厂房通风除尘系统的制作方法

文档序号:12354730阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种厂房通风除尘系统,包括回风夹道区(1)以及至少一个厂房区,其特征在于:所述厂房区包括风机过滤机组(5)、进风室(2)、出风室(4)以及无尘室(3),其中所述无尘室(3)内部的压强大于所述出风室(4)、进风室(2)以及回风夹道区(1);

所述进风室(2)与所述无尘室(3)之间通过所述风机过滤组(5)连接,并且所述进风室(2)与所述无尘室(3)之间仅通过所述风机过滤组(5)进行空气流通;

所述回风夹道区(1)与所述出风室(4)通过干盘管(6)连接,所述无尘室(3)与所述出风室(4)之间通过高架地板(7)连接,所述无尘室(3)与所述出风室(4)之间仅通过所述高架地板进行空气流通,且所述回风夹道区(1)与所述出风室(4)之间仅通过干盘管进行空气流通。

2.根据权利要求1所述的厂房通风除尘系统,其特征在于:所述出风室(4)的顶部具有钢梁组,用于为所述无尘室(3)提供支撑面,所述钢梁组包括至少两个钢梁。

3.根据权利要求2所述的厂房通风除尘系统,其特征在于:所述钢梁的宽度为20厘米,厚度为15厘米,所述钢梁之间的间隔为60厘米。

4.根据权利要求1或2所述的厂房通风除尘系统,其特征在于:所述出风室(4)的内部设置有立柱,所述立柱的高度与所述出风室的高度相同,用于支撑所述高架地板。

5.根据权利要求1所述的厂房通风除尘系统,其特征在于:所述进风室(2)位于所述厂房区的顶部,所述无尘室(3)与所述风机过滤机组(5)位于所述厂房区的下部。

6.根据权利要求1所述的厂房通风除尘系统,其特征在于:所述高架地板(7)的开孔率为25%。

7.根据权利要求1所述的厂房通风除尘系统,其特征在于:所述无尘室(3)用于进行光刻工艺。

8.根据权利要求1所述的厂房通风除尘系统,其特征在于:所述风机过滤机组(5)的吸入速率小于吹出速率。

9.根据权利要求1所述的厂房通风除尘系统,其特征在于,所述进风室(2)具有第一通风口(8),不同的所述厂房区之间通过所述第一通风口进行级联。

10.根据权利要求1所述的厂房通风除尘系统,其特征在于,所述回风夹道区(1)具有至少一个第二通风口(9),所述厂房区通过所述第二通风口与所述回风夹道进行空气流通。

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