩成形用模具具有：上模模架；上模凹槽单元，其隔着用于调整模具高度的调整机构以能够装卸的方式组装于所述上模模架，该上模凹槽单元在上模夹紧面具有工件保持部；下模模架，其与所述上模模架相对地设置；以及下模凹槽单元，其以能够插拔的方式组装于所述下模模架，该下模凹槽单元利用与所述工件保持部相对配置的下模腔室块和包围所述下模腔室块地以能够相对移动的方式被支承的夹具，形成下模腔室凹部。

利用设于上模模架的调整机构，针对每个工件分别调整模具夹紧时的模具高度的偏差，因此，能够高精度地压缩成形出树脂密封部(封装部)的厚度。

也可以是，一对所述上模凹槽单元沿横向排列地分别隔着所述调整机构以能够装卸的方式支承于所述上模模架，所述上模凹槽单元分别具备重叠地组装于所述调整机构并具有工件保持部的第一上模板和第二上模板，一对下模凹槽单元与一对所述上模凹槽单元相对地沿横向排列地分别以能够装卸的方式设于所述下模模架，所述下模凹槽单元分别具有第一下模腔室凹部和第二下模腔室凹部，该第一下模腔室凹部由与所述第一上模板相对配置的下模腔室块和包围所述下模腔室块地以能够相对移动的方式被支承的夹具形成，该第二下模腔室凹部由与所述第二上模板相对配置的下模腔室块和包围所述下模腔室块地以能够相对移动的方式被支承的夹具形成。

由此，即使一对上模凹槽单元沿横向排列地配置于上模模架，一对下模凹槽单元与一对上模凹槽单元相对地沿横向排列地配置于下模模架，也能够吸收并调整并列配置的每个模具凹槽单元的模具夹紧时的模具高度的偏差。上模凹槽单元或者下模凹槽单元能够单独地自上模模架或者下模模架装卸并更换，即使更换凹槽，也能够一直使用设于上模模架的调整机构。

一种压缩成形用模具，该压缩成形用模具沿横向排列地搭载有多个模具，该模具夹紧单个工件并对树脂进行压缩成形，该压缩成形用模具通过共同的开闭模机构进行开闭，其特征在于，该压缩成形用模具具有：第一模具，其具有用于保持所述工件的工件保持部；以及第二模具，其利用夹具和腔室块而形成腔室凹部，该腔室凹部与所述工件保持部相对配置，该夹具用于夹紧所述工件，该腔室块插入所述夹具内并通过相对移动来对树脂进行加压，在所述第一模具和所述第二模具中的任一模具中具有用于调整高度的调整机构。

在该情况下，例如即使是不一定能够沿横向排列地并列配置的较大尺寸的工件，也能够利用如下的第一模具或者第二模具的结构，调整与模具夹紧时的较大尺寸的工件相对应的模具高度的偏差，从而高精度地进行压缩成形，即，该第一模具或者第二模具沿横向排列地搭载有多个，且能够通过共同的开闭模机构进行开闭，并具有高度调整机构。

一种压缩成形用模具，其将沿横向排列地并列配置的多个工件分别地夹紧并对多个工件同时进行压缩成形，其特征在于，该压缩成形用模具具有：第一模具，其在第一模架所具有的第一基座部沿横向排列地支承用于保持所述工件的工件保持部；以及第二模具，其在第二模架所具有的第二基座部沿横向排列地支承腔室凹部，该腔室凹部与所述工件保持部相对配置且由夹具和腔室块形成，该夹具用于夹紧所述工件，该腔室块通过在插入所述夹具内的状态下进行相对移动从而对树脂进行加压，所述腔室块针对每个工件独立地支承固定于模具板，所述夹具针对每个工件独立地施力支承于所述模具板，在所述模具板和所述第二基座部之间针对每个工件独立地设有用于调整高度的调整机构。

由此，在利用第一模具和第二模具分别对多个工件进行夹紧时，能够利用施力支承于模具板的夹具以及设于模具板和第二基座部之间的调整机构，针对每个工件吸收模具高度的偏差，因此，能够不使模具倾斜地进行夹紧，其中，第一模具在第一基座部沿横向排列地设置有工件保持部，第二模具在第二基座部与工件保持部相对地设置有沿横向排列地配置的腔室凹部。

在具有上述任一压缩成形用模具的压缩成形装置中，能够使用并列配置有多个条形基板的模具凹槽单元，一边分别地吸收板厚以及夹紧位置的偏差一边同时进行压缩成形，因此，生产性、成形品质提高。

一种模架，其是将沿横向排列地并列配置的多个模具凹槽单元支承为能够装卸的上下一对模架，其特征在于，在上下任一方的模架即基座部一体地设有调整机构，该调整机构能够吸收由被各模具凹槽单元夹紧的所述工件的板厚、模制树脂的树脂量以及覆盖夹紧面的薄膜厚的合计的偏差所引起的模具夹紧时的模具高度的偏差。

采用上述结构，在上下任一方的模架与基座部一体地设有调整机构，因此，能够吸收由被沿横向排列地并列配置的多个模具凹槽单元夹紧的工件的板厚、模制树脂的树脂量以及覆盖夹紧面的薄膜厚的合计的偏差所引起的模具夹紧时的模具高度的偏差。

而且，在更换模具凹槽单元时，不需要更换模架，容易进行更换作业，即使更换模具凹槽单元也能够一直使用调整机构，因此，通用性较高。

也可以是，该模架具有：第一凹槽引导件，其与第一导块邻接地设于第一导块的开闭模面侧，该第一导块自第一基座部垂下地设置；以及第二凹槽引导件，其与第二导块邻接地设于第二导块的开闭模面侧，该第二导块自第二基座部立起地设置，利用所述第一导块和所述第一凹槽引导件将供所述第一凹槽单元插拔的台阶部分别形成于两侧，利用所述第二导块和所述第二凹槽引导件将供所述第二凹槽单元插拔的台阶部分别形成于两侧。

由此，第一凹槽单元能够以配置于两侧的由第一导块和第一凹槽引导件形成的台阶部为引导件自跟前侧插拔。第二凹槽单元能够以配置于两侧的由第二导块和第二凹槽引导件形成的台阶部为引导件自跟前侧插拔。因此，能够使模具的更换零件减少从而容易地进行更换作业。

也可以是，自第一基座部垂下地设置的框状的第一基座侧部和自第二基座部立起地设置的框状的第二基座侧部相对配置，将被所述第一基座侧部包围的第一模具空间部分隔开的第一导块和将被所述第二基座侧部包围的第二模具空间部分隔开的第二导块相对配置。

由此，第一基座部与第二基座部相对配置，框状的第一基座侧部与框状的第二基座侧部相对配置，因此，能够以夹紧状态将模具内封闭从而形成减压空间。而且，将第一模具空间部分隔开的第一导块和将第二模具空间部分隔开的第二导块相对配置，因此，能够容易地进行以能够插拔的方式收纳于第一模具空间部的第一凹槽单元和以能够插拔的方式收纳于第二模具空间部的第二凹槽单元的对位。

也可以是，第一基座侧部在第一凹槽单元插拔方向进深侧借助合叶以能够转动的方式连结于第一基座部，第二基座侧部在第二凹槽单元插拔方向进深侧借助合叶以能够转动的方式连结于第二基座部。

由此，当使第一基座侧部以设于第一凹槽单元插拔方向进深侧的合叶为中心相对于第一基座部旋转预定量时，保持于第一基座部的第一凹槽单元在插拔方向跟前侧暴露，因此，能够将第一凹槽单元向插拔方向跟前侧拉出从而进行更换。

而且，当使第二基座侧部以设于第二凹槽单元插拔方向进深侧的合叶为中心相对于第二基座部旋转预定量时，保持于第二基座部的第二凹槽单元在插拔方向跟前侧暴露，因此，能够将第二凹槽单元向插拔方向跟前侧拉出从而进行更换。

也可以是，所述调整机构具有弹簧单元，该弹簧单元沿开闭模方向相对于第一模架对第一凹槽板施力、或者沿开闭模方向相对于第二模架对第二凹槽板施力，或者，所述调整机构在第一模架和第一凹槽板之间、或者第二模架和第二凹槽板之间以能够滑动的方式设有坡面彼此叠合的滑动板。

由此，能够以简易的结构吸收并调整并列配置的每个模具凹槽单元的模具夹紧时的模具高度的偏差，即使更换模具凹槽单元也能够一直使用调整机构。

一种模具凹槽单元，其是利用第一凹槽单元和第二凹槽单元夹紧工件从而对树脂进行压缩成形的模具凹槽单元，其特征在于，在所述第一凹槽单元和所述第二凹槽单元的任一者的夹紧面设有工件保持部，在所述第一凹槽单元和所述第二凹槽单元的另一者的夹紧面形成有腔室凹部，该腔室凹部与所述工件保持部相对配置，该腔室凹部利用用于夹紧所述工件的夹具和插入所述夹具内并通过相对移动来对树脂进行加压的腔室块来形成，在所述夹具的夹紧面设有对覆盖所述腔室凹部的薄膜的外周缘部进行吸附保持的薄膜吸引孔或者具有吸引孔的吸引槽，在所述薄膜吸引孔和所述腔室凹部之间、或者具有吸引孔的吸引槽和所述腔室凹部之间设有周槽，在所述周槽的槽底部设有多个吸引孔。

采用上述模具凹槽单元，在包含设于任一个凹槽单元的腔室凹部在内的夹具的夹紧面，将薄膜的外周缘部吸附保持于薄膜吸引孔或者具有吸引孔的吸引槽，并且自在薄膜吸引孔和腔室凹部之间、或者具有吸引孔的吸引槽和腔室凹部之间设置的周槽的槽底部设置的吸引孔进行吸引，从而将薄膜的剩余部分收容于周槽，从而能够顺畅地进行薄膜的吸附固定和褶皱伸平。

因此，在利用沿横向排列地并列配置的模具凹槽单元将多个工件分别夹紧并且同时进行压缩成形时，能够防止由于在薄膜产生褶皱而导致成形品质的下降。而且，使薄膜的处理容易且消除薄膜的无用的使用区域。

也可以是，所述周槽兼用作供薄膜压动销进入的凹部，该薄膜压动销将设于第一凹槽单元和第二凹槽单元的任一者的夹紧面的薄膜压入。由此，在利用一对模具凹槽单元夹紧工件以及薄膜时，通过使薄膜压动销进入周槽内，从而能够可靠地将薄膜的剩余部分引导至周槽内进而使褶皱伸平。

也可以是，所述周槽兼用作工件保持部的卡盘爪的退避槽。

由此，即使设置将工件机械性地保持于工件保持部的卡盘爪，也能够在夹紧工件以及薄膜时使卡盘爪进入周槽，因此，不会与第二模具凹槽单元的夹紧面干扰。而且，不仅能够利用空气吸引，还能够利用卡盘爪使工件保持于工件保持部，因此，能够可靠地进行工件的交接。

一种模具用凹槽单元，其是将工件夹紧于一对凹槽单元并对树脂进行压缩成形的压缩成形模具用凹槽单元，其特征在于，在构成一方的凹槽单元的矩形形状的夹紧面的各边缘部或者凹槽板突出设置有第一锁定块，在相对的另一方的凹槽单元的夹紧面或者凹槽板相对面突出设置有能与所述第一锁定块啮合的第二锁定块。

由此，在将工件夹紧于一对凹槽单元时，能够通过第一锁定块和第二锁定块的凹凸嵌合进行相对的夹紧面彼此的对位。因此，能够有助于提高成形品质。

也可以是，第一凹槽单元具有第一卡定部，该第一卡定部以能够插拔的方式卡定于相对于第一模架立起形成的第一导块，第二凹槽单元具有第二卡定部，该第二卡定部以能够插拔的方式卡定于相对于第二模架立起形成的第二导块。

由此，使压缩成形用模具开模，通过在将第一卡定部卡定于自第一模架在两侧立起的第一导块的状态下插拔第一模具凹槽单元，能够容易地进行模具更换作业。

而且，通过在将第二卡定部卡定于自第二模架在两侧立起的第二导块的状态下插拔第二模具凹槽单元，能够容易地进行模具更换作业。

也可以是，在第一凹槽单元以及第二凹槽单元的相对位置设有用于校正夹紧面彼此的倾斜的矫平机构。

由此，能够维持在闭模时相对配置的第一凹槽单元和第二凹槽单元的夹紧面彼此的平行度。

一种模具用凹槽单元，其是具有第一凹槽单元和第二凹槽单元的压缩成形用的模具凹槽单元，该第一凹槽单元具有用于保持工件的工件保持部，该第二凹槽单元具有供模制树脂供给的腔室凹部，其特征在于，所述第二凹槽单元配置成使形成所述腔室凹部的底部的腔室块和形成所述腔室凹部的侧部的夹具能够相对移动，在所述夹具的与夹紧面所处侧相反的那侧的面设有用于限定该夹具的高度位置的止动件。

由此，与工件的板厚、向腔室凹部供给的树脂量的偏差相应地，利用止动件来限定夹具相对于腔室块的相对的高度位置，因此，能够吸收工件的板厚的偏差、向腔室凹部供给的树脂量的偏差，从而以期望的厚度进行压缩成形。

也可以是，沿着所述腔室块的外周缘部地设有多个溢出腔室。

由此，即使不针对每个工件准确地计量向腔室凹部供给的树脂量，也能够通过将剩余树脂收容于溢出腔室来将成形品的厚度保持恒定地进行压缩成形。

优选的是，在压缩成形用模具中，上述任一模具凹槽单元相对于模架沿横向排列地并列配置，所述模具用凹槽单元设为能够相对于所述模架独立地插拔。

由此，能够自模架取出相对于模架沿横向排列地并列配置的多个模具凹槽单元中的必要的模具凹槽单元，从而进行维护或者模具更换，能够使更换零件较少，容易地进行模具更换作业。而且，能够针对每个模具凹槽单元将薄膜以褶皱伸平的状态吸附保持在包含腔室凹部的夹紧面，使处理容易且消除薄膜的无用的使用区域。

发明的效果

能够提供一种通用性较高的压缩成形用模具，该压缩成形用模具能够吸收由对沿横向排列地并列配置的多个工件分别进行压缩成形时的工件的厚度的偏差、供给的树脂量的偏差所引起的模具夹紧时的模具高度的偏差，并且能够高精度地进行压缩成形。

而且能够提供一种使用上述压缩成形用模具并且生产性较高、维持成形品质的通用性较高的压缩成形装置。

在上下任一方的模架与基座部一体地设有调整机构，因此，能够吸收由被沿横向排列地并列配置的多个模具凹槽单元夹紧的工件的板厚、模制树脂的树脂量以及覆盖夹紧面的薄膜厚的合计的偏差所引起的模具夹紧时的模具高度的偏差。

而且，在更换模具凹槽单元时，不需要更换模架，容易进行更换作业，即使更换模具凹槽单元也能够一直使用调整机构，因此，通用性较高。

能够提供一种模具凹槽单元，其能够使进行压缩成形时的薄膜的处理容易进行并减少无用的使用区域，而且，以能够吸收工件的板厚的偏差、树脂量的偏差并使封装部的厚度成为恒定的方式使成形品质提高。

附图说明

图1是正面观察开模后的压缩成形用模具所得到的剖面说明图。

图2是图1的上模的局部剖切的剖面说明图。

图3是侧面观察图2的上模所得到的剖面说明图。

图4是从夹紧面侧观察图2的上模所得到的俯视图。

图5是图1的下模的剖面说明图。

图6是侧面观察图5的下模所得到的剖面说明图。

图7a是从夹紧面侧观察图5的下模所得到的俯视图，图7b是表示下模腔室块和下模可动夹具的闭模前后的状态的局部剖面图。

图8是正面观察图1的压缩成形用模具的闭模状态所得到的剖面说明图。

图9是正面观察模架所得到的剖面说明图以及自模架取出的模具凹槽单元的剖面说明图。

图10a是表示自模架取下模具凹槽单元前后的状态的正面观察到的剖面说明图，图10b是侧面观察自模架取出的模具凹槽单元所得到的剖面说明图。

图11a是正面观察其他例子的压缩成形模具所得到的剖面图，图11b是从夹紧面侧观察下模所得到的俯视图。

图12是正面观察对较大尺寸的工件进行压缩成形的情况下的压缩成形模具所得到的剖面说明图。

图13是侧面观察对图12的其他例子的较大尺寸的工件进行压缩成形的情况下的压缩成形模具所得到的剖面说明图。

图14a是从夹紧面侧观察对矩形基板进行模制的上模所得到的俯视图，图14b是从夹紧面侧观察下模所得到的俯视图。

图15a是从夹紧面侧观察对圆形基板进行模制的上模的俯视图，图15b是从夹紧面侧观察下模的俯视图。

图16是正面观察其他例子的压缩成形用模具所得到的剖面说明图。

图17是正面观察其他例子的压缩成形用模具所得到的剖面说明图。

图18是正面观察对一个条形基板进行压缩成形的情况下的压缩成形用模具所得到的剖面说明图。

图19是正面观察对三个条形基板进行压缩成形的情况下的压缩成形用模具所得到的剖面说明图。

图20a是表示设于上模的调整机构的其他例子的正面观察时的剖面说明图，图20b是侧面观察该调整机构所得到的剖面说明图。

图21是表示使用压缩成形用模具的树脂模制装置的一例的平面布局图。

图22是表示压缩成形装置的其他例子的说明图。

图23是表示接着图22的压缩成形装置的其他例子的说明图。

图24是表示压缩成形模具的其他例子的说明图。

图25是表示压缩成形模具的其他例子的说明图。

具体实施方式

以下，基于附图针对用于实施发明的一个实施方式进行详细地说明。另外，在称为模具凹槽单元时是表示，构成腔室凹部或者工件保持部的模具构件一体地组装而成的单元。而且，在称为压缩成形用模具时是表示，模具凹槽单元一体地组装于模架而成的构件，且是去掉开闭模机构后的构件。

[第一实施例]

图1是对多个工件w分别地进行压缩成形的压缩成形用模具1，其具有以下结构。另外，设想工件w为矩形形状的长条的条形基板(引线框、金属基板、陶瓷基板、树脂基板等)。设想工件w的大小为100mm×300mm左右(以下简称为“工件w”)。

压缩成形用模具1具有上模2(第一模具)以及下模3(第二模具)。压缩成形用模具1具有上模凹槽单元4(第一凹槽单元)，上模凹槽单元4具有将工件w保持于上模2的工件保持部2a，多个下模凹槽单元5(第二凹槽单元)相对地配置，下模凹槽单元5具有供模制树脂向下模3供给的下模腔室凹部3a。

而且，在上模模架6(第一模架)的多处(在图1中为两处)沿横向排列地并列设置有上模凹槽单元4。在下模模架7(第二模架)的多处(在图1中为两处)沿横向排列地并列设置有下模凹槽单元5。上模凹槽单元4和下模凹槽单元5分别相对地配置。在上模模架6具有调整机构8(作为用于使多个模具的总和高度相同的机构，即使是一个模具，也能够调整具有下述偏差的工件w，因此，以下称作“调整机构8”)，该调整机构8调整保持于多个工件保持部2a的工件w的板厚的偏差(指各个工件w的板厚的不同和1个工件平面内的局部的厚度以及倾斜度的不同这两者。以下统称为“偏差”。)、多个上模凹槽单元4以及下模凹槽单元5夹紧时的模具高度的偏差(除了所述“偏差”之外，包含由于向下模腔室凹部3a供给的树脂量的不同所产生的模具高度的差在内，简称为“偏差”。)。作为基于调整机构8实现的模具高度的偏差调整的结果是，使基于在压缩成形中使用的多个模具进行压缩成形后的模具总和高度一致，还能够避免冲压机构的倾斜。

采用上述结构，向分别设于相对于下模模架7并列设置的多个下模凹槽单元5的下模腔室凹部3a供给模制树脂，在分别设于相对于上模模架6并列设置的多个上模凹槽单元4的工件保持部2a保持工件w，在该状态下进行闭模，能够针对每个工件w进行压缩成形。

此时，即使多个工件w存在板厚的偏差、或者由于供给的树脂量的不同导致在模具夹紧时存在模具高度的偏差，也能够利用设于上模模架6的调整机构8分别调整相对配置的上模凹槽单元4以及下模凹槽单元5，因此，能够高精度地压缩成形出树脂密封部(封装部)的厚度。

而且，上模模架6以及下模模架7单层地设置多个凹槽单元，因此，能够通过确保基座的厚度来提高弯曲刚性，而且由于热容量较大，因此能够抑制成形循环中的温度变化。

而且，即使由于换产调整而更换上模凹槽单元4、下模凹槽单元5，由于设于上模模架6的调整机构8能够共用，因此能够提高通用性。

调整机构8配置于上模模架6和上模凹槽单元4之间。由此，即使更换上模凹槽单元4，也能够一直使用调整机构8。作为调整机构8的一例，具有相对于上模模架6向开闭模方向对上模凹槽单元4施力的弹簧单元。由此，能够利用简易的结构来调整多个沿横向排列地并列配置(以使工件的长边为平行的方式，在紧邻的横侧配置别的工件的配置方式)的模具凹槽单元的模具高度的偏差。

在此，针对构成压缩成形用模具1的上模2和下模3的构成例进行具体地说明。参照图2来说明上模2的构成例。上模模架6具有矩形板状的上模基座部6a(第一基座部)、以及沿着上模基座部6a的外周缘部垂下地设置的矩形框状的上模基座侧部6b(第一基座侧部)。在上模基座部6a垂下地设有将被上模基座侧部6b包围的上模空间部6c(第一模具空间部)分隔开的上模导块6d(第一导块)。在被上模导块6d分隔开的上模空间部6c(参照图9)分别设有调整机构8。

上模凹槽引导件6e(第一凹槽引导件)分别与上模导块6d邻接地设于上模导块6d的下端部。在上模导块6d和上模凹槽引导件6e之间(连续的壁面之间)且是在两侧分别形成有供上模凹槽单元4插拔的台阶部6f。能够像后述那样，以该一对台阶部6f为导轨地插拔上模凹槽单元4。

如图10b所示，上模基座部6a和上模基座侧部6b在邻接的一侧面侧(上模凹槽单元插拔方向进深侧)以能够借助合叶6g转动的方式相连结。在更换上模凹槽单元4时，能够以使上模基座侧部6b的插拔方向跟前侧端部自上模基座部6a离开的方式以合叶6g为中心向预定方向(绕图10b的逆时针方向)旋转。由此，能够将上模凹槽单元4以台阶部6f为导轨向跟前侧拉出从而进行更换。而且，并列配置于上模模架6的上模凹槽单元4能够分别独立地相对于上模模架6插拔，因此，维护的作业性良好。另外，优选的是，在上模基座部6a和上模基座侧部6b之间连结有用于限制上模基座部6a的开放角度的未图示的连杆构件。而且，也可以是，仅呈矩形框体状形成的上模基座侧部6b的跟前侧侧面部以能够借助合叶转动的方式连结于上模基座部6a(绕图10b的顺时针方向)。在该情况下，能够在插拔方向进深侧拔出上模凹槽单元4。

而且，例示了使凹槽单元横向地在进深侧、跟前侧滑动地进行插拔的结构，但不必限于使其横向地滑动的插拔，只要使模架和凹槽单元能够沿上下方向分离地装卸即可。

另外，也可以是，将上模空间部6c分隔开的中间部(图2的中间部)的上模导块6d以及上模凹槽引导件6e以能够装卸的方式设于上模基座部6a。由此，如后述的图12以及图13所示，即使工件w为一张较大尺寸的基板，也能够仅替换上模凹槽单元4，而使上模模架6以及调整机构8保持能够共用。

在图2以及图9中，针对调整机构8的构成例进行说明。在上模基座部6a重叠地设置销悬挂板8a。多个悬吊销8b插入于在销悬挂板8a上在左右方向(参照图2)以及前后方向(参照图3)上等间隔地设置的销孔8c，且销头部8b1(上端部)分别卡定于销孔8c。各悬吊销8b的顶端部8b2(下端部)连结于按压板8d。螺旋弹簧(只要是弹性体即可，并不特别限定于螺旋弹簧。)8e以从自然长度被压缩的状态插入在各销悬挂板8a和按压板8d之间。由此，按压板8d以及悬吊销8b被始终朝向垂直下方地施力。按压板8d的左右两侧端面能够被上模导块6d引导地以维持平行度的状态进行升降。

参照图2～图4说明上模凹槽单元4的构成例。

上模凹槽单元4在上端部具有上模凹槽板4a(第一凹槽板)。该上模凹槽板4a与调整机构8的按压板8d的下表面叠合地安装于按压板8d。上模凹槽板4a的外形尺寸与按压板8d相同，左右两侧端面能够被上模导块6d引导地以维持平行度的状态进行升降。在上模凹槽板4a的下表面重叠地设有外形尺寸比上模凹槽板4a大的上模支承块4b。上模支承块4b的左右两端部(第一卡定部)在保持与台阶部6f卡定的状态下以能够在跟前侧插拔的方式组装于上模导块6d(参照图2)。而且在上模支承块4b的下表面重叠地设有外形尺寸比上模支承块4b小的上模板4c。如图4所示，在上模板4c的下表面中央部，沿着工件外周缘部在多处穿孔形成有成为工件保持部2a的吸附孔2b。而且，在上模板4c的工件保持部2a的周围的多处(在图4中例如为6处)以能够转动的方式设有卡盘爪4d。

在图2中，卡盘爪4d呈水平部4d1和垂直部4d2连续的l字形状。将该水平部4d1的中途部能够以支点4e为中心转动地组装于上模支承块4b。在该水平部4d1的端部附近，螺旋弹簧4f以从自然长度被压缩的状态安装于水平部4d1与上模凹槽板4a之间。而且，在水平部4d1以贯穿上模板4c的方式一体地设有压动销4g。水平部4d1在螺旋弹簧4f的作用下被始终朝向下方施力，因此，压动销4g的顶端部突出设置到比上模板4c的夹紧面靠下方的位置。而且，卡定部4d3朝向工件外周缘部的内侧地形成在垂直部4d2的下端。卡盘爪4d在螺旋弹簧4f的反弹的作用下以支点4e为中心向利用垂直部4d2将工件w的外周缘部夹入的朝向被施力。因此，各卡定部4d3分别进入到工件w的外周缘部的下方而成为能够保持工件w的状态。在要将卡盘爪4d打开从而取下工件w的情况下，只需克服螺旋弹簧4f的施力地将压动销4g压入即可。而且，在上模板4c的比工件保持部2a靠外周侧的位置，突出设置有薄膜压动销4h。螺旋弹簧4i以从自然长度被压缩的状态安装在薄膜压动销4h与上模凹槽板4a之间。由此，薄膜压动销4h的顶端部突出设置到比上模板4c的夹紧面靠下方的位置。如后述那样，薄膜压动销4h是为了使覆盖下模3的夹紧面并被吸附保持的单张薄膜9的剩余部分伸展而设置的。

接下来说明下模3的构成例。

在图5中，下模模架7具有矩形板状的下模基座部7a(第二基座部)、以及沿着下模基座部7a的外周缘部立起地设置的矩形框状的下模基座侧部7b(第二基座侧部)。在下模基座部7a立起地设有将被下模基座侧部7b包围的下模空间部7c(第二模具空间部：参照图9)分隔开的下模导块7d(第二导块)。在被下模导块7d分隔开的下模空间部7c(参照图9)能够插拔地组装有下模凹槽单元5。

在图5中，下模凹槽引导件7e(第二凹槽引导件)分别与下模导块7d邻接地设于下模导块7d的上端部。在下模导块7d和下模凹槽引导件7e之间(连续的壁面之间)且在两侧分别形成有供下模凹槽单元5插拔的台阶部7f(参照图9)。能够以该一对台阶部7f为导轨地插拔下模凹槽单元5。在下模基座侧部7b的侧壁设有减压用吸引孔7b1，其连接于未图示的空气吸引机构。而且，在下模基座侧部7b的开闭模面设有密封构件7b2(o型密封圈等)，其在闭模时与上模基座侧部6b的相对面抵接从而对模具空间进行密封。

如图10b所示，下模基座部7a和下模基座侧部7b在邻接的一侧面侧(下模凹槽单元插拔方向进深侧)以能够借助合叶7g转动的方式相连结。在更换下模凹槽单元5时，能够使下模基座侧部7b的插拔方向跟前侧端部以自下模基座部7a离开的方式以合叶7g为中心向预定方向(绕图10b的顺时针方向)旋转。由此，能够将下模凹槽单元5以台阶部7f为导轨向跟前侧拉出从而进行更换。而且，并列配置于下模模架7的下模凹槽单元5能够分别独立地相对于下模模架7插拔，因此，维护的作业性良好。另外，优选的是，在下模基座部7a和下模基座侧部7b之间连结有用于限制下模基座侧部7b的开放角度的未图示的连杆构件。而且，也可以是，仅呈矩形框体状形成的下模基座侧部7b的跟前侧侧面部以能够借助合叶转动(绕图10b的逆时针方向)的方式连结于下模基座部7a。在该情况下，能够在插拔方向进深侧拔出下模凹槽单元5。

另外，也可以是，将下模空间部7c分隔开的中间部(图5的中间部)的下模导块7d以及下模凹槽引导件7e以能够装卸的方式设于下模基座部7a。由此，如后述的图12以及图13所示，即使工件w为一张较大(宽幅)尺寸的基板，也能够仅与上模凹槽单元4一起地替换下模凹槽单元5，而使下模模架7能够保持共用。

参照图5～图7a、图7b说明下模凹槽单元5的构成例。

下模凹槽单元5在下端部具有下模基座板5a。该下模基座板5a与下模基座部7a的上表面叠合地安装于下模基座部7a。下模基座板5a能够使其左右两侧端面被下模导块7d引导地以维持平行度的状态自图5的跟前侧分别插拔地安装。在下模基座板5a的上表面且是下模腔室块5d的铅垂下方投影面内，立起地形成有多个支承柱(支柱)5b。由此，能够防止下模腔室块5d的翘曲，并且通过改变支承柱5b的配置或者改变配置的疏密，能够对夹紧压力进行微调整。由此，在对较大尺寸(宽幅)的工件w，例如300mm×300mm的板件、直径超过300mm的半导体晶圆等进行压缩成形时，能够使ttv(totalthicknessvariation)提高。较大(宽幅)尺寸是指，比100mm×300mm左右的长条状条形基板宽的基板，不一定必须是矩形。

在支承柱5b支承有支承板5c。支承板5c与下模基座板5a同样地设为使其左右两侧端面被下模导块7d引导。在支承板5c的上表面中央部层叠支承有下模腔室块5d。下模腔室块5d构成下模腔室凹部3a的底部。构成下模腔室凹部3a的侧部的下模可动夹具5e以能够沿开闭模方向移动的方式支承于下模腔室块5d的周围。具体地说，压动销5f贯穿支承板5c地抵靠于下模可动夹具5e的下表面。在以从自然长度被压缩的状态插入于压动销5f与下模基座板5a之间的螺旋弹簧5g的作用下，比压动销5f大径的凸缘部5h始终抵靠于支承板5c的下表面侧。由此，压动销5f的上端自支承板5c突出，成为始终对下模可动夹具5e朝向上方施力的状态。另外，也可以是，下模腔室块5d如后述那样不隔着支承板5c地直接支承于支承柱5b。

本实施例中的夹紧例示了利用工件保持部2a和可动夹具5e将工件w夹入的情况，但在整体封装模制的情况下，在利用工件保持部2a的吸附孔2b吸引保持工件w而不利用下模可动夹具5e直接将工件w夹入地夹紧上模板4c的情况下，即在俯视时对工件w的外侧整体进行树脂模制的情况下也称为夹紧。

而且，以包围下模可动夹具5e的外周侧的方式设有矩形框状的下模凹槽板5j(第二凹槽板)。下模凹槽板5j层叠支承于支承板5c。下模可动夹具5e和下模凹槽板5j之间的间隙被密封构件5k(例如o型密封圈等)密封。下模可动夹具5e被设为一边使其内周侧被下模腔室块5d引导，使其外周侧被下模凹槽板5j引导，一边进行升降。

在下模凹槽板5j的外周面侧形成有与台阶部7f对应的带台阶部5m(第二卡定部)。如前述的图9所示，台阶部7f是通过将窄幅的下模导块7d和宽度比其宽的下模凹槽引导件7e连结起来而形成的。带台阶部5m以使夹紧面侧沿着该台阶部7f成为窄幅的方式沿着左右两侧面形成。能够以与该带台阶部5m相对的台阶部7f为导轨使下模凹槽单元5相对于下模模架7插拔。另外，在上模凹槽单元4和上模模架6之间、下模凹槽单元5和下模模架7之间，设有用于插拔各单元的空隙。因此，优选的是，在上模凹槽单元4和上模模架6、以及下模凹槽单元5和下模模架7，设有用于在安装状态下消除高度方向的空隙的螺纹固定机构。

如图7a所示，在下模可动夹具5e的夹紧面的周向上的多处设有用于避免自内周侧与卡盘爪4d的卡定部4d3干扰的退避槽5e1。而且，如图7a所示，与退避槽5e1连续地在其外周侧环绕地设有周槽5e2，该周槽5e2收容单张薄膜(剥离膜)9(参照图7b)的松弛的部分。在周槽5e2的底部的周向上的多处设有吸引孔5e3。周槽5e2不是必须一笔画成地连续，有吸引孔5e3即可，也可以局部断开。而且，在周槽5e2的外周侧环绕地设有吸附保持单张薄膜9的外周缘部的薄膜吸引槽5e4。在薄膜吸引槽5e4的底部的周向上的多处设有吸引孔5e5。也可以仅设置吸引孔5e5来实现薄膜吸附，但薄膜吸引槽5e4和吸引孔5e5的并用能够进一步可靠地实现薄膜吸附。薄膜吸引槽5e4不是必须一笔画成地连续，有吸引孔5e5即可，也可以局部断开。吸引孔5e3、吸引孔5e5连接于未图示的空气吸引机构。

如图7b所示，单张薄膜9向覆盖下模腔室凹部3a的下模夹紧面供给，并被在下模可动夹具5e的夹紧面的最外周形成的薄膜吸引槽5e4的吸引孔5e5吸附保持。而且，单张薄膜9沿着设于下模腔室凹部3a的底部外周(下模腔室块5d的外周)的吸引路5e6被吸附保持。若在该状态下对模具进行闭模，则会使突出设置到比上模板4c靠下方的位置的薄膜压动销4h进入相对的周槽5e2。此时，薄膜压动销4h在螺旋弹簧4i(参照图2)的施力的作用下将单张薄膜9的松弛部分压入周槽5e2，使其被吸引孔5e3吸引从而被收容。而且，保持工件w的外周缘部的卡盘爪4d的卡定部4d3(参照图2)收容于相对的退避槽5e1(参照图7a)，从而能够避免其与下模可动夹具5e发生干扰。另外，单张薄膜9被周槽5e2内的吸引孔5e3所吸引，因此，在开模时使贴附于成形品的单张薄膜9被下模3吸引从而顺畅地进行脱模。此时，薄膜压动销4h由于螺旋弹簧4i的挠曲而将单张薄膜9向下模3按压，因此，能够按压单张薄膜9直至薄膜压动销4h自下模3离开，成为更加不易发生剥离不良的构造。单张薄膜(剥离膜)9是例如厚度50μm左右且具有耐热性的薄膜，且是容易自模具面剥离的薄膜，其具有柔软性、伸展性，例如，能够适当地使用以ptfe、etfe、pet、fep薄膜、含氟玻璃纤维布、聚丙烯薄膜、聚偏二氯乙烯等为主要成分的单层或者多层膜。

像这样，若覆盖包含下模腔室凹部3a的下模夹紧面的单张薄膜9能够针对每个下模凹槽单元5被吸附保持，则在向包含下模腔室凹部3a的下模夹紧面吸附保持时容易处理，也能够尽可能地避免像长条薄膜那样产生与压缩成形无关的无用的使用区域。

在图4中，在呈矩形形状形成的上模板4c的四周的边缘部中央的夹紧面，上模锁定块4j(第一锁定块)分别突出设置于4处。而且，在图7a中，在呈矩形形状形成的下模可动夹具5e的四周的边缘部中央的夹紧面或者下模凹槽板5j，一对下模锁定块5n(第二锁定块)以两个一对的方式分别突出设置于4处。上模锁定块4j配置成与相对的下模锁定块5n通过凹凸嵌合而啮合。由此，能够针对各模具凹槽单元分别进行形成有工件保持部2a的上模板4c和构成下模腔室凹部3a的下模可动夹具5e或者下模凹槽板5j的对位，从而闭模。另外，上模锁定块4j和下模锁定块5n的形态也可以上下成对地替换。

在图9中，在上模凹槽单元4的上模板4c以及下模凹槽单元5的下模凹槽板5j的相对位置，分别突出设置有上模调整销4k(参照图2)以及下模调整销5p(参照图5)(矫平机构)。上模调整销4k支承于上模凹槽板4a，并贯穿支承块4b以及上模板4c地突出设置到比上模夹紧面靠下方的位置。而且，下模调整销5p借助螺旋弹簧5q支承于下模基座板5a，并贯穿支承板5c以及下模凹槽板5j地突出设置到比下模夹紧面靠上方的位置。

如图4所示，上模调整销4k沿着上模板4c的长边侧的边缘部地等间隔地分别设有多根(一侧4根，左右两侧共8根)。而且，如图7a所示，下模调整销5p沿着下模凹槽板5j的长边侧的边缘部地等间隔地分别设有多根(一侧4根，左右两侧共8根)。上模调整销4k以及下模调整销5p的根数是任意的，且也可以设置在短边侧。上下的调整销4k、5p配置在俯视时相同的位置。

自上述的上模板4c突出设置的上模调整销4k和自下模凹槽板5j突出设置的下模调整销5p彼此相对地配置。因此，在闭模时，在多处相对的上模调整销4k和下模调整销5p比模具面先相碰，并由螺旋弹簧5q的挠曲来吸收按压力的偏差，因此能够修正相对配置的上模凹槽单元4和下模凹槽单元5的夹紧面彼此的平行度，然后能够使模具面平面地接触，因此能够防止局部接触。

在此，参照图8，说明调整机构8的动作。作为一例，图8的左半图表示与通常的工件w相比工件板厚较薄或者模制树脂的树脂量较少的情况的模具夹紧状态。而且，图8的右半图表示与通常的工件w相比工件板厚较厚或者模制树脂的树脂量较多的情况的模具夹紧状态。

在为图8的左半图的情况下，与通常的工件w相比工件板厚较薄或者相对于模制树脂的目标树脂量(成为成形后的适当的最终封装厚度的树脂量)而言供给的树脂量较少。或者为上述两者同时存在的情况。在该情况下，在销悬挂板8a和按压板8d之间插入的螺旋弹簧8e为反弹的状态，能够利用螺旋弹簧8e的挠曲来吸收工件w的板厚的偏差。而且，在模制树脂量较少的情况下，吸附保持工件w的上模板4c克服螺旋弹簧5g的施力地下压下模可动夹具5e。由此，与工件w的板厚、向腔室凹部3a供给的树脂量相应地，下模可动夹具5e相对于下模腔室块5d的相对高度位置被确定为相同，因此，在工件w的板厚t1较薄的情况、向腔室凹部3a供给的树脂量较少的情况下，能够吸收板厚t1的偏差、树脂量的偏差t2。这样的调整动作由设于多处(在本实施例中为两处)的每个上模凹槽单元4和每个下模凹槽单元5进行。

而且，在为图8的右半图的情况下，与左半图的工件w相比工件板厚较厚或者相对于模制树脂的目标树脂量(成为成形后的适当的最终封装厚度的树脂量)而言供给的树脂量较多。或者为作为左右的差更大的事例的上述两者同时存在的情况。在该情况下，在上模凹槽单元4中，在被螺旋弹簧4f施力的压动销4g的高度位置产生误差t3。但是，插入于销悬挂板8a和按压板8d之间的螺旋弹簧8e被压缩，悬吊销8b被压回，成为头部8b1自销悬挂板8a稍微离开间隙t4的距离的状态，利用螺旋弹簧8e的挠曲来吸收工件w的板厚的偏差。

而且，在下模凹槽单元5中，通过螺旋弹簧5g的施力使得压动销5f的高度位置变化t5的距离，成为下模可动夹具5e产生自支承板5c稍微离开的间隙t6的状态。像这样，与向腔室凹部3a供给的树脂量相应地，下模可动夹具5e相对于下模腔室块5d的相对高度位置被确定为相同。由此，吸收树脂厚度t7的偏差。

像以上这样，能够利用下模可动夹具5e的施力机构、调整机构8来吸收多个压缩成形用模具1中的工件w的板厚的偏差、向腔室凹部3a供给的树脂量的偏差等所引起的模具夹紧时的模具高度(图8的销悬挂板8a和下模基座板5a之间的距离)的偏差。这样的模具高度的偏差调整动作由横向排列且设于多处(在本实施例中为两处)的每个上模凹槽单元4以及每个下模凹槽单元5进行。

而且，设于上模模架6的调整机构8设于每个模具凹槽单元，因此，针对左右的模具凹槽单元而言，不限于图8的左半图(工件w的板厚较薄，供给的树脂量比目标树脂量少的情况)和图8的右半图(工件w的板厚较厚，供给的树脂量比目标树脂量多的情况)的情况，也可以是左右反过来的情况，即使在左边为工件w的板厚较厚、供给的树脂量较少的情况，右边为工件w的板厚较薄、供给的树脂量较多的情况，也能够不使模具倾斜地进行调整。由此，能够将多个模具的总和高度始终保持为恒定，因此，能够不使冲压面倾斜地高精度地压缩成形出树脂密封部(封装部)的厚度。

像这样，即使在由于多个工件w存在板厚的偏差、向各下模腔室凹部3a供给的树脂量的偏差等引起在上模2和下模3的开闭模方向的高度上存在偏差的情况下，也能够利用在并列配置于上模模架6的每个上模凹槽单元4设置的调整机构8，来针对每个工件w调整上模2和下模3的模具夹紧时的模具高度的偏差，因此能够高精度地压缩成形。另外，在图8中，将两个上模凹槽单元4横向排列地并列配置于上模基座部6a，因此调整机构8也与此相配合地横向排列地设置两个，但调整机构8至少夹装在任一方的上模基座部6a和上模凹槽单元4之间即可。在该情况下，在另一方的上模2夹装有间隔件来代替调整机构8即可。而且，优选的是，在于上模模架6设有3个以上的上模凹槽单元4的情况下，比凹槽单元的数量少1个的调整机构8独立地搭载于上模基座部6a。在该情况下，与高度被固定的上模凹槽单元4的高度相应地调整设有调整机构8的剩下的上模凹槽单元4的高度。另外，也可以是，在固定侧的上模基座部6a和上模凹槽单元4之间设置用于固定高度的支承块等。

而且，在与更换工件w的品种相伴的更换模具的情况下，如图10a、图10b所示，在压缩成形用模具1为开模的状态下，以在跟前侧将上模基座侧部6b以进深侧的合叶6g为中心自上模模架6的上模基座部6a下压的方式使上模基座侧部6b旋转预定量。此时，如图10a所示，各上模凹槽单元4以支承板4b的左右两端部凹凸嵌合于由在上模基座部6a垂下的上模导块6d以及上模凹槽引导件6e形成的台阶部6f的状态被分别保持。在该状态下，如图10b所示，能够针对每个上模凹槽单元4以台阶部6f为引导件向跟前侧拉出，从而更换成其他的上模凹槽单元4。在图9中示出自上模模架6取出的上模凹槽单元4。

而且，在压缩成形用模具1为开模的状态下，如图10a、图10b所示，以自跟前侧将下模基座侧部7b以进深侧的合叶7g为中心上推的方式使下模基座侧部7b自下模模架7的下模基座部7a旋转预定量。此时，如图10a所示，各下模凹槽单元5以下模凹槽板5j的左右两端部的带台阶部5m凹凸嵌合于由在下模基座部7a立起的下模导块7d以及下模凹槽引导件7e形成的台阶部7f的状态被分别保持。在该状态下，如图10b所示，能够针对每个下模凹槽单元5以台阶部7f为引导件向跟前侧拉出，从而更换成其他的下模凹槽单元5。在图9中示出自下模模架7取出的下模凹槽单元5。

像这样，在更换模具的情况下，上模模架6以及调整机构8还有下模模架7能够不更换地使用，因此，通用性较高，能够迅速地进行换产调整以及维护。而且，针对上模模架6以及下模模架7而言，上模基座部6a以及上模基座侧部6b借助进深侧的合叶6g以能够转动的方式连结在一起，下模基座部7a以及下模基座侧部7b借助进深侧的合叶7g以能够转动的方式连结在一起，因此，容易自模具跟前侧拉出上模凹槽单元4、下模凹槽单元5，容易进行更换作业。

[第二实施例]

图11a、图11b表示压缩成形用模具1的其他构成例。针对与第一实施例公开的压缩成形用模具1相同的构件标注相同的附图标记并引用说明，以下以不同的结构为中心进行说明。

在工件w搭载有多个半导体芯片，例如在芯片搭载部产生不良等情况下，有时在工件w上产生半导体芯片的缺损部分。在该情况下，只要针对各个工件w准确地计测半导体芯片的缺损数量并变更供给的树脂量即可，但会花费时间和工时，而且需要通过精密计量进行树脂供给。因此，为了在即使模制树脂的供给量不必准确地一致的情况下，也能够在模具侧进行调整，在本实施例中设有后述的溢出腔室。

如图11a所示，在设于各下模凹槽单元5的下模腔室块5d的上表面侧外周缘部环绕地设有腔室底部的高度较高的台阶面5d1，在台阶面5d1设有多个溢出腔室10。溢出腔室10收容向下模腔室凹部3a供给的模制树脂中的剩余部分(吸收树脂量的偏差)。因此，需要使向下模腔室凹部3a供给的树脂量比最终封装部的厚度所需的树脂量多出溢出腔室的收容量地较多地供给树脂。

如图11a所示，在下模腔室块5d的台阶部5d1设有多个贯通孔5d2。在各贯通孔5d2以能够升降的方式分别插入有浮动块10a。各浮动块10a立起地支承于以水平姿势配置在下模基座板5a和支承板5c之间的连结板10b的上表面。各浮动块10a贯穿支承板5c地插入于下模腔室块5d的贯通孔5d2。在连结板10b和下模基座板5a之间设有螺旋弹簧10c，隔着连结板10b将各浮动块10a向上方施力支承。如图11b所示，利用各浮动块10a的上端面和贯通孔5d2的孔壁面来形成溢出腔室10。另外，浮动块10a既可以是块形状，也可以是细长的销形状。各溢出腔室10的上方的端面(平面)形状既可以为矩形也可以为圆形等其他形状。

压动销10d朝向铅垂下方地突出设置在连结板10b的下表面。也可以是，压动销10d贯穿下模基座板5a以及下模模架7(下模基座部7a)而支承于未图示的开闭模机构(例如可动压板等)。而且，也可以是，在该压动销10d的下端部设有例如压力传感器(负载传感器等)。由此，通过利用压力传感器立即实时地测量流入闭模时的溢出腔室10的树脂的压力，从而能够实时地控制模制树脂的树脂压力。另外，压动销10d不是必须的，也可以没有。

而且，如图11a所示，也可以是，在比支承下模可动夹具5e的压动销5f的凸缘部5h靠下方的位置突出设置有止动件5i。止动件5i能够通过如下方式阻止向下的动作，即，在下模可动夹具5e被上模2压下时止动件5i的下端抵接于基座板5a。止动件5i是为了限定下模可动夹具5e的向下动作的极限位置而设置的。由此，下模腔室凹部3a的高度被决定，因此，能够在多处将压缩成形的各封装部(树脂密封部)的厚度管理为恒定。

在此，参照图11a说明压缩成形动作中的浮动块10a的举动。半导体芯片通常应该是全部搭载于工件w，当在前面的工序中发现半导体芯片自身存在不良等的情况下，有时半导体芯片一部分未搭载于工件。即，存在半导体芯片一部分欠缺的情况。而且，在工件w产生半导体芯片的欠缺、半导体芯片的缺损，或者在树脂输送中树脂的一部分落下，或者由于某种原因导致向下模腔室凹部3a供给的模制树脂量小于目标树脂量的情况下，当对压缩成形用模具1进行闭模时，在贯穿支承板5c地插入下模腔室块5d的贯通孔5d2的各浮动块10a在螺旋弹簧10c的施力的作用下自台阶部5d1进入下模腔室凹部3a内的状态下被压缩成形。由此来吸收下模腔室容积的大小和供给的模制树脂的树脂量之间的差值。

而且，在相对于工件w而言向下模腔室凹部3a供给的模制树脂量比目标树脂量多的情况下，在树脂压力的作用下克服螺旋弹簧10c的施力地将浮动块10a下压，在剩余树脂收容于贯通孔5d2的状态下进行压缩成形。由此，吸收下模腔室容积的大小和模制树脂的树脂量之间的差值。

另外，若树脂量过少则存在最终封装厚度较薄地成形的可能性，因此，优选的是，有意地从最初开始供给比目标树脂量多的树脂，通过各浮动块10a的压下量来进行调整。

因此，即使不针对每个工件w预先准确地测量模制树脂的供给量，也能够将成形品的厚度保持恒定地进行压缩成形。而且，形成于成形品的凹部、凸部是与最终制品无关的工件w的外周缘部，因此不会影响成形品质。而且，浮动块10a始终朝向腔室凹部3a内的模制树脂被施力，因此向腔室凹部3a内的模制树脂施加树脂压力，能够消除气孔从而提高成形品质。另外，溢出腔室10设于下模腔室块5d，但也可以设于下模可动夹具5e的夹紧面。

[变形例]

接着，参照图12～图15a、图15b来说明与图1的压缩成形用模具1的工件w相对应的变形使用例。图1的压缩成形用模具1例示了对两张作为工件w的例如300mm×100mm的矩形条形基板同时进行压缩成形的情况，但也能够使用尺寸比其大的工件w一张一张地进行压缩成形。

图12是正面观察对较大尺寸的工件进行压缩成形的情况下的压缩成形模具所得到的剖面说明图，图13是侧面观察对较大尺寸的工件进行压缩成形的情况下的压缩成形模具所得到的剖面说明图。示出了如下实施例，即，从图1所示的上模2的结构中，去除设于上模模架6的中间部分的上模导块6d以及上模凹槽引导件6e，将上模凹槽单元4替换为用于较大尺寸的工件w的构件。而且，示出了如下实施例，即，从图1所示的下模3的结构中，去除设于下模模架7的中间部分的下模导块7d以及下模凹槽引导件7e，将下模凹槽单元5替换为用于较大尺寸的工件w的构件。在该情况下，也能够共用上模模架6以及调整机构8还有下模模架7。

在图12的情况下，按压板8d被分割开而存在两个调整机构8，因此，在工件w自身的左右厚度稍有不同的情况、向下模腔室凹部3a供给的树脂量在左右的供给中多少存在不同的情况下，与图13所示的按压板8d为一体的结构的情况相比，也能够由调整机构8来分别调整模具高度。

图14a表示对作为工件w的例如300mm×300mm的大型矩形板件进行压缩成形的情况下的上模2的俯视图，图14b表示对作为工件w的例如300mm×300mm的大型矩形板件进行压缩成形的情况下的下模3的俯视图。在图14a中，在上模2中，卡盘爪4d以相同数量(例如3处)分别设于吸附于上模板4c的工件w的四边。而且，上模导块6d以及上模凹槽引导件6e仅设于上模模架6的左右两端部。在上模板4c的外周缘部的多处(例如每一边有4处)突出设置有上模调整销4k。另外，省略了多个形成在工件保持部2a的工件w的吸附孔2b的图示。

在图14b中，在下模3的下模可动夹具5e，退避槽5e1与上模2的卡盘爪4d对应地以相同数量(例如3处)分别设于下模腔室凹部3a的周围。而且，下模导块7d以及下模凹槽引导件7e仅设于下模模架7的左右两端部。下模调整销5p在与上模调整销4k相对的位置突出设置于下模可动夹具5e的外周缘部的多处(例如每一边有4处)。另外，省略了在环绕地设于下模可动夹具5e的薄膜吸引槽5e4的槽底部设置的多个吸引孔5e5以及周槽5e2和吸引孔5e3的图示。

图15a是对作为工件w的例如直径的半导体晶圆以及圆形的载体、基板进行压缩成形的情况下的上模2的俯视图，图15b是对作为工件w的例如直径的半导体晶圆以及圆形的载体、基板进行压缩成形的情况下的下模3的俯视图。在图15a中，在上模2中，卡盘爪4d等间隔(例如每90度地错开相位的4处)地设于吸附在上模板4c的工件w的周围。而且，上模导块6d以及上模凹槽引导件6e仅设于上模模架6的左右两端部。在上模板4c的外周缘部的多处(例如每一边有4处)突出设置有上模调整销4k。另外，省略了多个形成在工件保持部2a的工件w的吸附孔2b的图示。

在图15b中，在下模3的下模可动夹具5e处，退避槽5e1与上模2的卡盘爪4d对应地等间隔(例如每90度地错开相位的4处)地设于下模腔室凹部3a的周围。而且，下模导块7d以及下模凹槽引导件7e仅设于下模模架7的左右两端部。下模调整销5p在与上模调整销4k相对的位置突出设置于下模可动夹具5e的外周缘部的多处(例如每一边有4处)。另外，省略了在环绕地设于下模可动夹具5e的薄膜吸引槽5e4的槽底部设置的多个吸引孔5e5以及周槽5e2和吸引孔5e3的图示。而且，作为工件w，除了圆形状的半导体晶圆之外，也可以是，将多个半导体芯片t通过芯片接合而成的ewlb等圆形载体、基板。

如图14a、图14b以及图15a、图15b所示，也可以是如下这样的压缩成形用模具1，其具有：上模2，其具有保持一张工件w的工件保持部2a；以及下模3，其利用夹具5e和腔室块5d而形成下模腔室凹部3a，下模腔室凹部3a与工件保持部2a相对配置，夹具5e用于夹紧工件w，腔室块5d插入于夹具5e内，能够通过相对移动来对树脂进行加压，上模2具有调整模具夹紧时的厚度方向的偏差的调整机构8(未图示)。在该情况下，例如即使是不一定能够沿横向排列地并列配置的较大尺寸的工件w，也能够使用具有调整机构8的上模2来调整与模具夹紧时的较大尺寸的工件w相对应的模具高度的偏差，从而高精度地压缩成形。

图16是在图1所示的压缩成形用模具1中变更下模凹槽单元5的腔室块5d以及支承板5c的形态而成的结构的图。即，支承板5c设为不支承下模腔室块5d而是支承下模可动夹具5e以及下模凹槽板5j。下模腔室块5d直接支承于多个支承柱5b，多个支承柱5b立起形成于下模基座板5a。另外，省略了在环绕地设于下模可动夹具5e的薄膜吸引槽5e4的槽底部设置的多个吸引孔5e5以及周槽5e2和吸引孔5e3的图示。

在该情况下，能够使下模腔室块5d的板厚较厚，并且利用支承柱5b支承下模腔室块5d的正下方部位，因此，难以受到翘曲等的影响，因此能够进一步高精度地进行基于支承柱5b的高度调整。

在图17的左半图中，与图1所示的压缩成形用模具1中的下模凹槽单元5的下模可动夹具5e不同的是，下模夹具5e固定支承于支承板5c，将下模腔室块5d连接于驱动机构11从而设为能够直接升降。驱动机构11既可以是伺服马达11a和动力传递部11b，也可以是液压致动器。在该情况下，能够高精度地控制下模腔室凹部3a的容积，容易向被供给至下模腔室凹部3a的模制树脂施加树脂压力。

在图17的右半图中，压动销5f的下端部被可动连结板12支承，压动销5f利用上端部支承下模可动夹具5e。可动连结板12将下模基座板5a切开并以水平姿势设置。可动连结板12连接于驱动机构13从而设为能够直接升降。驱动机构13既可以是伺服马达13a和动力传递部13b，也可以是液压致动器。另外，省略了在环绕地设于下模可动夹具5e的薄膜吸引槽5e4的槽底部设置的多个吸引孔5e5以及周槽5e2和吸引孔5e3等的图示。

由此，还能够将以往使用的针对两张工件的传送成形用冲压的传送驱动机构(柱塞驱动机构)作为下模可动夹具5e的驱动机构使用。

图18例示了也可以是如下这样的压缩成形用模具1的情况，其不仅能够对图14a、图14b所示的矩形板件、图15a、图15b所示的圆形的半导体晶圆等较大尺寸的工件w单体进行压缩成形，还能够对1个条形基板进行压缩成形。

图19图示了3个条形基板用的压缩成形用模具1来代替图1所示的2个条形基板用的压缩成形用模具1。例示了如下情况：模具结构与图1相同，且能够相对于共同的模架(上模模架6以及下模模架7)插拔的模具凹槽单元(上模凹槽单元4以及下模凹槽单元5)的数量为3组。另外，也可以设置4组以上的模具凹槽单元。

图20a、图20b表示调整机构8的其他结构。在图1中设置使用螺旋弹簧8e的弹簧机构来作为调整机构8，但也可以使用楔机构14。在图20a、图20b中，在上模模架6的上模基座部6a和上模凹槽单元4的上模凹槽板4a之间，可动滑动板14a和楔板14b以坡面14c彼此叠合的方式层叠。楔板14b隔着高度调整板14d叠合地组装于上模凹槽板4a。

而且，如图20b所示，在矩形框状的上模基座侧部6b的进深侧的侧部，安装有螺纹轴14e以及伺服马达14f。螺纹轴14e与设于可动滑动板14a的螺母螺纹嵌合。通过驱动伺服马达14f使其沿预定方向旋转预定量，从而使可动滑动板14a沿着上模基座部6a在水平方向上移动。此时，利用借助坡面14c层叠的楔板14b来调整上模凹槽单元4的高度位置。即，如图20a所示，也可以利用上模凹槽单元4的支承块4b所卡定的台阶部6f的开闭模方向的空隙来吸收工件w的板厚差。

在图21的平面布局图中示出搭载了上述任一种的压缩成形用模具1的树脂模制装置的一例。工件w为100mm×300mm的矩形条形基板，模制树脂可以是压片树脂(固形树脂)、片状树脂、颗粒状树脂、粉状树脂、液状树脂中的任一种，作为一例能够使用颗粒树脂。搭载了压缩成形用模具1的冲压部15设于3处。每1个冲压部15针对两张工件，通过1次冲压动作能够对合计6张工件w进行压缩成形。另外也可以是，在考虑到供给、基于冲压的成形、收纳等的时间时，为了提高生产性，在冲压的数量较多的情况下，使各冲压依次成形。

在3个并列设置的冲压部15的左端侧设有工件供给收纳部16，该工件供给收纳部16用于供给工件w，并在成形后收纳于库中。工件输送机构17在工件供给收纳部16和冲压部15之间往复移动，在相对于开模的压缩成形用模具1进行进退移动时进行如下动作，即，取出成形后的工件w和供给成形前的工件w。进入冲压部15的工件装载部17将成形后的工件w(成形品)以两张一组的方式接收，将成形前的工件w以两张一组的方式向压缩成形用模具1(上模2的工件保持部2a：参照图1)交接。

在冲压部15的右端侧设有薄膜树脂供给部18。在薄膜树脂供给部18，各薄膜与各条形基板相对应地被供给、切断，从而成为单张薄膜9。根据在工件供给收纳部16感测到的结果算出目标树脂量，例如使颗粒树脂以与腔室俯视时尺寸大致相同的形状地平坦地撒在单张薄膜9上。而且，通过树脂输送机构19，所述树脂以及单张薄膜9自薄膜树脂供给部18被输送至冲压部15，仅回收成形后单张薄膜9。

在上述树脂模制装置中，在各冲压部15中，将多个(例如两张一组)条形基板以及针对每个基板的单张薄膜9和树脂分别向并列配置的模具凹槽单元供给，从而能够一边吸收工件w的板厚的偏差、树脂量的偏差一边分别地进行压缩成形，因此，生产性、处理性提高。冲压部15的数量不限于三个，既可以比三个多也可以比三个少。

另外，压缩成形装置既可以是例如上模2以及下模3中的任一者为可动型且另一者为固定型，或者也可以是两者都是可动型。而且对压缩成形用模具1进行开闭的开闭模机构能够使用基于伺服马达以及螺纹轴、基于伺服马达以及肘杆、或者基于液压驱动机构等的各种驱动机构。

而且，压缩成形用模具1在下模3形成有腔室凹部3a，在上模2形成有工件保持部2a，但也可以是，在下模3形成有工件保持部，在上模2形成有腔室凹部。在该情况下，可以在下模模架7一体地设置调整机构8，可以在上模凹槽单元4吸附保持单张薄膜9。在该情况下，模制树脂不向单张薄膜9上供给，而是向工件w上供给。而且，本实施例是使用单张薄膜9的实施例，但也可以使用长条薄膜。

此外，本实施例是使用薄膜的实施例，但也可以是不使用薄膜的情况。

上述压缩成形用模具1例示了针对一张工件w或者针对两张工件w的模具，但也可以针对三张以上的工件w进行模制。

针对压缩成形装置的其他结构进行说明。

如图22所示，也可以是，例如用于针对一张工件w的压缩成形用模具1沿横向排列地搭载有多个，能够利用共同的冲压驱动机构20(开闭模机构)进行开闭。在图22中，在矩形形状的冲压基座20a的各角部立设有引导柱20b。引导柱20b的上端连结于固定压板20c，可动压板20d以能够滑动移动的方式连接于引导柱20b的中间部。可动压板20d设为能够借助设于冲压基座20a的伺服马达21a以及动力传递部21b进行升降。在固定压板20c沿横向排列地支承有上模2，在可动压板20d沿横向排列地支承有下模3。在构成上模2的上模凹槽单元设有与图9同样的调整机构8(未图示)。

图23是表示压缩成形装置的另一其他结构的图。也可以是，用于针对一张工件w的压缩成形用模具1在高度方向上以多层(在本实施例中为两层)重叠地搭载，能够利用共同的冲压驱动机构20(开闭模机构)进行开闭。在图23中，在矩形形状的冲压基座20a的各角部立设有引导柱20b。引导柱20b的上端连结于固定压板20c，可动压板20d以及中间压板20e以能够滑动移动的方式分别连接于引导柱20b的中间部。可动压板20d设为能够借助设于冲压基座20a的伺服马达21a以及动力传递部21b进行升降。中间压板20e以借助与可动压板20d的升降动作连动的齿条以及小齿轮机构等(未图示)以不同的冲程(例如可动压板20d与中间压板20e的移动比2：1)进行升降动作的方式连接。

在固定压板20c以及中间压板20e的下表面分别支承有上模2，在可动压板20d以及中间压板20e的上表面分别支承有下模3。在构成上模2的上模凹槽单元分别设有与图9同样的调整机构8(未图示)。

由此，即使是例如像较大尺寸的工件那样的一张工件w，也能够通过针对多张工件同时进行压缩成形来提高生产性，并且，能够利用调整机构8吸收并列配置或者多层配置的模具凹槽单元中的每一个模具凹槽单元的模具夹紧时的模具高度的偏差，从而不使模具倾斜地高精度地进行压缩成形。

在此，参照图24以及图25说明压缩成形模具1的其他例子。压缩成形用模具1分别夹紧沿横向排列地并列配置的多个工件w并同时进行压缩成形。针对与第一实施例相同的构件标注相同的附图标记并引用说明。

参照图24，说明上模2(第一模具)的结构。本图示意性地记载了最小结构。在构成上模模架6(第一基座部)的底部的上模基座部6a，针对多个工件w中的每个工件w设有调整机构8(螺旋弹簧8e)。保持工件w的上模板4c借助该调整机构8沿横向排列地被悬挂支承。在上模板4c形成有分别吸附保持工件w的工件保持部2a。另外，在上模基座部6a，未图示出上模基座侧部6b(第一基座侧部)、将上模空间部6c(第一模具空间部)分隔开的上模导块6d(第一导块)、吸引机构以及减压机构，但也可以设置上述构件。

针对下模3(第二模具)的结构进行说明。在构成下模模架7(第二基座部)的底部的下模基座部7a上，沿横向排列地支承固定有下模腔室块5d，下模腔室块5d与工件保持部2a相对配置。而且，夹紧工件w的下模可动夹具5e利用螺旋弹簧5g针对每个工件独立地浮动支承于下模腔室块5d的周围。利用下模腔室块5d和下模可动夹具5e形成有下模腔室凹部3a。下模腔室块5d通过在插入下模可动夹具5e内的状态下进行相对移动，从而对树脂进行加压。另外，也可以是，下模基座侧部7b(第二基座侧部)、将下模空间部7c(第二模具空间部)分隔开的下模导块7d(第二导块)等立起地设置在下模基座部7a。

通过以上结构，在利用上模2和下模3将多个工件w夹紧时，利用调整机构8以及螺旋弹簧5g来吸收针对每个工件w利用上模板4c(第一上模板以及第二上模板)和下模可动夹具5e夹紧时的模具高度的偏差，因此，能够不使模具倾斜地进行夹紧，其中，上模板4c在上模基座部6a沿横向排列地设置且具有工件保持部2a，下模可动夹具5e形成与上模板4c相对配置的下模腔室凹部3a(第一下模腔室凹部以及第二下模腔室凹部)。

图25是表示压缩成形用模具1的又一其他例子的图。压缩成形用模具1分别夹紧沿横向排列地并列配置的多个工件w并同时进行压缩成形。针对与第一实施例相同的构件标注相同的附图标记并引用说明。

参照图25，说明上模2(第一模具)的结构。本图示意性地记载了最小结构。在构成上模模架6(第一模架)的底部的上模基座部6a(第一基座部)，沿横向排列地支承有上模板4c(第一上模板以及第二上模板)，上模板4c独立地保持多个工件w。在上模板4c形成有分别吸附保持工件w的工件保持部2a。另外，在上模基座部6a，未图示出上模基座侧部6b(第一基座侧部)、将上模空间部6c(第一模具空间部)分隔开的上模导块6d(第一导块)、吸引机构以及减压机构，但也可以设置上述构件。

针对下模3的结构进行说明。在构成下模模架7(第二模架)的底部的下模基座部7a(第二基座部)上，沿横向排列地支承有下模腔室凹部3a(第一下模腔室凹部以及第二下模腔室凹部)，下模腔室凹部3a由下模可动夹具5e和下模腔室块5d形成，下模可动夹具5e与工件保持部2a相对地配置，用于将工件w夹紧，下模腔室块5d通过在插入下模可动夹具5e内的状态下进行相对移动，从而对树脂进行加压。

具体地说，下模腔室块5d针对每个工件w独立地支承固定于下模板5r(模具板)上。下模可动夹具5e借助螺旋弹簧5g针对每个工件w独立地施力支承于下模板5r。在下模板5r和下模基座部7a之间设有针对每个工件w独立的调整机构8(螺旋弹簧8e)。

另外，在下模基座部7a，未图示出下模基座侧部7b(第二基座侧部)、将下模空间部7c(第二模具空间部)分隔开的下模导块7d(第二导块)等，但也可以设置上述构件。

由此，在分别利用上模2和下模3夹紧多个工件w时，利用下模可动夹具5e的螺旋弹簧5g以及设于下模板5r和下模基座部7a之间的调整机构8，针对每个工件w吸收模具高度的偏差，因此，能够不使模具倾斜地进行夹紧，其中，该上模2是在上模基座部6a沿横向排列地设置具有工件保持部2a的上模板4c而成的，该下模3是将下模腔室凹部3a与工件保持部2a相对地沿横向排列地配置于下模基座部7a而成的。