一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置的制作方法

本实用新型涉及压力检测技术领域，更具体的，涉及一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置。

背景技术：

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，则压力是用来描述体系状态的一个重要参数。许多物理、化学性质，例如熔点、沸点、蒸气压几乎都与压力有关。在化学热力学和化学动力学研究中，压力也是一个很重要的因素。因此，压力的测量具有重要的意义。被密封在某种容器中的气体，其压强是大量的做无规则运动的气体分子对容器壁不断碰撞而产生的，而现有的压力检测装置在实际测量操作中，一旦操作不当就会对突然对压力传感器施加较大的压力，造成冲击，使得测量值不准确，严重时还会损坏压力传感器，使得检测无法正常进行，安装也不方便。

技术实现要素：

本实用新型旨在于解决背景中的问题，从而提供一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置，包括壳体、顶板、显示屏、凹槽一、凹槽二、压力传感器、活动板、滑块一、螺纹连接口、流动通道、无纺布、支撑杆一、滑块二、滑槽一、压缩弹簧、支撑杆二、固定块、连接板、固定弹簧，所述壳体的上端中间位置固定连接有顶板，所述壳体的下端中间位置设有螺纹连接口，所述顶板的下端底部设有凹槽一和凹槽二，所述顶板的下端中间位置固定连接有压力传感器，所述压力传感器的一端设置在活动板中间的内部，所述活动板的两侧设有滑块一，所述活动板的上端设有支撑杆一和支撑杆二，所述支撑杆一的上端稍下的两侧固定连接有滑块二，所述螺纹连接口的内部设有流动通道，所述流动通道的上端两侧固定连接有无纺布，所述顶板的上端固定连接有显示屏。

优选的，所述凹槽一的两侧设有滑槽一。

优选的，所述凹槽一两端设有的滑槽一内部设有压缩弹簧，且与滑块二固定连接。

优选的，所述凹槽二中两侧设有固定块，且固定块上面通过连接转轴固定连接有连接板，且连接板的另一端与固定弹簧进行固定连接，且固定弹簧的另一端与凹槽二的内部上端进行固定连接。

优选的，所述壳体的两侧设有滑槽二，且滑块一设置在滑槽二中。

优选的，所述支撑杆一和支撑杆二都对称设有两个。

优选的，所述凹槽一和凹槽二都对称设有两个。

本实用新型提供了一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置，具有以下有益效果：

1、通过设有的顶板和顶板下端的凹槽一和凹槽二，可以在受到压力时通过滑动活动杆来将支撑杆一和支撑杆二进行推动，在推动支撑杆一和支撑杆二向上运动的过程中滑块二随着滑槽一进行滑动，从而将滑槽一中的压缩弹簧进行压缩，而凹槽二中的固定块连接的连接板和连接板连接的固定弹簧，通过支撑杆二进行推动，从而将固定弹簧进行压缩，从而使得活动板慢慢进行上升从而使得压力传感器与活动板进行接触，从而实现检测的结果。

2、设有的活动板通过压力通过流动通道将无纺布进行进行挤压使得无纺布进行上升，从而通过压力将活动板推动，从而活动板随着壳体两端的滑块一在滑槽二进行滑动，从而进行压力的检测。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的a处放大图。

图3为本实用新型的b处放大图。

图4为本实用新型的整体结构俯视图。

图1-4中：壳体1、顶板2、显示屏3、凹槽一4、凹槽二5、压力传感器6、活动板7、滑块一8、螺纹连接口9、流动通道10、无纺布11、支撑杆一12、滑块二13、滑槽一14、压缩弹簧15、支撑杆二16、固定块17、连接板18、固定弹簧19。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至4，本实用新型实施例中，一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置，包括壳体1、顶板2、显示屏3、凹槽一4、凹槽二5、压力传感器6、活动板7、滑块一8、螺纹连接口9、流动通道10、无纺布11、支撑杆一12、滑块二13、滑槽一14、压缩弹簧15、支撑杆二16、固定块17、连接板18、固定弹簧19，壳体1的上端中间位置固定连接有顶板2，壳体1的下端中间位置设有螺纹连接口9，顶板2的下端底部设有凹槽一4和凹槽二5，顶板2的下端中间位置固定连接有压力传感器6，压力传感器6的一端设置在活动板7中间的内部，活动板7的两侧设有滑块一8，活动板7的上端设有支撑杆一12和支撑杆二16，支撑杆一12的上端稍下的两侧固定连接有滑块二13，螺纹连接口9的内部设有流动通道10，流动通道10的上端两侧固定连接有无纺布11，顶板2的上端固定连接有显示屏3。

其中，凹槽一4的两侧设有滑槽一14，凹槽一4中设有的滑槽一14是方便让滑块二13在滑槽一1中进行滑动，从而防止支撑杆一12晃动的现象，使得连接更加的稳定。

其中，凹槽一4两端设有的滑槽一14内部设有压缩弹簧15，且与滑块二13固定连接，滑槽一14内部设有的压缩弹簧15与滑块一13进行连接，是为了让滑块一14能够慢速的进行滑动，从而使得压力检测测量的数据更加的准确。

其中，凹槽二5中两侧设有固定块17，且固定块17上面通过连接转轴固定连接有连接板18，且连接板18的另一端与固定弹簧19进行固定连接，且固定弹簧19的另一端与凹槽二5的内部上端进行固定连接，通过支撑杆16推动连接板18将固定弹簧19进行压缩从而使得支撑杆二16在上升的过程中能够慢速，使其测量的数据更加的准确。

其中，壳体1的两侧设有滑槽二，且滑块一8设置在滑槽二中，壳体1的两侧设有的滑槽二是方便活动板7在被压力推动下方便移动，从而带动支撑杆一13和支撑杆二16进行上升来进行检测。

其中，支撑杆一12和支撑杆二16都对称设有两个，支撑杆一12和支撑杆二16各对称设置两个是使得在上升的过程中能够更加的稳定，使其能够更好的进行压力检测。

其中，凹槽一4和凹槽二5都对称设有两个。

在使用本实用新型一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置时，首先将螺纹连接口9与连接头进行固定连接，然后接通过外部电源，设的显示屏3和压力传感器6进行接通，然后将炉内的压力通过流动通道10使得无纺布11进行扩张，从而将活动板7进行推动，使得两滑块一8在滑槽二中进行滑动，从而带动支撑杆一13和支撑杆二16进行上升然后将压缩弹簧15和固定弹簧19进行压缩从而使得活动板7与压力传感器6进行接触，然后通过压力传感器6将测量的通过电信号在传输的过程中转化为数字然后呈现在显示屏3上。

以上的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。