一种靶材加工用高压炉的制作方法

本实用新型涉及一种靶材加工领域，具体为一种靶材加工用高压炉。

背景技术：

靶材又可以叫镀膜靶材，是一种通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等，更换不同的靶材，如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等，即可得到不同的膜系，如超硬、耐磨、防腐的合金膜等，靶材在生产的过程中就需要高压炉来进行加工，现实面上的高压炉大多结构单一，操作起来较为繁琐，不够精简，同时高压炉在加热的时候需要较长时间的预热，才能达到理想的温度，较为浪费时间，同时，部分高压炉在运行的时候会出现热量外泄的现象，密封效果不理想。

因此，为了解决这些问题，我们提出一种靶材加工用高压炉。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种靶材加工用高压炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材加工用高压炉，其结构包括高压炉体、靶材放置管以及加热室，所述高压炉体的内部设有炉膛，所述高压炉体的右侧设有固定金属板，所述炉膛的内部设有滚轮，所述炉膛之间设有靶材放置管，所述靶材放置管的右侧设有拉杆，所述高压炉体的底部固定连接加热室，所述加热室的内部设有电加热管，所述加热室的左侧固定连接操作面板。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述炉膛内部的上下两侧固定连接轴承，所述轴承套接滚轮，所述炉膛内平均分布滚轮。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述高压炉体的右侧固定连接固定金属板，所述固定金属板的顶部设有凹槽。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述靶材放置管的上下两侧固定连接密封塞，所述靶材放置管的右侧固定连接金属横板，所述金属横板的右侧固定连接拉杆，所述金属横板的顶部和底部设有滑轨，所述滑轨之间设有滑块，所述滑块固定连接插销。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述加热室内部的底部固定连接控温基座，所述控温基座的表面平均分布电加热管，所述电加热管的顶部设有蓄热圈，所述控温基座通过线路固定连接操作面板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.该靶材加工用高压炉，通过在加热室内部设有多个电加热管，且每跟加热管上安装蓄热圈，提高了高压炉体内的温度，减少了加热所需的时间，使其可以快速升温，同时蓄热圈可以较大程度的减少热量的散发，保证了高压炉内的温度环境。

2.该靶材加工用高压炉，通过在高压炉口处设有固定金属板，结合金属横板上的插销，在将靶材放置管推入炉膛内后，放下插销，将高压炉和靶材放置管锁死，较好的防止了热量的外泄，同时密封塞会将炉膛和靶材放置管之间的缝隙填满，进一步提升了高压炉的密封性能，结构简单，较为实用。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种靶材加工用高压炉的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种靶材加工用高压炉的加热室结构示意图。

图3为本实用新型一种靶材加工用高压炉的插销结构示意图。

图中:高压炉体-1、炉膛-2、固定金属板-3、凹槽-4、滚轮-5、轴承-6、靶材放置管-7、密封塞-8、金属横板-9、滑轨-10、滑块-11、插销-12、拉杆-13、加热室-14、控温基座-15、电加热管-16、蓄热圈-17、操作面板-18。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种靶材加工用高压炉，其结构包括高压炉体1、靶材放置管7以及加热室14，所述高压炉体1的内部设有炉膛2，所述高压炉体1的右侧设有固定金属板3，所述炉膛2的内部设有滚轮5，所述炉膛2之间设有靶材放置管7，所述靶材放置管7的右侧设有拉杆13，所述高压炉体1的底部固定连接加热室14，所述加热室14的内部设有电加热管16，所述加热室14的左侧固定连接操作面板18。

请参阅图1，所述炉膛2内部的上下两侧固定连接轴承6，所述轴承6套接滚轮5，所述炉膛2内平均分布滚轮5，滚轮5可以让靶材放置管7流畅的推拉，较为便捷。

请参阅图1，所述高压炉体1的右侧固定连接固定金属板3，所述固定金属板3的顶部设有凹槽4，固定金属板3可以将高压炉和靶材放置管7紧密的贴合在一起，增强了密封性。

请参阅图3，所述靶材放置管7的上下两侧固定连接密封塞8，所述靶材放置管7的右侧固定连接金属横板9，所述金属横板9的右侧固定连接拉杆13，所述金属横板9的顶部和底部设有滑轨10，所述滑轨10之间设有滑块11，所述滑块11固定连接插销12，滑轨10和滑块11的结合，使得插销12可以上下随意滑动，操作简单。

请参阅图2，所述加热室14内部的底部固定连接控温基座15，所述控温基座15的表面平均分布电加热管16，所述电加热管16的顶部设有蓄热圈17，所述控温基座15通过线路固定连接操作面板18，多根电加热管16可以快速升温，稳定住高压炉内的温度。

本实用新型所述的一种靶材加工用高压炉，工作原理为通过在加热室内部设有多个电加热管，且每跟加热管上安装蓄热圈，提高了高压炉体内的温度，减少了加热所需的时间，使其可以快速升温，同时蓄热圈可以较大程度的减少热量的散发，保证了高压炉内的温度环境，而控温基座可以让操作人员通过操作面板来调整高压炉内的温度，较为便捷，靶材加工时只需将靶材放入靶材放置管内，推进炉膛里，通过金属横板上的插销将高压炉和靶材放置管锁死，同时密封塞会将炉膛和靶材放置管之间的缝隙填满，较好的防止了高压炉在运行时热量的外泄，加工完成后只需拔出插销，拉动拉杆便可取出靶材。

本实用新型的高压炉体1、炉膛2、固定金属板3、凹槽4、滚轮5、轴承6、靶材放置管7、密封塞8、金属横板9、滑轨10、滑块11、插销12、拉杆13、加热室14、控温基座15、电加热管16、蓄热圈17、操作面板18，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现实面上的高压炉大多结构单一，操作起来较为繁琐，不够精简，同时高压炉在加热的时候需要较长时间的预热，才能达到理想的温度，较为浪费时间，同时，部分高压炉在运行的时候会出现热量外泄的现象，密封效果不理想等问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，通过在加热室内部设有多个电加热管，且每跟加热管上安装蓄热圈，提高了高压炉体内的温度，减少了加热所需的时间，使其可以快速升温，同时蓄热圈可以较大程度的减少热量的散发，保证了高压炉内的温度环境，通过在高压炉口处设有固定金属板，结合金属横板上的插销，在将靶材放置管推入炉膛内后，放下插销，将高压炉和靶材放置管锁死，较好的防止了热量的外泄，同时密封塞会将炉膛和靶材放置管之间的缝隙填满，进一步提升了高压炉的密封性能，整体结构简单，实用性较强。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。