一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构的制作方法

文档序号:36740840发布日期:2024-01-16 12:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,其特征在于,包括石墨化炉(1),所述石墨化炉(1)一侧设置有楼梯(2),且所述石墨化炉(1)顶端一侧设置有电控转动支架(3),且所述电控转动支架(3)呈倒l型设置,所述电控转动支架(3)顶端固定安装有进料驱动机构(4),所述进料驱动机构(4)设置于起吊连接机构(5)上方,且所述进料驱动机构(4)与起吊连接机构(5)通过绳索(11)连接,且所述起吊连接机构(5)底端挂接有盛料架(6),所述起吊连接机构(5)圆周侧壁上设置有横杆(7),且所述横杆(7)围绕所述起吊连接机构(5)的圆周侧壁呈环形阵列设置,所述横杆(7)远离所述起吊连接机构(5)的一端转动安装有稳定限位机构(8),且所述稳定限位机构(8)对所述盛料架(6)进行限位固定,并保证进料时所述盛料架(6)的稳定性;

2.根据权利要求1所述的一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,其特征在于,所述进料驱动机构(4)包括固定安装于所述电控转动支架(3)倒l型顶端下侧的伺服电机(9),还包括转动安装于所述电控转动支架(3)倒l型顶端下侧的卷线辊(10),以及卷收于所述卷线辊(10)上的绳索(11),所述伺服电机(9)的输出轴与卷线辊(10)一端固定连接,且所述卷线辊(10)位于所述石墨化炉(1)进料口的正上方。

3.根据权利要求2所述的一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,其特征在于,所述起吊连接机构(5)包括与所述绳索(11)一端固定连接的下压套(12),所述下压套(12)底端开设有活动腔(13),且所述活动腔(13)内壁开设有驱动槽(14),所述驱动槽(14)为环形槽,环形槽的上下侧壁之间形成的环形腔为波浪形,且环形槽上侧壁的波浪形边沿与下侧壁的波浪形边沿具有相位差,所述活动腔(13)内活动设置有导向柱(15),且所述导向柱(15)圆周侧壁焊接有驱动块(16),且所述驱动块(16)活动安装于驱动槽(14)内,所述导向柱(15)底端焊接有连接柱(17),且所述连接柱(17)远离导向柱(15)的一端焊接有挂接吊块(18)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,其特征在于,所述挂接吊块(18)远离连接柱(17)的一端两侧均开设有斜面(19),且所述挂接吊块(18)底端位于两组所述斜面(19)之间的位置开设有滚珠槽(20),所述滚珠槽(20)关于挂接吊块(18)底端两侧呈对称开设,且两组所述滚珠槽(20)内均设置有滚珠(21)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,其特征在于,所述盛料架(6)包括盛料台板(22),所述盛料台板(22)上开设有盛料槽(23),且所述盛料槽(23)关于盛料台板(22)顶端呈环形阵列设置,所述盛料台板(22)顶端中心位置焊接有挂接卡块(24),且所述挂接卡块(24)下端侧壁开设有一号贯穿槽(25),所述挂接卡块(24)上端侧壁开设有二号贯穿槽(26),且所述一号贯穿槽(25)和二号贯穿槽(26)呈连通设置,所述挂接卡块(24)上一号贯穿槽(25)顶端两侧均开设有防脱槽(27),所述盛料台板(22)底端焊接有垫高台(28)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,其特征在于,所述弹性组件包括所述连杆(30)中端开设的转动槽(34),所述转动槽(34)内部转动安装有转轴(35),且所述转轴(35)两端与转动耳(29)焊接,所述转轴(35)圆周外壁套接有扭簧(36),且所述扭簧(36)一端与转轴(35)侧壁固定连接,且所述扭簧(36)另一端与转动槽(34)内壁固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,其特征在于,所述石墨化炉(1)一侧设置有电控箱(37),且所述电控箱(37)与电控转动支架(3)和伺服电机(9)均呈电性连接。


技术总结
本发明涉及石墨化炉技术领域,尤其是一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,包括石墨化炉,所述石墨化炉一侧设置有楼梯,且所述石墨化炉顶端一侧设置有电控转动支架,且所述电控转动支架呈倒L型设置,所述电控转动支架顶端固定安装有进料驱动机构,所述进料驱动机构设置于起吊连接机构上方,且所述进料驱动机构与起吊连接机构通过绳索连接,且所述起吊连接机构底端挂接有盛料架,所述起吊连接机构圆周侧壁上设置有横杆,本发明在进料时,通过稳定限位机构的设置,能够提高盛料架进料时的稳定性和进料位置的准确性,同时在完成进料后,其起吊连接机构能够进行自动解锁,省去了人工操作的麻烦。

技术研发人员:吕尊华,纪斌,冯于驰
受保护的技术使用者:福建福碳新材料科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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