技术总结
本发明提供了一种高纯净气氛炉用隔热模块及其安装方法和高纯净气氛炉。一种高纯净气氛炉用隔热模块，包括：密封金属腔，所述密封金属腔包括密封金属腔壳体和密封金属腔上盖，所述密封金属腔上盖位于所述密封金属腔壳体之上形成封闭腔体；上盖通气管道，所述上盖通气管道设置在所述密封金属腔上盖上；隔热填充物，所述隔热填充物填充于所述隔热模块的封闭腔体的内部；所述隔热模块的封闭腔体内可充纯氮气或惰性气体或经抽真空处理。该隔热模块密封金属腔保证了炉内高温下炉内无多孔隔热材料挥发气体污染氛围，达到外加热式纯金属密闭炉膛气氛炉的效果。
技术研发人员：包建勋;张舸;曹琪;崔聪聪;董斌超
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日：2017.12.19
技术公布日：2018.06.08