专利名称：无尘无菌室使用的风机干盘管机组的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种无尘无菌室使用的风机干盘管机组，特别涉及一种利 用水水冷却盘管及风机组成风机干盘管机组，装设在无尘无菌室天花板的空间 处，以达到运转风量效率提升及降低工程费。
背景技术：
一般传统高科技厂房所装设的无尘无菌室r,是由图i所示的各部件所构
成，其中包括
(1) .风机滤网机组(FFU， Fan Filter Unit) 2，，而如图2所示，其机组系由 风机2'1及滤网2，2两部件组合而成，主要为气流循环及尘埃过滤功能。
(2) .冰水冷却盘管(DCC, Dry Cooling Coil)6',主要作用在于水对气流(空 气)的冷却热交换功能。
(3) .隔间板材8，，主要为区域及回风道的区隔用途。
(4) .高架地板5，板面有孔洞，可让气流通过。
(5) .天花板铝骨架3:装^:在无尘无菌室l，上方适当处。 一般风机滤网机组在无尘无菌室的运作原理说明如下
(1) .风机滤网机组2'吸引经由回风道4'回流至天花板上层的气流，并将其 过滤清洁后，吹送ii7v无尘室内。
(2) .该已被风^L滤网机组2，清洁的气流，将漂浮于室内的污染粒子(由室 内的机器设备、人等产生)，吹引流经高架地板5，的孔洞，带出至无尘室外(高 架地板下方)。
(3) .含污染粒子的气流，流经高架地板5，的下方空间及回风道4，，并经配
3置于回风道4，内的水水冷却盘管6'冷却降温。
(4).该已被冷却降温且含有污染粒子的气流，回流至天花板7，上方空间， 再被数个风机滤网机组2'吸引流入，而完成整个无尘无菌室l，气流的清洁降温 循环流程。
其中，该循环流程内所配置的风机滤网机组2，，是个组合部件，其是由风 机2，1及滤网2，2两部件组合而成，由于滤网2，2有污损更换的功能性需求，因 此该产品的尺寸及重量，不宜制造的过大与过重，以利于人员的更换维护，此 一原因也导致该组合部件的另 一组件，风机2，1的规格尺寸也被限制了 ，以目前 全世界厂家的生产规格而言，此风机滤网机组2，的最大风量均不超过30m3/min (每分钟30立方尺)，更具体的说明；以目前液晶显示器(TFT-LCD) 8代厂的无 尘室(Clean Room)面积计算，该风机滤网机组2'需配置达20. 000台以上，若为 12吋半导体晶元厂，则至少须配置7500台以上，由于所需配置的数量众多，其 产生的不利因素在于
(1) .因配置的数量众多，其所延伸而来的配线、控制、按装、维护保养等 工程费用，亦相对的高昂庞大。
(2) .因单机的风量少，所以小风扇小马达的运转效率，不如大风扇大马达 的运转效率，导致电力能源的浪费。
另外，该气流循环流程内的另一部件水水冷却盘管6，，该部件配置于回风 道4，内，但因回风道4，的设置位置，往往需规避制程设备的动线规划(制程动 线的空间规划最优先)，导致回风道4，的设置地点，往往较设计上的理想地点偏 移，因此无法立即有效的吸引热气流回流，进行室内热负荷的冷却功能(若设 备与回风道距离愈远，则设备所产生的热负荷气流，在室内的滞留流动行程愈 久，对其它设备的不良影响也愈大。此也导致室内温度控制的波动，增加温度 控制的困难度
实用新型内容
为克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种易于安装、能减少配置 数量、降低工程费用、节约能源的无尘无菌室使用的风机千盘管机组。
为达到上述目的，本实用新型无尘无菌室使用的风机干盘管机组，由一个
以上的冰水冷却盘管及一个以上的风才;u组成一个以上的风才几干盘管才几组，其中 水水冷却盘管装设在风机的上方，并置于天花板空间适当处；在风机干盘管机 组的两侧端面连接软性风管，并往下延伸与滤网相互连结。
特别是，所述的滤网装设于天花板铝骨架上。
特别是，所述风^L的横截面的大于滤网的横截面。
特别是，水冷却盘管，平均分散的配置于天花板的上方。
采用上述结构的本实用新型的无尘无菌室改变利用冰水冷却盘管与风机相 互装设，使两侧的回风道无装设水水冷却盘管制程动线未受到限制，其热负荷 不会在回风道产生，另改变以软性风管与滤网相互连接，更能增大风机以及扇 叶的直径，从而增加进风量，使吸力大幅提升。
图1为现有风机滤网^L组的无尘无菌室示意图。 图2为现有风机滤网机组的组装图。
图3为本实用新型的风机干盘管机组的无尘无菌室示意图。 图4为本实用新型风机干盘管机组连接滤网的组装图。
具体实施方式
下面结合实施例并配合图式对本实用新型作进一步地/说明。
本实用新型主要目的，是要提出一种无尘无菌室使用的风机干盘管机组， 主要利用水水冷却盘管装i殳在风片几的上方形成一风机干盘管机组(FDCU, Fan Dry Coil Unit),两侧端面并装设有软性风管，软性风管的一端连接固定在天花板 铝骨架上的滤网。本实用新型为一种无尘无菌室使用的风机干盘管机组，如图3所示，整体
厂房中无尘无菌室1的两侧面设有隔间板51，52,下方装设有高架地板8，其上 方装设有天花板骨架3，其天花板骨架3装设有数个滤网61,62,并在天花板上 方层7装设有软性管91， 92并与滤网61， 62相互连接，另一端连接风机干盘管 机組2,无尘无菌室1的两侧设有回风道41， 42,其中气流向流经无尘无菌室1 后流经高架地板8，再流向两侧的回风道41，42，再经过风才几千盘管才/L组、软性 风管91， 92及滤网61， 62。
又，本实用新型的特征在于风机干盘管机组2，由水水冷却盘管21及风机 22所组成，冰水冷却盘管21装设在风机22的上方，其风机上设有数片叶片23, 并于风机干盘管机组2的两侧端面装设软性风管91, 92的一端，并于另一端与 装设在天花板骨架3的滤网61, 62相互连接如图4所示，其中风机干盘管机组2; 吸引经由回风道41，42回流至天花板上层7的气流，并将其冷却降温后，经由 软性风管61，62,吹送至两侧的滤网61,62,将该气流过滤清洁后，吹送进入无 尘无菌室l内，而该已^L清洁并冷却的气流，将漂浮于室内的污染粒子(由室 内的机器设备、人等产生)，吹引流经高架地板8的孔洞，带出至无尘室外(高 架地板下方)，同时因吸收室内的热负荷，而导致该气流的温度上升，而含污染 粒子的气流，流经高架地板8的下方空间及回风道41,42,回流至天花板上层7 空间，再被风机干盘管机组2吸引流入，完成整个无尘无菌室1气流的清洁降 温循环流程。
综上所述，该风机干盘管机组2与滤网61，62是分离的个别部件，也就是 说风机干盘管机组2的尺寸规格Wl,可不受滤网61, 62尺寸规格W2的限制，而 给予合理的放大W1〉W2 (风量放大4倍)，放大规才各后的风机干盘管机组2，使 本实用新型具有下列的特性
1. 使本实用新型的风机运转效率将可提升，减少15%的电力能源浪费。
2. 使本实用新型的风机干盘管机组，在无尘室系统所配置的^:量可大幅的 降低，在相同的无尘室条件下，FDCU配置的数量仅为FFU的2 5 % ,因此其相关的配线、控制、安装、维护保养等工程费用，亦可大幅的减少。
3.本实用新型的冰水冷却盘管，平均分散的配置于天花板的上方，对于热 负荷的控制，亦有改善的功能。
因此，本实用新型风机干盘管机组的开发，将可改善传统型的风机滤网机 组配置于无尘室所产生的缺失。
权利要求1. 一种无尘无菌室使用的风机干盘管机组，其特征在于由一个以上的冰水冷却盘管及一个以上的风机组成一个以上的风机干盘管机组，其中冰水冷却盘管装设在风机的上方，并置于天花板空间适当处；在风机干盘管机组的两侧端面连接软性风管，并往下延伸与滤网相互连结。
2. 根据权利要求1所述的风机干盘管机组，其特征在于滤网装设于天花 斧反铝骨架上。
3. 根据权利要求1所述的风机干盘管机组，其特征在于所述风机的横截 面的大于滤网的横截面。
4. 根据权利要求1所述的风机干盘管机组，其特征在于水冷却盘管，平 均分散的配置于天花板的上方。
专利摘要本实用新型公开了一种无尘无菌室使用的风机干盘管机组，为解决现有技术中工程费用高、浪费能源等问题而发明。其是由一个以上的冰水冷却盘管及一个以上的风机组成一个以上的风机干盘管机组，其中冰水冷却盘管装设在风机的上方，并置于天花板空间适当处；在风机干盘管机组的两侧端面连接软性风管，并往下延伸与滤网相互连结。采用上述结构的本实用新型的无尘无菌室改变利用冰水冷却盘管与风机相互装设，使两侧的回风道无装设冰水冷却盘管制程动线未受到限制，其热负荷不会在回风道产生，另改变以软性风管与滤网相互连接，更能增大风机以及扇叶的直径，从而增加进风量，使吸力大幅提升。
文档编号F24F1/00GK201314638SQ20082013931
公开日2009年9月23日 申请日期2008年10月28日 优先权日2008年10月28日
发明者王赞杰 申请人:九合工程股份有限公司