真空干燥装置的制作方法

本发明涉及干燥设备领域，特别是涉及一种真空干燥装置。

背景技术

有机电致发光器件是一种自发光器件，具有电压低、视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，属于新一代的显示技术。有机电致发光器件由于制造过程复杂，生产成本始终偏高，导致大尺寸有机电致发光器件显示屏在成本上一直无法与液晶显示器竞争。现在打印技术和印刷技术被科学界公认为降低大尺寸有机电致发光器件显示屏生产成本的最佳途径，所以工业界纷纷研究大尺寸有机电致发光器件的打印及印刷的工艺技术。采用喷墨打印或印刷等方法制作有机电致发光器件过程中，需要对有机发光器件中的薄膜层进行干燥以去除溶剂，以防止残留的溶剂对显示屏的寿命造成不良影响。

传统普遍采用真空干燥箱对有机电致发光器件中的薄膜层进行干燥，但该干燥方式的能耗较大，效率偏低。

技术实现要素：

基于此，有必要提供一种能耗较小且效率较高的真空干燥装置。

一种真空干燥装置，包括：

干燥室，所述干燥室具有用于放置待干燥样品的干燥腔，所述干燥室有多个；及

抽气管路，所述抽气管路的一端用于与第一抽气装置连接，所述抽气管路的另一端用于与第二抽气装置连接，所述抽气管路分别与多个所述干燥室连接以使多个所述干燥腔内均能够形成负压，所述抽气管路上设有多个阀门以用于配合所述第一抽气装置和所述第二抽气装置调控各所述干燥腔内的气压，以对多个所述干燥腔内的待干燥样品依次进行连续干燥。

在其中一个实施例中，所述抽气管路在靠近其两端的位置以及在相邻两个所述干燥室之间的管段上均设有阀门。

在其中一个实施例中，所述干燥室有3～10个，3～10个所述干燥室并列设置；相应地，所述抽气管路上的阀门共设有4～11个。

在其中一个实施例中，所述抽气管路至少一端的端部设有气压测量装置。

在其中一个实施例中，所述气压测量装置为压力传感器。

在其中一个实施例中，所述真空干燥装置还包括补气系统；

所述补气系统包括用于净化气体的气体净化组件和与所述气体净化组件连接的进气管；

所述进气管分别与多个所述干燥室连接以用于向每个所述干燥腔内补充气体。

在其中一个实施例中，所述干燥腔内设有用于对所述待干燥样品加热的加热组件。

在其中一个实施例中，所述加热组件包括用于向所述待干燥样品传热的导热板和与所述导热板连接的加热器。

在其中一个实施例中，每个所述干燥室均设有进气口。

在其中一个实施例中，每个所述干燥室均设有箱门。

上述真空干燥装置包括干燥室和抽气管路，其中干燥室具有用于放置待干燥样品的干燥腔，抽气管路的两端分别用于连接第一抽气装置和第二抽气装置以使各干燥室的干燥腔内均能够形成负压，抽气管路上设有多个阀门。使用上述真空干燥装置对有机电致发光器件中的薄膜层等多个待干燥样品分别进行干燥时，通过调控第一抽气装置、第二抽气装置以及各阀门的打开与关闭，整体上能够调整至仅通过第一抽气装置或第二抽气装置即可实现对置于不同干燥室内的待干燥样品依次进行连续干燥。与传统的真空干燥箱相比，上述真空干燥装置整体上可显著提高真空干燥的效率，显著降低能耗，并且几乎不影响各干燥室内的待干燥样品的干燥速率，操作简单，显著提高生产效率并降低生产成本。另外，当干燥室的数量较多时，也可通过调控第一抽气装置、第二抽气装置以及各阀门的打开与关闭，调整至第一抽气装置和第二抽气装置同时工作以实现对置于不同干燥室内的待干燥样品进行连续干燥，提高整体干燥效率。

进一步地，上述真空干燥装置中各干燥室的干燥腔内还设有用于待干燥样品加热的加热组件，整体上能够进一步提高对薄膜中高沸点溶剂的去除效率，提高干燥效率和干燥效果。

进一步地，上述真空干燥装置还包括能够对干燥室的干燥腔补气的补气系统，能够进一步促进溶剂的去除，提高干燥效果。

附图说明

图1为一实施方式的真空干燥装置的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请结合图1，一实施方式的真空干燥装置10包括箱体100、抽气装置和抽气管路300。

在本实施方式中，箱体100包括四个并列设置且相互独立的干燥室，依次记为第一干燥室110、第二干燥室120、第三干燥室130和第四干燥室140。每个干燥室分别具有用于放置待干燥样品的干燥腔。每个干燥室均设有独立的箱门，以用于将有机电致发光器件的薄膜层等待干燥样品分别放置到各干燥腔内。每个干燥室均设有进气口以便于向干燥腔内通气使干燥腔内恢复大气压。优选地，进气口位于各干燥室的底部，避免对样品产生影响。

在本实施方式中，抽气装置包括第一抽气装置210和第二抽气装置220。优选地，抽气装置为真空泵，抽气效率高。

在本实施方式中，抽气管路300的一端用于与第一抽气装置210连接，抽气管路300的另一端用于与第二抽气装置220连接。从第一抽气装置所在端至第二抽气装置所在端，抽气管路300分别与第一干燥室110、第二干燥室120、第三干燥室130和第四干燥室140连接以使各干燥腔内均能够形成负压以干燥位于其内部的各样品。

优选地，抽气管路300在靠近其两端的位置以及在相邻两个干燥室之间的管段上均设有阀门。阀门打开，气流可通过；阀门关闭，气流将被截断。具体地，从第一抽气装置所在端至第二抽气装置所在端，抽气管路300上的所有阀门依次记为第一阀门311、第二阀门312、第三阀门313、第四阀门314和第五阀门315。该五个阀门能够配合第一抽气装置210和第二抽气装置220调控每个干燥腔内的气压并对多个干燥腔内的待干燥样品依次进行连续干燥。

与现有的真空干燥箱相比，该抽气管路300、五个阀门以及两个抽气装置协同配合，即可实现真空干燥装置10整体上最终采用一个抽气装置对四个干燥室内的待干燥样品的连续干燥，干燥效率高，并可显著节约能源。

在本实施方式中，优选地，抽气管路300在靠近其两端的位置设有压力传感器320，便于对比判断抽气状况。在其他实施方式中，抽气管路300至少一端的端部设有压力传感器320或气压表等压力测量装置以监控抽气管路300上的气压值，便于评断抽气装置的性能情况，也便于适时调整五个阀门以及其中一个抽气装置的打开与关闭。

进一步地，每个干燥室分别通过通气管路与抽气管路300连接。

在其他实施方式中，进一步地，每个干燥室对应的通气管路上均设有阀门。此时，当某个干燥室不能使用时，可直接关闭该干燥室对应的通气管路上阀门，继而不影响其他干燥室的正常使用。当某个干燥室内的样品干燥完成后，可直接关闭对应该干燥室的通气管路上的阀门，也不会对其他干燥室的气压产生显著影响。

优选地，第一干燥室110、第二干燥室120、第三干燥室130和第四干燥室140对应的各通气管路设在顶部，并使抽气管路300位于箱体100的上方，以便人工控制。

在其他实施方式中，干燥室的个数根据需要进行设置，例如为2个、3个、5个、7个、8个或12个等。从第一抽气装置所在端至第二抽气装置所在端，抽气管路300分别与各干燥室连接以使各干燥腔内均能够形成负压，抽气管路300上设有多个阀门以用于配合第一抽气装置210和第二抽气装置220调控每个干燥腔内的气压，并使各干燥腔能够最终通过第一抽气装置210(或第二抽气装置220)连续干燥位于其内部的有机电致发光器件的薄膜层等待干燥样品。

进一步地，箱体100的干燥室有3～10个，3～10个干燥室并列设置；相应地，抽气管路300上的阀门共设有4～11个。可以理解，干燥室的设置个数可以根据第一抽气装置210和第二抽气装置220的抽气情况进行调整。

当箱体100的干燥室的数量超过4个时，也可通过调控第一抽气装置210、第二抽气装置220以及各阀门的打开与关闭，调整至第一抽气装置210和第二抽气装置220同时工作以实现对置于不同干燥室内的待干燥样品依次进行连续干燥，提高整体干燥效率。

进一步地，本实施方式的真空干燥装置10还包括补气系统。补气系统包括用于净化气体的气体净化组件400和与气体净化组件连接的进气管410，进气管410分别与各干燥室连接以能够向每个干燥腔内补充微量气体，以进一步提高溶剂去除效率，提高干燥效率。例如，气体净化组件400可以直接为气体过滤器。

优选地，进气管410设于箱体100的底部，以便于补充的气体流过整个干燥腔并带走挥发的溶剂。进气管410进一步可设置多个阀门以分别调控向各干燥腔内的补气量。

在其他实施方式中，气体净化组件400可以直接采用惰性气体的供气源替代，以提高溶剂去除效率，提高干燥效率，并保证样品品质。

进一步地，本实施方式的真空干燥装置10还包括用于加热带干燥样品的加热组件500。加热组件500设于各干燥室内。加热组件500包括用于向待干燥样品传热的导热板和与导热板连接的加热器，整体上能够进一步提高对有机电致发光器件的薄膜层中高沸点溶剂的去除效率，加快干燥过程，同时便于使干燥后的样品退火，除去薄膜应力。

另外，在其他实施方式中，各干燥室内也可以直接设置具有发热功能的样品台，可控制样品台直接对待干燥样品进行加热，提高对有机电致发光器件的薄膜层中高沸点溶剂的去除效率，提高干燥效率和干燥效果。

通过两个抽气装置以及抽气管路300上多个阀门的相互配合，本发明的真空干燥装置能够显著提高真空干燥的效率，显著降低能耗，并且几乎不影响各干燥室内的待干燥样品的干燥速率，操作简单，显著提高生产效率并降低生产成本。

一种采用本实施方式的真空干燥装置10的真空干燥方法，包括如下步骤：

步骤s1，将待干燥的有机发光器件的薄膜层a(简称样品a)置于第一干燥室110的干燥腔内，关闭该箱门和第二阀门312。打开第一阀门311，打开第一抽气装置210对样品a进行真空干燥。

步骤s2，将待干燥的有机发光器件的薄膜层b(简称样品b)置于第二干燥室120的干燥腔内，关闭该箱门，同时关闭第三干燥室130和第四干燥室140的箱门。打开第三阀门313、第四阀门314以及第五阀门315，再打开第二抽气装置220对第二干燥室120、第三干燥室130以及第四干燥室140的干燥腔进行抽气，当气压传感器320的示数接近气压传感器310的示数时，关闭第三阀门313，打开第二阀门312，该方式能够实现对样品a的持续干燥。关闭第二抽气装置220。通过进气口或者补气系统向第三干燥室130以及第四干燥室140的干燥腔内进行补气使其恢复大气压。

步骤s3，将待干燥的有机发光器件的薄膜层c(简称样品c)置于第三干燥室130的干燥腔内，采用与步骤s2相同的方式实现第一干燥装置210同时对样品a、样品b以及样品c进行干燥，且同时实现对样品a和样品b的连续干燥。

步骤s4，将待干燥的有机发光器件的薄膜层d(简称样品d)置于第四干燥室140的干燥腔内，采用与步骤s2相同的方式实现第一干燥装置210同时对样品a、样品b、样品c以及样品d进行干燥，且同时实现对样品a、样品b以及样品c的连续干燥。

在其他实施方式中，该真空干燥方法还可以在步骤s4中，当气压传感器320的示数接近气压传感器310的示数时，关闭第三阀门313，打开第四阀门314，最终实现第一干燥装置210同时对样品a和样品b进行真空干燥，第二抽气装置220同时对样品c和样品d进行干燥。同时，在干燥的过程中，通过开启加热组件，并通过补气系统向各干燥腔内补充微量气体，以提高对高沸点溶剂的干燥效率。

在其他实施方式中，可直接分别将样品a和样品b分别置于第一干燥室110和第二干燥室120内，关闭第三阀门313，打开第一阀门311和第二阀门312，开启第一抽气装置210同时对样品a和样品b进行干燥。采用第二抽气装置220同时对样品c和样品d进行干燥，也可显著提高生产效率，并节约能耗。还可以通过第一抽气装置210同时对分别置于第一干燥室110、第二干燥室120和第三干燥室130的同时需要进行干燥的样品a、样品b以及样品c进行干燥。

在其他实施方式中，当每个干燥室对应的通气管路上均设有阀门时，在步骤s2中，同时关闭第三干燥室130和第四干燥室140的箱门，直接替换为关闭第三干燥室130和第四干燥室140所对应的通气管路上的阀门即可，后续也无需再向第三干燥室130和第四干燥室140的干燥腔内补气，进一步提高效率，节约工序。

采用本发明的真空干燥装置对多个样品进行真空干燥的方法不限于上述几种情况。

使用本发明的真空干燥装置进行真空干燥时，通过一个抽气装置或两个抽气装置即可实现各干燥室内的有机电致发光器件的薄膜层等待干燥样品连续不断地干燥过程，使得有机电致发光器件的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效解决有机电致发光器件湿法工艺中的干燥处理问题，从而显著节约能耗，提高效率，并降低生产成本，整体上简便、高效、节能。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。