高纯净气氛炉用隔热模块及其安装方法和高纯净气氛炉与流程

技术特征：

1.一种高纯净气氛炉用隔热模块，其特征在于，包括：密封金属腔，所述密封金属腔包括密封金属腔壳体和密封金属腔上盖，所述密封金属腔上盖位于所述密封金属腔壳体之上形成封闭腔体；上盖通气管道，所述上盖通气管道设置在所述密封金属腔上盖上；隔热填充物，所述隔热填充物填充于所述隔热模块的封闭腔体的内部；所述隔热模块的封闭腔体内可充纯氮气或惰性气体或经抽真空处理。

2.根据权利要求1所述的高纯净气氛炉用隔热模块，其特征在于，所述密封金属腔上盖通过焊接的方式与所述密封金属腔壳体连接在一起。

3.根据权利要求1所述的高纯净气氛炉用隔热模块，其特征在于，所述隔热填充物选自莫来石纤维毡、玻璃/陶瓷纤维毡、泡沫陶瓷、陶瓷微珠中的一种。

4.根据权利要求1所述的高纯净气氛炉用隔热模块，其特征在于，所述密封金属腔壳体和所述密封金属腔上盖的材质选自耐热钢、镍基合金、钼、钽或钨中的一种或多种。

5.一种高纯净气氛炉，其特征在于，所述高纯净气氛炉的炉膛内设置有如权利要求1-4任一项所述的隔热模块，所述炉膛的壳体上设置有通孔用于所述隔热模块的上盖通气管道的通过，所述上盖通气管道与所述高纯净气氛炉的供气系统连接。

6.根据权利要求5所述的高纯净气氛炉，其特征在于，所述隔热模块通过焊接或吊装的方式安装在所述高纯净气氛炉的炉膛内。

7.根据权利要求5所述的高纯净气氛炉，其特征在于，所述上盖通气管道和所述通孔之间的间隙通过密封件和/压紧法兰密封。

8.根据权利要求5所述的高纯净气氛炉，其特征在于，所述上盖通气管道与所述高纯净气氛炉的供气系统之间设置有密封阀门和调压装置。

9.根据权利要求5所述的高纯净气氛炉，其特征在于，所述高纯净气氛炉为真空炉、负压气氛炉、常压气氛炉或正压气氛炉中的一种。

10.一种如权利要求1-4任一项所述的高纯净气氛炉用隔热模块的安装方法，其特征在于，包括步骤：

S1、根据隔热模块在炉膛内相对位置，在高纯净气氛炉密封壳体上为隔热模块上盖通气管道预留通孔；

S2、所述隔热模块的上盖通气管道从预留通孔穿出，隔热模块可通过焊接或吊装等方式和高纯净气氛炉的内部连接并固定；

S3、隔热模块的上盖通气管道与高纯净气氛炉密封壳体预留通孔之间的间隙，通过密封圈和压紧法兰进行密封；

S4、隔热模块的上盖通气管道与高纯净气氛炉的供气系统连接，其二者之间设置有密闭阀门和调压装置；

S5、隔热模块的密封金属腔的封闭腔体内根据需要通入高纯氮气或惰性气体，或抽真空。