专利名称：干燥装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种干燥装置，特别是涉及这样一种干燥装置，该千 燥装置用于在液晶显示装置或半导体装置等的制造过程中，高速地使 由液体清洗后的液晶板或印刷电路板等被清洗物干燥。
背景技术：
为了高速地使由液体清洗后的液晶板或印刷电路板等被清洗物千 燥，需要正确的脱水和脱水后的迅速的干燥。在已有的干燥装置中， 在对被清洗物进行干燥的超干燥室前设有用于脱水的残留液体除去 室。在该千燥装置中，在该残留液体除去室设有空气喷嘴，该空气喷。倾斜:i是为'了提高清:液;去效率，、;:空气从残留液体除2室 侵入到邻接的超干燥室。在超干燥室中，干燥空气喷嘴与被清洗物的 输送方向垂直地配置。这是为了将内部的气氛的扰动减小到极限，排 除外气从干燥装置的周围环境(处于洁净状态)侵入到超干燥室内 (参照专利文献i)。另外，在别的已有的干燥装置中，干燥箱的喷嘴相对被清洗物沿 铅直方向喷射千燥空气地设置。另外，干燥箱除了其入口和出口外， 没有与外气相通的开口，另外，该入口和出口也仅具有较小的开口面 积。因此，干燥箱中因从喷嘴喷射干燥空气而处于正压状态，另外，从喷嘴喷射后冲撞到被清洗物后的干燥空气朝四方飞散，通过入口和 出口跑到外部。因此，可防止外气侵入到干燥箱中，并由干燥空气将 干燥箱中保持为预定的干燥状态。喷嘴从朝被清洗物的面沿铅直方向 喷射千燥空气的位置朝与输送方向正交的方向左右摇动。另外，该千 燥装置含有空气狭缝作为脱水机构。该空气狭缝的空气喷射口朝与被
清洗物的输送方向相反的方向稍倾斜地配置，干燥空气可朝后方将流来的被清洗物表面的液体推回地脱水(参照专利文献2)。 专利文献1:日本特开2003-240435号公报 专利文献2:日本特开平11-316084号公报发明内容对于已有的干燥装置，与被清洗物的输送方向垂直地配置干燥用 喷嘴，朝被清洗物的面使干燥空气沿铅直方向即垂直方向喷射。因 此，从干燥用喷嘴喷射后冲撞到被清洗物后的干燥空气沿被清洗物的 表面朝四方飞散，通过入口和出口跑到外部，所以，被清洗物的表面 的千燥可充分进行。另外，相对于被清洗物的输送方向相反的方向稍 倾斜地配置脱水用空气狭缝，将流来的被清洗物表面的液体朝后方推 回，所以，被清洗物的表面的脱水也可充分地进行。然而，对于已有的干燥装置，被清洗物的输送方向的干燥用喷嘴 和脱水用空气狭缝的喷射口的长度极小，为0.1mm 0.2mm左右，干 燥空气不能确实而且充分地吹到朝输送方向移动的被清洗物的端面。 因此，被清洗物的端面的脱水和干燥不充分。相反，由沿被清洗物的 表面朝四方飞散的干燥空气挤出的残留水分、由脱水空气狭缝朝后方推回的液体沿被清洗物的端部边缘绕到端部，附着于端面，产生问 题。该问题在被清洗物的厚度越厚时越显著。另外，对于已有的干燥装置，由于在千燥室前设有用于脱水的残 留液体除去室，所以，还存在干燥装置大型化的问题。另外，对于沿 与被清洗物的输送方向正交的方向摇动干燥用喷嘴的干燥装置，由于 喷嘴的喷射口与被清洗物的表面间的距离随着摇动运动而产生变化， 所以，还存在被清洗物的表面干燥不均匀的问题。另外，为了用于具 有厚度的被清洗物P的脱水，还存在相对输送方向(箭头A示出)倾 斜地配置狭缝的构成(参照图10)、沿与输送方向正交的方向配置多 个相对输送方向倾斜的小狭缝的构成(参照图11)，但为了设置脱水 狭缝，需要大的空间，另外，由于没有足够的干燥空气均匀地吹到端
面，所以，实际上不能获得足够的脱水效果。本发明的目的在于提供一种可充分地进行被清洗物的端面和表面 的脱水及干燥的、紧凑的干燥装置。 用于解决问题的手段为了达到该目的，本发明提供一种干燥装置，该干燥装置具有密闭干燥箱和干燥空气喷射机构；该密闭干燥箱设置于输送由液体清洗 后的被清洗物的输送通道，具有用于上述被清洗物通过的入口和出 口；该干燥空气喷射机构设于上述干燥箱中，朝通过上述输送通道的 被清洗物喷射干燥空气；其特征在于设有使上述干燥空气喷射机构 朝与上述被清洗物的输送方向正交的方向直线地移动的机构，上述干 燥空气喷射机构的喷射口由沿上述输送方向延伸得较长的狭缝构成。按照本发明，上述干燥空气喷射机构也可由沿与上述输送方向正 交的方向排列地配置的多个喷嘴构成。按照本发明，上述干燥空气喷射机构由沿输送方向配置了多列的 喷嘴构成，每列喷嘴沿与上述输送方向正交的方向排列地配置着多个喷嘴。按照本发明，上述干燥空气喷射机构也可夹住上述被清洗物设置 于上下。按照本发明，也可在上述干燥箱的入口和出口还设有第2干燥空 气喷射机构，上述第2干燥空气喷射机构由一对喷嘴构成，该一对喷 嘴具有在与上述输送方向正交的方向至少延伸被清洗物的宽度的狭 缝，上述喷嘴的相向面从内缘到外缘倾斜，使得内缘的间隔比外缘的 间隔大。按照本发明，也可在上述干燥箱还设有用于充填干燥空气的第3 干燥空气喷射机构，上述第3干燥空气喷射机构的喷射口朝使上述干 燥空气喷射机构直线移动的机构设置。按照本发明，也可由线性驱动装置构成使上述干燥空气喷射机构 直线地移动的机构。按照本发明，设有使干燥空气喷射机构朝与被清洗物的输送方向 正交的方向直线地移动的机构，所以，不需要沿被清洗物的整个宽度 设置干燥空气喷射机构，可使干燥装置整体小型化。另外，由于干燥 空气喷射机构的喷射口与被清洗物表面间的距离为一定，所以，可获 得没有干燥不均的稳定的干燥效果。另外，按照本发明，干燥空气喷 射机构的喷射口由沿被清洗物的输送方向伸长的狭缝构成，所以，即 使为具有厚度的被清洗物，也可使干燥空气确实地吹到被清洗物的端 面，可在被清洗物的表面和端面都可同时地实现充分的干燥和脱水。另外，按照本发明，夹着被清洗物在上下设置干燥空气喷射机 构，由沿与输送方向正交的方向排列地配置的多个喷嘴或由沿输送方 向配置了多列的该多个喷嘴构成干燥空气喷射机构，从而可相应于被 清洗物的大小或所期望的干燥速度提高干燥效率。另外，按照本发明，在干燥箱的入口和出口还设有第2干燥空气 喷射机构，第2干燥空气喷射机构由一对喷嘴构成，该一对喷嘴具有 在与输送方向正交的方向至少延伸被清洗物的宽度的狹缝，喷嘴的相 向面从内缘到外缘倾斜，使得内缘的间隔比外缘的间隔大。这样，从 该空气狭缝喷射的干燥空气沿喷嘴的相向的倾斜面从干燥箱的内侧朝 外侧喷射，所以，这起到密闭干燥箱的气幕的作用。另外，干燥空气 沿喷嘴的相向的喷射面流动，所以，被清洗物与已有的空气狭缝相 比，沿输送方向接受到较长时间的空气，可充分地进行端面的脱水。 因此，该第2干燥空气喷射机构可具有气幕的功能和端面脱水的功能 双方。另外，按照本发明，在干燥箱还设有用于充填干燥空气的第3干 燥空气喷射机构，第3干燥空气喷射机构的喷射口朝使干燥空气喷射 机构直线移动的机构设置。这样，第3干燥空气喷射机构不仅具有用 于将干燥空气充填到干燥箱的功能，而且具有相对使干燥空气喷射机 构移动的的才几构的冷却功能。另外，按照本发明，由线性驱动装置构成使上述干燥空气喷射机 构直线地移动的机构。通过这样构成，从而可由简单的构造而且小型 的驱动机构实现使干燥空气喷射机构移动的机构，因此，可使干燥装 置整体小型化。另外，可使干燥空气喷射机构平滑地进行直线移动， 可确实而且均匀地进行被清洗物的干燥和脱水。
图l为示出本发明干燥装置的概略透^f见图。图2为图1的干燥装置的II-II向视图。图3为示出处于本发明的干燥装置内部的千燥箱的概略透视图。 图4为图3的干燥箱的IV-IV向视图。 图5为图4的干燥箱的V-V向视图。 图6为图4的干燥箱的VI-VI向视图。图7为示出处于本发明干燥箱的内部的喷嘴托架的概略透视图。图8为图7的喷嘴托架的VIII-VIII向视图。图9为图8的喷嘴托架的IX-IX向视截面图。图IO为示出已有技术的脱水狭缝的例的概略图。图11为示出已有技术的脱水狭缝的例的概略图。符号的说明1干燥装置主体2台架3箱4送入口5排出口6输送辊7干燥箱8入口9 出口10线性驱动装置 11喷嘴托架 12喷嘴 13分配管 14螺旋管15狹缝16气幕喷嘴17气幕狭缝18充填用喷嘴具体实施方式
下面参照附图，说明干燥装置，该干燥装置对使用水清洗后的被 清洗物进行干燥。图1为干燥装置的概略透视图，为了观看其内部， 截断地示出一部分。图2为图1的干燥装置的II-II向视图。在图l和 图2中，干燥装置的主体l设置于台架2上，在台架2的下方设置用 于将干燥空气供给到干燥装置的主体1的箱3。干燥装置的主体1具有 用于液晶板或印刷电路板等平坦的被清洗物P的送入口 4和排出口 5。在送入口 4与排出口 5间，配置有多个输送辊6。该输送辊可回转 地安装于由干燥装置主体1支承的回转轴，形成用于被清洗物的输送 通道L。在千燥装置主体1的内部设置有千燥箱7，该干燥箱7如图3、图 4、图5及图6所示那样，具有长方体的构造，该长方体的构造除了处 于上述输送通道L上的入口 8和出口 9以外，其它部分处于密闭状 态。在干燥箱7的顶壁和底壁，分别安装线性驱动装置10，在各线性 驱动装置安装有喷嘴托架11。喷嘴托架11由线性驱动装置IO驱动， 可朝与输送方向(用箭头A示出)正交的方向直线地移动。在喷嘴托架ll的四角，如图8和图9所示那样设有喷嘴12。各喷 嘴12通过分配管13连接到箱3。分配管13从箱3将干燥空气分配到 各喷嘴12，但在图8和图9中省略了一部分。在图示实施例中，喷嘴 12虽然为4个，但也可为6个、8个或更多，另外，也可为1个。另 外，也可在与输送方向A正交的方向结合多个包含4个喷嘴的喷嘴托 架ll。喷嘴托架ll如用图6的虚线示出的那样，沿被清洗物的整个宽度 从干燥箱7的入口 8的端部到端部，由线性驱动装置10移动。此时，分配管13包含图5所示那样的螺旋管14，使得分配管13可跟随喷嘴托架11的直线运动。该螺旋管14随着喷嘴托架的直线运动而进行伸缩运动，不妨碍线性驱动装置IO产生的平滑的直线运动。喷嘴12的前端的干燥空气喷射口具有沿输送方向延伸得较长的狭缝形状。该狭缝15的沿输送方向A的长度为15mm左右，宽度即与输送方向正交的方向的长度为O.lmm左右。已有的干燥用喷嘴的干燥空气喷射口具有直径0.1 0.2mm左右的圆形。在本发明中，与已有技术相比，设有沿输送方向伸长的干燥空气喷射口即狭缝15，所以，可使干燥空气在足够的时间吹到输送的被清洗物的端面，可实现充分的 脱水和干燥。如图3、图4及图5所示那样，在干燥箱7的入口 8和出口 9分别 夹住输送通道L设有一对气幕喷嘴16。 一对气幕喷嘴16的相向面从 内缘到外缘倾斜，内缘的间隔比外缘的间隔大。各气幕喷嘴的相向面 形成沿与输送方向正交的方向伸长的气幕狭缝17。该气幕气幕狭缝17 的长度为大体等于干燥箱7的入口 8和出口 9的宽度的长度。气幕喷 嘴16与喷嘴12同样地连接于箱3，从箱3供给干燥空气，分配到各气 幕喷嘴16。气幕喷嘴16的相向面即干燥空气的喷射面从内缘朝外缘 倾斜，所以，从气幕狭缝17喷射的干燥空气沿相向面从干燥箱7的内 部流到外部，所以，作为将干燥箱7与外部气氛隔开的气幕起作用， 形成实质上密闭的干燥箱。另外，由于干燥空气在干燥箱7的出口和 入口从干燥箱的内部朝外部倾斜，所以，干燥空气也在足够的时间吹 到输送的被清洗物的端面，附着于端面的水分也可充分地除去。因 此，该气幕喷嘴16还兼有被清洗物的端面的脱水功能。如图4、图5及图6所示那样，在干燥箱的顶壁和底壁，用于将干 燥空气充填到千燥箱的充填用喷嘴18分别设于干燥箱7的入口 8和出 口 9的附近。在各充填用喷嘴18，空气喷射口各设于3个部位，在4 个充填用喷嘴，设有共12个部位的喷射口。在各充填用喷嘴18，与 喷嘴12同样，从箱3供给干燥空气进行分配。充填用喷嘴18的喷射
口的直径比喷嘴12的喷射口的直径大，如图所示那样，使干燥空气一 齐朝干燥箱7内发散，可将干燥空气迅速地充填到干燥箱内。在图4、图5和图6所示充填用喷嘴18中，喷射口朝着干燥箱的 内部，但也可使喷射口朝着线性装置的发热部。这样，可使充填用喷 嘴18还具有线性装置冷却功能。
权利要求
1.一种干燥装置，具有密闭干燥箱和干燥空气喷射机构；该密闭干燥箱设置于输送由液体清洗后的被清洗物的输送通道，具有用于上述被清洗物通过的入口和出口；该干燥空气喷射机构设于上述干燥箱中，朝通过上述输送通道的被清洗物喷射干燥空气；其特征在于设有使上述干燥空气喷射机构朝与上述被清洗物的输送方向正交的方向直线地移动的机构，上述干燥空气喷射机构的喷射口由沿上述输送方向伸长的狭缝构成。
2. 根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于上述干燥空气 喷射机构由沿与上述输送方向正交的方向排列地配置着的多个喷嘴构成o
3. 根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于上述千燥空气 喷射机构由沿输送方向配置了多列的喷嘴构成，每列喷嘴沿与上述输 送方向正交的方向排列地配置着多个喷嘴。
4. 根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于上述干燥空气 喷射机构夹住上述被清洗物上下设置着。
5. 根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于在上述干燥箱 的入口和出口还设有第2千燥空气喷射机构，上述第2干燥空气喷射 机构由一对喷嘴构成，该一对喷嘴具有在与上述输送方向正交的方向 上至少延伸被清洗物的宽度的狭缝，上述喷嘴的相向面从内缘到外缘 倾斜，使得内缘的间隔比外缘的间隔大。
6. 根据权利要求5所述的干燥装置，其特征在于在上述干燥箱 还设有用于充填干燥空气的第3干燥空气喷射机构，上述第3干燥空 气喷射机构的喷射口朝使上述干燥空气喷射机构直线移动的机构设 置。
7. 根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于由线性驱动装 置构成使上述干燥空气喷射机构直线地移动的机构。
全文摘要
设置线性驱动装置，该线性驱动装置在干燥箱内使喷嘴沿与被清洗物的输送方向正交的方向移动；由沿输送方向伸长的狭缝构成喷嘴的喷射口。在干燥箱的入口和出口，设有沿与输送方向正交的方向延伸被清洗物的宽度的狭缝的一对喷嘴，使喷嘴的相向面从内缘到外缘倾斜，内缘的间隔比外缘的间隔大。
文档编号F26B15/12GK101163936SQ200680013290
公开日2008年4月16日 申请日期2006年3月30日 优先权日2005年4月20日
发明者竹森利则 申请人:协和化工株式会社