厂房通风除尘系统的制作方法

本发明涉及无尘室系统领域，尤其涉及一种厂房通风除尘系统。

背景技术：

在电子行业以及医学行业的科学研究与生产当中，为了提高产品的性能以及研究结果的准确程度，通常都需要在无尘室或无尘设备中进行加工或实验，无尘室的洁净度直接关系到产品的好坏，这已成为许多电子技术企业发展的瓶颈，洁净度能够达到class10的无尘室在普通企业中非常少见。

另一方面，企业由于建筑面积有限，在布置厂房结构时需要格外注意节省空间，尽可能充分利用已有空间布置无尘室，例如利用回风夹道改造而成。现有技术中，无尘室通常使用单独的房间构成，无法利用厂房已有的回风夹道空间改造而成，由于回风夹道洁净度很低，一些企业即便尝试对其进行改造，洁净度最高也只能达到class1000，远未达到class10的无尘标准。

技术实现要素：

针对上述现有技术中的问题，本发明提出了一种厂房通风除尘系统。

一种厂房通风除尘系统，包括回风夹道区以及至少一个厂房区，其特征在于：所述厂房区包括风机过滤机组、进风室、出风室以及无尘室，其中所述无尘室内部的压强大于所述出风室、进风室以及回风夹道区；所述进风室与所述无尘室之间通过所述风机过滤组连接，并且所述进风室与所述无尘室之间仅通过所述风机过滤组进行空气流通；所述回风夹道区与所述出风室通过干盘管连接，所述无尘室与所述出风室之间通过高架地板连接，所述无尘室与所述出风室之间仅通过所述高架地板进行空气流通，且所述回风夹道区与所述出风室之间仅通过干盘管进行空气流通。

优选地，所述出风室的顶部具有钢梁组，用于为所述无尘室提供支撑面，所述钢梁组包括至少两个钢梁。

优选地，所述钢梁之间的间隔为60厘米。

优选地，所述出风室的内部设置有立柱，所述立柱的高度与所述出风室的高度相同，用于支撑所述无尘室的地面。

优选地，所述孔板的开孔率为25％。

优选地，所述无尘室用于进行光刻工艺。

优选地，所述风机过滤装置的吸入速率小于吹出速率。

优选地，所述进风室具有第一通风口，不同的所述厂房区之间通过所述第一通风口进行级联。

优选地，所述回风夹道区具有至少一个第二通风口，所述厂房区通过所述第二通风口与所述回风夹道进行空气流通。

本发明的技术效果是，对回风夹道进行改造，充分利用了厂房空间；使用干盘管和风机过滤机组，保证了无尘室的洁净度和温湿度。

上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1为本发明实施例的厂房通风除尘系统结构示意图；

图2为本发明实施例的厂房通风除尘系统空气流向示意图；

图3为本发明实施例的多个厂房区级联的结构示意图；

图4为图3的实施例的空气流向示意图；

图5为本发明实施例的多个厂房区与回风夹道区连接的结构示意图；

图6为图5的实施例的空气流向示意图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

厂房通风除尘系统包括回风夹道区1以及至少一个厂房区，其特征在于：所述厂房区包括风机过滤机组5、进风室2、出风室4以及无尘室3，其中无尘室3内部的压强大于出风室4、进风室2以及回风夹道区1，进风室2位于厂房区的顶部，无尘室3与风机过滤机组5位于厂房区的下部，进风室2与无尘室3之间通过风机过滤组5连接，并且进风室2与无尘室3之间仅通过风机过滤组5进行空气流通；回风夹道区1)与出风室4通过具有开孔的高架地板7以及干盘管6连接，无尘室3与出风室4之间仅通过高架地板进行空气流通，回风夹道区1与出风室4之间仅通过干盘管进行空气流通。

本发明可以用来改造一般厂房的回风夹道，使得回风夹道中可以出现的洁净度能够达到CLASS10的无尘室。回风夹道是主体厂房与外墙之间用于风循环的密闭空间。干盘管指盘管的热交换只有显热交换，没有潜热交换，这对室内无湿源且对空气相对湿度要求不高的地方可以使用，因为在空气含湿量一定的情况下温度下降会使空气相对湿度增加。盘管本身无干湿之分，干盘管是通过控制冷冻水供水温度来实现的，即使供水温度高于室内空气的露点温度，使室内空气在温度下降过程中，所含水蒸汽不凝结成水。由于干盘管只进行显热交换，没有潜热交换，所以相对湿盘管相同温降所需热交换量要少一些。本发明需要保持整个系统的温湿度，因此需要使用干盘管进行过滤。

洁净度等级通常是指单位体积空气中含有大于0.5μm直径的尘埃数量。它根据洁净间一定体积内将大于或等于粒径的灰尘颗粒限制在一定数量而制定的标准。一般常用的有100、1000、10000三个等级。目前，国际上比较有代表性的标准为美国联邦标准209和日本工业标准JISB9920(日本以大于0.lμm直径的尘埃为单位)。本发明的目的是在回风夹道中建造CLASS10洁净度的无尘室，即在单位体积空气中含有0.5μm直径的尘埃数量少于10。

为了保证洁净度，需要让无尘室内的压强大于其他室，一般通过控制风机过滤机组的进风和出风速率实现。无尘室内的压强与室外压强差也需要分情况设计。维持一定的正压是保证无尘车间不受或少受污染、以维持设计洁净度等级必不可少地条件之一。即便是负压无尘车间，它也必须有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定地正压，负压无尘车间的洁净度才能得以维持。无尘车间正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证无尘车间正压值，送风、回风和排风机最好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止无尘车间在系统开启和关闭时受到污染。维持无尘车间正压所需的风量主要根据维护结构密闭性好坏来确定。我国无尘车间建设初期由于围护结构密闭性较差，要维持≥5Pa的正压就要2～6次/h送风量；目前维护结构密闭性已大为提高，维持同样的正压只要1～2次/h送风量；维持≥1OPa也只要2～3次/h送风量。我国设计规范规定：不同等级的无尘车间以及洁净区和非洁净区之间的静压差应不小于0.5mmH2O(～5Pa)，洁净区与室外的静压差应不小于1.OmmH2O(～l0Pa)。美国联邦标准(FS209A～B)规定：当所有出入口关闭时，无尘车间与任何相邻的低洁净度区域之间的最低正压差为0.05英寸水柱(12.5Pa)，这数值已被许多国家采用。但无尘车间的正压值并非越大越好，当正压值≥30Pa时，开门就比较困难，当正压值≥50～70Pa时，门窗缝隙就会发出哨音，体弱者或有某种不适应症者不适感觉。但国内和国外许多国家的有关规范或标准均未规定正压的上限值，这样的结果许多单位都只求下限值满足要求，而不管上限值达到多少。因此，本发明设计无尘室内正压时，可以参考上述参数，保证在不影响开门、不产生明显哨音的情况下，使压强尽可能大。

风机过滤机组(Fan Filter Unit，以下简称FFU)，可模块化连接使用，使得FFU广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。FFU设有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20％的风速匀速送出。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。

高架地板的布置方法：无尘室的地面由高架地板构成，在布置高架地板之前，先进行流体动力学计算，获取生产机台的相关参数(如外形尺寸、自带FFU参数等)，以得到更符合未来实际运转的气流状况。模型建立主要包括建筑尺寸、回风道分布以及生产设备模型等。边界条件主要包括FFU参数、孔板特性及障碍物等定。通过研究各区之气流偏移状况，分区调整地板阻力特性以形成洁净房所需要之垂直单向流在施工之前预见未来可能发生的局部气流偏移、紊流甚至交叉污染等不良现象，并采取相应的预防措施。然后根据高架地板的通风压损曲线资料，计算维持高架地板通风压差在5pa左右的各种不同开孔率的通风量，通风压损曲线资料可以由高架地板通过查阅信息或者由厂商提供。开孔率一般有17％、25％、50％三种，下面举出计算通风量的例子：在一个实施例中，17％开孔率的压差在5PA，地板面风速为0.45m/s，通风量为583.2m³/h；25％开孔率的压差在5PA，地板面风速0.65m/s，通风量842.4m³/h；50％开孔率的压差在5PA，地板面风速1.25m/s，通风量1,620m³/h。

由于回风夹道空间较小，因此在回风夹道中设置的无尘室一般尺寸也较小，在一个具体的实施例中，无尘室的长为6米，宽为9米，出风室的顶部具有钢梁组，由于出风室位于无尘室的下部，因此钢梁能够用于为无尘室提供支撑面，钢梁组包含至少两个钢梁。钢梁的宽度为20厘米，厚度为15厘米，并且钢梁之间的间隔为60厘米。出风室内部设置有立柱，立柱的高度与出风室的高度相同，为5米，用于支撑高架地板。孔板的开孔率为25％。风机过滤装置的吸入速率小于吹出速率，这样可以保证无尘室内的气压始终高于出风室，防止出风室的气流倒灌入无尘室而导致无尘室洁净度降低。

图1示出的是回风夹道区与单个厂房区连接的情形，其空气流通情况如图2所示。厂房通风除尘系统的回风夹道区能够与多个厂房区进行连接，如图3和图5所示。

在图3中，每个厂房区的进风室2还包括第一通风口8，第一通风口8位于异于回风夹道区的一侧，不同的厂房区可以通过各自的第一通风口8相互级联。这样设置能够在较大空间的回风夹道设置多个无尘室，充分利用了空间。图3对应的空气流通示意图如图4所示。

在图5中，回风夹道区1具有至少一个第二通风口9，每个厂房区都与回风夹道区的第二通风口9对应连接，从而进行空气流通，同样可以充分利用空间。图5对应的空气流通示意图如图6所示。

本发明的通风系统可以较好地用于光刻工艺，因为光刻工艺对无尘环境有较高要求，本发明可以使无尘室达到满足光刻工艺的环境条件。

虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。