本发明涉真空设备领域，尤其涉及的是一种卧式还原气氛真空退火炉。
背景技术：
气氛真空退火炉系列设备主要适用于碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米ZnO的可控生长、陶瓷电容器(MLCC)的气氛烧结、金属材料的扩散焊等CVD工艺。目前，传统的气氛真空退火炉为单温区设计，很难实现温度梯度的控制，满足不了CVD工艺的要求；在炉管选择上，以往选择高铝管，其氧化铝含量低、耐温性能差，容易在高温情况下发生炉管开裂、断裂现象，导致工艺实验不能正常进行，同时，由于炉管两端和中间没有支撑，也会造成高温情况下的炉管变形弯曲甚至断裂；另外，真空系统、气氛系统采用传统的机械泵和浮子流量计控制，缺点是系统真空度较低、气体流量控制精度较差，很难达到高、精、尖CVD工艺实验的指标要求，使用户不能正常使用。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种卧式还原气氛真空退火炉，克服上述传统气氛真空退火炉很难实现温度梯度的控制，炉管开裂、变形弯曲甚至断裂现象，真空系统、气氛系统真空度较低、气体流量控制精度较差，很难达到高、精、尖CVD工艺实验的指标要求等缺陷。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种卧式还原气氛真空退火炉，包括机架、炉体、炉门、炉胆、绝热保温炉衬、加热元件、真空系统、气氛系统、控制系统、安全装置和散热装置，其中：炉体安装在机架上，炉门与炉体连接，炉胆置于炉体内部，绝热保温炉衬安装在炉胆内部，加热元件在绝热保温炉衬的两侧面布置安装，真空系统和气氛系统安装在机架下部，控制系统安装机架后部，安全装置和散热装置安装在炉体上部。
作为优选方案，所述炉体内部两侧面安装导轨槽，炉胆与导轨槽之间滑动配合连接，这样炉胆能够在导轨槽上自由滑动；炉体下部焊接在鞍座上，且炉体与机架固定连接为一体。
作为优选方案，转臂一端通过调心装置与炉门连接，转臂另一端通过转轴与炉体连接，这样炉门能够绕转轴转动，进行开启和关闭；调心装置安装在炉门外侧中心位置上，用于多向调节炉门位置。
作为优选方案，所述炉胆设置在炉体内部，炉胆两侧安装有滚轮，这些滚轮与导轨槽之间滑动配合连接，使得滚轮能够在导轨槽上自由滑动，炉胆安装有内炉门，在将内炉门关闭后形成封闭的加热空间。
作为优选方案，安装在炉胆内部的绝热保温炉衬是由多层耐火材料组成。
作为优选方案，所述控制系统用于实时测量物料烧结时的温度和压力，并能根据物料烧结工艺进行气氛充注和置换，自动开启和关闭加热。
作为优选方案，所述安全装置安装在炉体上部，在炉体内部超压或气体爆炸时工作，能保护设备安全。
作为优选方案，所述散热装置安装在炉体上部，用于降低炉体的表面温度。
作为优选方案，所述炉胆采用高低温区设计，高温区采用U型硅钼棒加热，硅钼棒两侧布置，低温区采用FEC陶瓷纤维加热器加热，圆周式布置，高低温区设计有隔板结构；在炉胆内的耐材全部选用陶瓷纤维轻质材料施压咬口拼装而成，由内到外依次是耐火层、保温层和隔热层，分别选用莫来石纤维、高铝纤维和硅酸铝纤维；在炉胆内的高纯刚玉炉管可以自由进出炉胆，高纯刚玉炉管两端固定有带水冷的不锈钢法兰，不锈钢法兰可拆卸式，硅胶圈密封，两端不锈钢法兰分别接真空系统和气氛系统。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
本发明结构新颖、操作方便、适应性强，其中：本发明中炉胆采用高、低温区设计，可以有效实现温度梯度；轻质纤维材料热导率较低、比重小，能有效降低设备正常使用过程中的电耗；真空系统和气氛系统采用真空机组和质量流量计控制，使得真空度较高、气体流量控制精度较好，达到高、精、尖CVD工艺实验的指标要求。
附图说明
图1为本发明立体结构示意图；
图2为本发明另一角度立体结构示意图；
图中标注：机架(1)，炉体(2)，导轨槽(201)，鞍座(202)，炉门(3)，转臂(301)，转轴(302)，调心装置(303)，炉胆(4)，滚轮(401)，内炉门(402)，绝热保温炉衬(5)，加热元件(6)，真空系统(7)，气氛系统(8)，控制系统(9)，安全装置(10)，散热装置(11)。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-2本发明提供一种技术方案：一种卧式还原气氛真空退火炉，包括机架1、炉体2、炉门3、炉胆4、绝热保温炉衬5、加热元件6、真空系统7、气氛系统8、控制系统9、安全装置10和散热装置11，其中：炉体2安装在机架1上，炉门3与炉体2连接，炉胆4置于炉体2内部，绝热保温炉衬5安装在炉胆4内部，加热元件6在绝热保温炉衬5的两侧面布置安装，真空系统7和气氛系统8安装在机架1下部，控制系统9安装机架1后部，安全装置10和散热装置11安装在炉体2上部。所述炉体2内部两侧面安装导轨槽201，炉胆4与导轨槽201之间滑动配合连接，这样炉胆4能够在导轨槽201上自由滑动；炉体2下部焊接在鞍座202上，且炉体2与机架1固定连接为一体。转臂301一端通过调心装置303与炉门3连接，转臂301另一端通过转轴302与炉体2连接，这样炉门3能够绕转轴302转动，进行开启和关闭；调心装置303安装在炉门3外侧中心位置上，用于多向调节炉门3位置。所述炉胆4设置在炉体2内部，炉胆4两侧安装有滚轮401，这些滚轮401与导轨槽201之间滑动配合连接，使得滚轮401能够在导轨槽201上自由滑动，炉胆4安装有内炉门402，在将内炉门402关闭后形成封闭的加热空间。安装在炉胆4内部的绝热保温炉衬5是由多层耐火材料组成。所述控制系统9用于实时测量物料烧结时的温度和压力，并能根据物料烧结工艺进行气氛充注和置换，自动开启和关闭加热。所述安全装置10安装在炉体2上部，在炉体2内部超压或气体爆炸时工作，能保护设备安全。所述散热装置11安装在炉体2上部，用于降低炉体2的表面温度。
其中：所述炉胆4采用高低温区设计，高温区采用U型硅钼棒加热，硅钼棒两侧布置，低温区采用FEC陶瓷纤维加热器加热，圆周式布置，高低温区设计有隔板结构；在炉胆4内的耐材全部选用陶瓷纤维轻质材料施压咬口拼装而成，由内到外依次是耐火层、保温层和隔热层，分别选用莫来石纤维、高铝纤维和硅酸铝纤维；在炉胆4内的高纯刚玉炉管可以自由进出炉胆4，高纯刚玉炉管两端固定有带水冷的不锈钢法兰，不锈钢法兰可拆卸式，硅胶圈密封，两端不锈钢法兰分别接真空系统和气氛系统。
本发明结构新颖、操作方便、适应性强，其中：本发明中炉胆采用高、低温区设计，可以有效实现温度梯度；轻质纤维材料热导率较低、比重小，能有效降低设备正常使用过程中的电耗；真空系统和气氛系统采用真空机组和质量流量计控制，使得真空度较高、气体流量控制精度较好，达到高、精、尖CVD工艺实验的指标要求。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。