承载组件及烘干装置的制作方法

1.本技术属于光伏电池制造装备技术领域，具体涉及一种承载组件及烘干装置。


背景技术：

2.随着节能环保和可持续发展理念的逐渐增强，太阳能光伏电池已成为绿色发电不可或缺的一部分。太阳能光伏电池制备的第一步是对硅片进行清洗，清洗过后，需要对硅片进行烘干，以使硅片表面无水渍。
3.当前一些干燥方式是把装有硅片的花篮放入到烘干槽内实现热烘干，烘干槽两侧设有红外加热管，烘干槽的槽底设有循环风机，通过循环风机使热空气在烘干槽内循环，以实现对槽内花篮及硅片的烘干。
4.然而，在烘干过程中，烘干槽内局部积水严重，无法快速烘干，且加热源在烘干槽内部导致烘干槽内各处的温度不均匀，且对烘干槽的整体耐温要求较高，导致制造成本较高。


技术实现要素：

5.本技术实施例的目的是提供一种承载组件和烘干装置，至少能够解决烘干槽内各处温度分布不均的问题。
6.为了解决上述技术问题，本技术是这样实现的：
7.本技术实施例提供了一种承载组件，用于承载安装有硅片的花篮，所述承载组件包括：烘干槽体和栅板；
8.所述栅板设置于所述烘干槽体内，所述栅板与所述烘干槽体的底壁以及至少部分侧壁分别间隔设置，以使所述栅板与所述烘干槽体的底壁以及至少部分侧壁之间形成充气腔体；
9.所述栅板具有用于容纳所述花篮的容纳腔体；
10.所述烘干槽体设有进气孔，所述进气孔与所述充气腔体连通；
11.所述栅板至少部分区域分布有多个吹气孔，所述吹气孔连通所述充气腔体与所述容纳腔体。
12.进一步地，所述栅板包括多个依次设置的栅板单元，每个所述栅板单元均设有所述容纳腔体；
13.相邻的两个所述栅板单元各自的侧面相互间隔形成第一腔体单元，位于边缘的所述栅板单元的侧面与所述烘干槽体的侧壁相互间隔形成第二腔体单元，每个所述栅板单元的底面与所述烘干槽体的底壁相互间隔形成第三腔体单元，所述第一腔体单元、所述第二腔体单元和所述第三腔体单元相互连通；
14.所述栅板单元的侧面分布有所述吹气孔，所述吹气孔与所述第一腔体单元或所述第二腔体单元连通，所述栅板单元的底面分布有所述吹气孔，所述吹气孔与所述第三腔体单元连通；
15.所述进气孔开设于所述烘干槽体的底壁，并与所述第三腔体单元连通。
16.进一步地，所述栅板单元包括围设成所述容纳腔体的第一侧面板、第二侧面板、底面板、第一连接面板和第二连接面板；
17.所述第一侧面板与所述第二侧面板间隔设置，所述第一连接面板连接所述第一侧面板与所述底面板，所述第二连接面板连接所述第二侧面板与所述底面板；
18.所述第一连接面板与所述第一侧面板及所述底面板之间的夹角均为钝角，所述第二连接面板与所述第二侧面板及所述底面板之间的夹角均为钝角。
19.进一步地，所述第一侧面板、所述第二侧面板、所述底面板、所述第一连接面板和所述第二连接面板均分布有所述吹气孔。
20.进一步地，其中一个所述栅板单元的所述第二侧面板与相邻的所述栅板单元的所述第一侧面板平行，且所述第二侧面板与所述第一侧面板各自的背离所述底面板的端部相连；
21.位于边缘的所述栅板单元的所述第一侧面板或所述第二侧面板与所述烘干槽体的侧壁平行，且所述第一侧面板或所述第二侧面板的背离所述底面板的端部与所述烘干槽体的侧壁相连。
22.进一步地，所述承载组件还包括罩体和盖体；
23.所述罩体罩设于所述烘干槽体的外侧，并设有开口，所述盖体可启闭地设置于所述罩体的开口处。
24.本技术实施例还提供了一种烘干装置，包括气体输送组件、加热元件和上述承载组件；所述气体输送组件具有出气端，所述出气端连接于所述烘干槽体的所述进气孔处；所述加热元件设置于所述气体输送组件，以加热所述气体输送组件传输的气体。
25.进一步地，所述气体输送组件包括导风管道、风机和分流管道；所述风机和所述加热元件均连接于所述导风管道；所述分流管道包括主管以及多个与主管均连接的支管，多个所述支管对应连接于多个所述进气孔处，所述主管与所述导风管道连接。
26.进一步地，所述烘干装置还包括第一过滤部件；所述第一过滤部件连接于所述导风管道，并位于邻近所述分流管道的区域。
27.进一步地，所述烘干装置还包括壳体；所述承载组件、所述气体输送组件及所述加热元件均设置于所述壳体内；
28.所述壳体设有连通所述壳体的内腔与外部环境的进风口，所述进风口处设有第二过滤部件。
29.本技术中，栅板具有容纳腔体，通过容纳腔体可以容纳安装有硅片的花篮，从而为花篮提供安装空间；栅板设置于烘干槽体内，且栅板与烘干槽体之间形成充气腔体，栅板至少部分区域分布有多个吹气孔，通过吹气孔可以使充气腔体内的加热气体吹向容纳腔体内的花篮及硅片，从而可以对花篮及硅片进行烘干，以加快花篮及硅片的干燥速度；另外，通过进气孔可以向容纳腔体充入加热气体，以保证加热气体持续吹拂。相比于当前烘干设备在烘干槽的槽体内设置加热管和循环风机的方式，本技术中的烘干槽体内无需设置加热管，而是通过多个吹气孔向容纳腔体吹加热气体，从而使容纳腔体内的温度较为均匀，并且烘干槽体不会受到加热管的直接加热，从而对烘干槽体的整体耐温要求相对较低，降低了烘干槽体的制造成本；另外，多个吹气孔分布于栅板的至少部分区域，可以增大烘干面积，
并且还可以针对不易烘干的区域分布吹气孔，在一定程度上可以减少烘干所需时间，提高烘干效率。
附图说明
30.图1为本技术实施例公开的承载组件的第一结构示意图；
31.图2为本技术实施例公开的承载组件的第二结构示意图；
32.图3为本技术实施例公开的承载组件的第三结构示意图；
33.图4为本技术实施例公开的承载组件、花篮及花篮支架等构件的结构示意图；
34.图5为本技术实施例公开的烘干装置的结构示意图。
35.附图标记说明：
36.100-承载组件；110-烘干槽体；111-底壁；1111-进气孔；112-第一侧壁；113-第二侧壁；120-栅板；121-栅板单元；1211-第一侧面板；1212-第二侧面板；1213-底面板；1214-第一连接面板；1215-第二连接面板；122-吹气孔；130-盖体；140-罩体；
37.200-壳体；
38.300-气体输送组件；310-导风管道；320-风机；330-分流管道；331-主管；332-支管；
39.400-加热元件；
40.510-第一过滤部件；520-第二过滤部件；
41.600-花篮：610-花篮杆；620-限位板：
42.700-花篮支架：
43.a-充气腔体；a1-第一腔体单元：a2-第二腔体单元；a3-第三腔体单元；b-容纳腔体。
具体实施方式
44.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
45.本技术的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。
46.下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本技术实施例进行详细地说明。
47.请参阅图1至图5所示，本技术实施例提供了一种承载组件100，用于承载安装有硅片的花篮600，该承载组件100可以应用于烘干装置，通过烘干装置可以对花篮600及硅片进行烘干处理。
48.一些实施例中，花篮600可以包括间隔设置的两块限位板620和连接于两块限位板
620之间的多根花篮杆610，其中，花篮杆610沿自身轴向设有多个限位槽，通过限位槽可以对硅片起到卡接限位作用，如此，通过多根花篮杆610设有的限位槽可以实现对硅片的稳定安装。另外，花篮600可以通过花篮支架700进行安装，可选地，限位板620可以卡接于花篮支架700。
49.此外，在其他实施方式中，花篮600还可以采用相关技术中常见的其他花篮结构，本实施例对此不作限定。该花篮600可以用于承载半片硅片或整片硅片。
50.在对花篮600及安装于花篮600上的硅片进行烘干处理时，花篮支架700、花篮杆610和限位板620同样可以受到烘干装置的烘干处理，从而可以实现对硅片、花篮支架700、花篮杆610以及限位板620等构件的烘干处理。
51.其中，承载组件100包括烘干槽体110和栅板120，栅板120设置于烘干槽体110内。具体为，烘干槽体110具有内腔，栅板120位于内腔中，且栅板120与烘干槽体110连接，以保证栅板120与烘干槽体110的相对固定。并且，栅板120与烘干槽体110的底壁111及至少部分侧壁之间间隔设置，以使栅板120与烘干槽体110的底壁111及至少部分侧壁之间形成充气腔体a。
52.可选地，烘干槽体110可以包括沿第一方向间隔设置的第一侧壁112和第二侧壁113，沿第二方向间隔设置的第三侧壁和第四侧壁，以及底壁111，第一方向与第二方向垂直，而第一侧壁112、第二侧壁113、第三侧壁和第四侧壁首尾相连，且四者均与底壁111相连，使得四个侧壁和底壁111共同围成了烘干槽体110的内腔，以便于容纳栅板120。
53.在一些实施例中，可以是栅板120沿第一方向的两侧与第一侧壁112及第二侧壁113之间分别间隔设置，以及栅板120的底部与底壁111间隔设置，以形成充气腔体a。
54.在另一些实施例中，还可以是栅板120沿第一方向的两侧与第一侧壁112及第二侧壁113之间分别间隔设置，栅板120沿第二方向的两侧与第三侧壁及第四侧壁之间分间隔设置，以及栅板120的底部与底壁111间隔设置，以形成充气腔体a。
55.应理解，除上述两种实施方式之外，还可以是其他实施方式，本技术实施例对此不作限制。
56.上述充气腔体a用于容纳加热气体，当然，考虑到随着烘干工艺的进行，充气腔体a内的加热气体体积逐渐减少，为了保证加热气体足够烘干硅片、花篮600等构件，烘干槽体110设有进气孔1111，该进气孔1111与充气腔体a连通。基于此，可以通过进气孔1111向充气腔体a内充入加热气体，以保证烘干工艺对于加热气体的需求量。
57.上述栅板120具有用于容纳花篮600的容纳腔体b，以用于放置花篮600及安装于花篮600的硅片。在烘干工艺进行之前，将安装有硅片的花篮600放置于容纳腔体b内。
58.上述栅板120上安装花篮支架700，以用于对花篮600进行固定。如，将花篮支架700固定在容纳腔体b的壁面，通过花篮支架700可以对花篮600进行固定，以防止烘干工艺过程中花篮600及其上的硅片窜动。此处需要说明的是，关于花篮支架700的具体结构及其安装方式均可参考现有技术，此处不再赘述。
59.上述栅板120分布有多个吹气孔122，以用于烘干硅片及花篮600等构件，且吹气孔122连通充气腔体a与容纳腔体b。基于此，可以使充气腔体a内的加热气体沿着吹气孔122吹向容纳腔体b，并对容纳腔体b内的花篮600及其上的硅片进行吹拂，以加快干燥速度，提高烘干效率。
60.可选地，栅板120上的多个吹气孔122的分布位置可以根据实际情况而设定，具体为，在栅板120的底部、侧部等位置设置吹气孔122，以增大吹气区域的面积，提高烘干效率。当然，还可以针对容易积水的位置单独配置吹气孔122，具体为，在与花篮杆610朝向地面一侧相对的位置配置吹气孔122，以对花篮杆610朝向地面的一侧进行吹拂，从而可以防止花篮杆610朝向地面的一侧积水。
61.如此，通过各个位置的吹气孔122的分布，可以控制加热气体的吹气方位，从而可以有针对性地烘干不易烘干的区域。
62.相比于当前烘干设备在烘干槽的槽体内设置加热管和循环风机320的方式，本技术中的烘干槽体110内无需设置加热管，而是通过吹气孔122向容纳腔体b吹加热气体，从而使容纳腔体b内的温度较为均匀，并且烘干槽体110不会受到加热管的直接加热，从而对烘干槽体110的整体耐温要求相对较低，降低了烘干槽体100的制造成本；另外，多个吹气孔122分布于栅板120的至少部分区域，可以增大烘干面积，并且还可以针对不易烘干的区域分布吹气孔，在一定程度上可以减少烘干所需时间，提高烘干效率。
63.本技术实施例中，栅板120包括多个依次相连的栅板单元121，且每个栅板单元121均设有容纳腔体b。基于此，通过配置多个栅板单元121，可以容纳更多个花篮600，从而可以同时对更多个花篮600及其上的硅片进行烘干，能够实现对较多的硅片同时烘干，进而可以提高烘干效率。本技术中，容纳腔体b的形状与花篮600的形状相对应，从而可以根据花篮600的形状设计容纳腔体b以及栅板单元121。
64.本技术实施例中，相邻的两个栅板单元121各自的侧面相互间隔，形成了第一腔体单元a1，且栅板单元121的侧面分布有吹气孔122，这些吹气孔122与第一腔体单元a1连通，这样可以增大烘干面积。基于此，可以使第一腔体单元a1内的加热气体通过栅板单元121的侧面上的吹气孔122吹入容纳腔体b，从而可以从侧向吹拂花篮600及其上的硅片。
65.此处需要注意的是，每个栅板单元121的侧面均分布吹气孔122，此时，第一腔体单元a1内的加热气体可以从两侧的吹气孔122分布吹向相邻的两个栅板单元121的容纳腔体b中，从而可以增大吹气面积，提高烘干效率。
66.另外，位于边缘的栅板单元121的侧面与烘干槽体110的侧壁相互间隔，形成了第二腔体单元a2，且栅板单元121的侧面分布有吹气孔122，这些吹气孔122与第二腔体单元a2连通。基于此，可以使第二腔体单元a2内的加热气体通过栅板单元121的侧面上的吹气孔122吹入容纳腔体b，从而可以从侧向吹拂花篮600及其上的硅片。
67.此处需要注意的是，由于烘干槽体110的侧壁未分布吹气孔122，使得第二腔体单元a2内的加热气体通过位于边缘处的栅板单元121侧面上的吹气孔122吹入容纳腔体b内，从而可以从侧向吹拂花篮600及其上的硅片。
68.除此以外，每个栅板单元121的底面与烘干槽体110的底壁111相互间隔，形成了第三腔体单元a3，且栅板单元121的底面分布有吹气孔122，这些吹气孔122与第三腔体单元a3连通。基于此，可以使第三腔体单元a3内的加热气体通过栅板单元121的底面上的吹气孔122吹入容纳腔体b，从而可以从下向上吹拂花篮600及其上的硅片。
69.综上可知，可以根据实际情况选定吹气孔122的分布位置，以便于有针对性地对部分区域进行烘干，从而既可以提高烘干效率，又可以降低烘干所需的能耗；并且，通过在多个区域分布吹气孔122可以增加烘干面积，使承载组件100内的温度更加均匀，以克服温度
不均的问题。
70.为了使加热气体能够分别进入第一腔体单元a1、第二腔体单元a2和第三腔体单元a3，可以使三者相互连通，如此，只需向其中之一者内通入加热气体即可，从而可以减少通入加热气体的管路的使用数量，且无需布设管路，使结构更加简洁。
71.在一些实施例中，进气孔1111开设于烘干槽体110的底壁111，且进气孔1111与第三腔体单元a3连通。基于此，可以优先向第三腔体单元a3内充入加热气体，并通过第三腔体单元a3分别向第一腔体单元a1和第二腔体单元a2流动扩散，使加热气体可以从多个方位吹向容纳腔体b，以提高烘干效率。
72.本技术实施例中，栅板单元121可以包括第一侧面板1211、第二侧面板1212、底面板1213、第一连接面板1214和第二连接面板1215，且这些面板共同围设成了容纳腔体b。其中，第一侧面板1211与第二侧面板1212平行设置，第一连接面板1214连接第一侧面板1211和底面板1213，第二连接面板1215连接第二侧面板1212和底面板1213，且第一连接面板1214与第一侧面板1211及底面板1213之间的夹角均为钝角，第二连接面板1215与第二侧面板1212及底面板1213之间的夹角均为钝角。
73.基于上述设置，通过第一侧面板1211、第一连接面板1214、底面板1213、第二连接面板1215和第二侧面板1212可围成u型板件，该u型板件的内侧即为容纳腔体b。
74.此处需要说明的是，栅板单元121可以为一体成型结构。具体为，将一片平板沿第一折线弯折第一钝角，而后再沿第二折线向同一方向弯折第二钝角，而后沿第三折线向同一方向弯折第三钝角，最后沿第四折线向同一方向弯折第四钝角，上述第一折线、第二折线、第三折线和第四折线均平行，且第一钝角、第二钝角、第三钝角和第四钝角均可以相等或不等，如，第一钝角和第四钝角均为120
°
，第二钝角和第三钝角均为150
°
。如此便形成了u型板件，从而可以作为栅板单元121使用。
75.另外，在第一侧面板1211、第一连接面板1214、底面板1213、第二连接面板1215和第二侧面板1212上均开设多个吹气孔122，如此，可以增加吹气面积，提高烘干效率。
76.考虑到花篮杆610的朝向地面的一侧容易积水，该侧与底面板1213相对设置，如此，通过在底面板1213设置吹气孔122可以针对性地向花篮杆610的朝向地面的一侧吹拂加热气体，从而可以加快烘干速度。
77.本技术实施例中，其中一个栅板单元121的第二侧面板1212与相邻的栅板单元121的第一侧面板1211相互平行，且第二侧面板1212与第一侧面板1211各自背离底面板1213的端部相连，这样可以实现将多个栅板单元121依次相连。可以理解的是，其中一个栅板单元121的开口端与另一个栅板单元121的开口端对应相连，且两者的开口朝向同一方向。基于此，在一定程度上可以使第一腔体单元a1的体积最大化，相应地，可以使吹气孔122的分布区域面积更大化，从而可以提高烘干效率。
78.同理，位于边缘的栅板单元121的第一侧面板1211或第二侧面板1212与烘干槽体110的侧壁平行设置，且第一侧面板1211或第二侧面板1212的背离底面板1213的端部与烘干槽体110的侧壁相连。可以理解的是，位于边缘的栅板单元121的开口端与烘干槽体110的侧壁相连。基于此，在一定程度上可以使第二腔体单元a2的体积最大化，相应地，可以使吹气孔122的分布区域面积最大化，从而可以提高烘干效率。
79.基于上述设置，在制造栅板120时，可以单独制造多个栅板单元121，而后将多个栅
板单元121依次固定连接，以形成整个栅板120，其中，固定连接的方式可以是焊接、粘接、铆接、螺接等，具体不作限制。如此，可以降低栅板120的制造难度。
80.一种较为具体的实施例中，栅板120可以包括两个栅板单元121。当然，不仅限于此，还可以是其他数量，本技术实施例对此不作限制。
81.在其他实施例中，栅板120还可以采用一体成型结构。具体可以是，将一块平板经过多次弯折形成预设形状的一体结构；当然，还可以是将一块平板通过冲压的方式一次成型。基于此，可以提高制造效率，缩短制造周期。
82.进一步，为了便于将花篮600放置于容纳腔体b中，可以在相邻的两个栅板单元121的连接处设置倒角结构，并且在栅板单元121与烘干槽体110的连接处设置倒角结构，如此，可以在容纳腔体b的开口处形成扩口结构或敞口结构，以便于放置花篮600。
83.本技术实施例中，承载组件100还可以包括罩体140和盖体130，其中，罩体140罩设于烘干槽体110的外侧，并设有开口，盖体130可启闭地设置于罩体140的开口处。
84.一些实施例中，罩体140可以包括底板和设置在底板边缘的多个侧板，多个侧板的底端均与底板固定连接，如此，形成了一具有开口的空腔，烘干槽体110放置于空腔内，且烘干槽体110的底壁与罩体140的底板固定连接，烘干槽体110的槽口朝向罩体140的开口设置，盖体130安装于罩体140的开口处，且可以开启或关闭，以便于放置花篮600等构件。
85.在另一些实施例中，罩体140可以包括多个侧板，多个侧板的底端均与烘干槽体110的底壁固定连接。如此，多个侧板和烘干槽体110的底壁共同围城一具有开口的空腔，烘干槽体110的槽口朝向罩体140的开口设置，盖体130安装于罩体140的开口处，且可以开启或关闭，以便于放置花篮600等构件。
86.可选地，盖体130可以通过合页连接于罩体140的开口处，以使盖体130能够开启或闭合。
87.在烘干过程开始之前，将盖体130关闭，从而可以关闭罩体140的内腔，使加热气体在容纳腔体b以及罩体140内流动，从而可以保持罩体140内部的温度，进而可以保证容纳腔体b内部的温度，有助于提升烘干效果。
88.另外，可以在盖体130上开设孔洞，或者，盖体130与罩体140之间存有间隙，以通过孔洞或间隙使潮湿空气正常排出，从而可以对花篮600和硅片拥有较佳的烘干效果。
89.在一些实施例中，盖体130可以自动开启或关闭。具体可以是，盖体130与罩体140之间连接伸缩驱动件，包括气缸、液压缸、电动缸等，以通过伸缩驱动件驱动盖体130自动开启或关闭。
90.当然，还可以是将盖体130的翻转轴与旋转驱动件相连，以通过旋转驱动件驱动盖体130开启或关闭。
91.本技术还提供了一种烘干装置，包括气体输送组件300、加热组件和上述承载组件100。其中，气体输送组件300具有出气端，该出气端连接于烘干槽体110的进气孔1111处；加热元件400设置于气体输送组件300，以加热气体输送组件300传输的气体。
92.上述气体输送组件300可以用于向承载组件100中的充气腔体a输送气体，且气体在经过加热元件400时被加热，从而使温度较高的加热气体输送至承载组件100中的充气腔体a，以通过吹气孔122吹向花篮600和硅片等构件，实现烘干。
93.可选地，加热元件400可以设有气体通道和设置于气体通道外侧的加热部件，气体
通道连接于气体输送组件300的管路中，在气体通过气体通道时，受到加热部件的加热作用，从而形成加热气体。
94.此处需要说明的是，加热元件400的具体结构还可以参考现有技术，只要能够实现加热气体即可，具体结构不作限制。
95.为了调节加热气体的温度，加热元件400内部还可以设置热电偶或温度传感器，通过热电偶或温度传感器实时监测加热气体的温度；并且，热电偶或温度传感器可以与加热元件400信号连接，以实现气体温度的自动调节。此处需要说明的是，加热气体温度的自动调节的原理还可以参考现有技术。
96.当然，为了监测容纳腔体b内的温度，还可以在容纳腔体b内设置热电偶或温度传感器，以精确监测容纳腔体b内的温度。
97.在一些实施例中，气体输送组件300包括导风管道310、风机320和分流管道330，其中，风机320和加热元件400均连接于导风管道310，分流管道330包括主管331和多个与主管331均连接的支管332，多个支管332对应连接于多个进气孔1111处，主管331与导风管道310连接。
98.为了调节气体流量、气体压力等，还可以在导风管道310上设置控制阀，通过调节控制阀的开度来调节导风管道310中的气体流量和气体压力，以满足实际需求。
99.基于上述设置，在风机320的作用下，气体可以沿着导风管道310流向主管331，并由主管331分配至多个支管332，最终由多个支管332分别通过多个进气孔1111充入至充气腔体a中。如此，增加了加热气体在充气腔体a内的分布面积，有利于加热气体在充气腔体a内扩散，在一定程度上可以保证充气腔体a内各个区域处加热气体的均匀性，进而可以使各区域吹入至容纳腔体b内的加热气体更加均匀。
100.可选地，上述风机320可以是轴流风机、离心风机等，具体类型不作限制。
101.进一步，为了避免空气中含有杂质而污染硅片，烘干装置还可以包括第一过滤部件510，该第一过滤部件510设置于导风管道310，并位于靠近分流管道330的区域。基于此，可以使导风管道310传输的加热气体在经过第一过滤部件510时进行过滤净化，以去除加热气体中的杂质，以确保加热气体的洁净度，从而可以避免杂质进入容纳腔体b而污染硅片，进而保证了硅片的良率。
102.另外，第一过滤部件510还可以具有低风阻、风速均匀的特点，以使加热气体稳定流动。
103.此处需要说明的是，第一过滤部件510的具体结构及其工作原理可参考现有技术，此处不再赘述。
104.本技术中，烘干装置还可以包括壳体200，承载组件100、气体输送组件300和加热元件400均设置于壳体200内，从而受到壳体200的罩设作用，以使壳体200内部环境与外部环境隔绝。
105.上述壳体200设有连通壳体200的内腔与外部环境的进风口，从而可以使外部环境中的气体进入壳体200内部。并且，为了防止外部气体中的杂质进入到壳体200内，可以在进风口处设置第二过滤部件520。基于此，可以通过第二过滤部件520对经由进风口进入的气体进行过滤，以去除气体中的杂质，如颗粒物、尘土等，以保证壳体200内部气体的洁净度。
106.可选地，进风口可以开设在壳体200的顶部，相应地，第二过滤部件520位于壳体
200的顶部，以使进入的气体从壳体200的顶部扩散，在一定程度上有利于气体的扩散。
107.另外，通过对第二过滤部件520的出口进行设计，如，采用长条形出风口或多个并排设置的出风口等形式，以使气体较为均匀地进入壳体200内。
108.另外，第二过滤部件520可以自带动力，如设有鼓风元件等，以便于外部环境中的气体进入壳体200内。
109.此处需要说明的是，第二过滤部件520的具体结构及其工作原理可参考现有技术，此处不再赘述。
110.由于气体输送组件300位于壳体200内部，使得导风管道310的进口位于壳体200内，从而可以在风机320的作用下使壳体200内经过第二过滤部件520过滤后的气体进入导风管道310，且气体在导风管道310内流动时，受到加热元件400的加热作用，并受到第一过滤部件510的过滤作用，从而可以为承载组件100提供洁净的加热气体，既可以实现对花篮600及硅片的烘干作用，又可以防止加热气体污染硅片，保证了硅片的良率。
111.本技术中的烘干工艺的主要过程为：
112.在风机320的作用下，经过第二过滤部件520初次过滤后的气体沿着导风管道310流动，并依次经过加热元件400、第一过滤部件510和分流管道330，通过分流管道330流入充气腔体a内，并通过栅板120上的吹气孔122分配到容纳腔体b内，以对限位板620、花篮杆610、花篮支架700、硅片等构件进行烘干，从而可以提高烘干效率。另外，通过对应设置吹风孔可以精确控制加热气体的流向，从而可以着重对不易烘干的区域控制加热气体，以对这些区域进行针对性烘干。
113.具体地，当安装有硅片的花篮600安置于承载组件100中的花篮支架700上后，关闭盖体130，风机320和加热元件400开始运行，壳体200内的气体被吸入导风管道310，经过加热元件400加热(约120℃)，加热功率可以为10-15kw；加热气体被输送经过第一过滤部件510过滤，在经过分流管道330分流至充气腔体a中，最终加热气体通过栅板120上的许多吹气孔122吹出到容纳腔体b内的硅片区域以及花篮杆610的底部区域(此区域为整个花篮600中积水最多的区域)，如此，可以加快硅片区域及花篮杆610的底部区域的烘干速度，正常工作时间约为3分钟，整个容纳腔体b内的温度约为70℃，以保证烘干效果。
114.上面结合附图对本技术的实施例进行了描述，但是本技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本技术的启示下，在不脱离本技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本技术的保护之内。