一种碳化硅板材烘干系统与方法与流程

文档序号:37511150发布日期:2024-04-01 14:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种碳化硅板材烘干系统,其特征在于,所述烘干系统包括板材自动翻转单元(1)、承载架、卸载传输机构(3),以及与所述板材自动翻转单元(1)、承载架、卸载传输机构(3)均电性连接的控制系统,板材自动翻转单元(1)为能够360°旋转的板材自动翻转单元(1),所述承载架包括两个相对设立的架臂(2),所述两个架臂(2)的底部通过固定条固定连接;

2.根据权利要求1所述的碳化硅板材烘干系统,其特征在于,所述底夹板(104)与所述上层夹板(102)之间的最大间距d3大于所述碳化硅板材(103)的宽度的1/2倍,并且d3>d1。

3.根据权利要求2所述的碳化硅板材烘干系统,其特征在于,所述上下伸缩结构(105)为х、ζ、n、ⅰ或菱形结构中的至少1个或多个结构的组合,所述上下伸缩结构(105)包含至少一个微型伸缩气缸(1053)。

4.根据权利要求3所述的碳化硅板材烘干系统,其特征在于,所述上层夹板(102)的下侧面的前后两侧均设置有至少2个卡条片(106),所述卡条片(106)的高度值为d2,且d1/2<d2<d1。

5.根据权利要求4所述的碳化硅板材烘干系统,其特征在于,所述架臂(2)上设置有至少2个与所述板材自动翻转单元(1)卡接的轴承(203);所述轴承(203)之间的间距为d4,所述上层夹板(102)的数量为n,且d4 ≥ 2.5 * d2 * n ;

6.根据权利要求5所述的碳化硅板材烘干系统,其特征在于,所述卡条片(106)为网状结构,或,为带有通孔的结构。

7.根据权利要求6所述的碳化硅板材烘干系统,其特征在于,所述上下伸缩结构(105)为菱形结构,所述棱形结构对角线的位置上设置有微型伸缩气缸(1053)。

8.根据权利要求7所述的碳化硅板材烘干系统,其特征在于,所述板材自动翻转单元(1)的所述底夹板(104)上设置有水分散失重力感应器,所述水分散失重力感应器与所述控制系统的水分散失模块电性连接。

9.一种碳化硅板材烘干方法,其特征在于,所述烘干方法采用权利要求1~8任一项所述的碳化硅板材烘干系统,具体包括以下步骤:

10. 根据权利要求9所述的碳化硅板材烘干方法,其特征在于,所述翻转速度包括前期翻转速度和后期翻转速度;当烘干时间大于0h小于等于12h时,所述翻转速度为前期翻转速度;当烘干时间大于12h时,所述翻转速度为后期翻转速度;所述前期翻转速度为30°/s ~50°/s,所述后期翻转速度为50°/s ~ 80°/s。


技术总结
本发明涉及一种碳化硅板材烘干系统与方法,所述烘干系统包括板材自动翻转单元、承载架、卸载传输机构,以及控制系统,板材自动翻转单元为360°旋转的板材自动翻转单元,所述承载架包括两个架臂,所述两个架臂的底部通过固定条固定连接;所述板材自动翻转单元设置有夹板,所述夹板包括一个底夹板和至少1个上层夹板,所述底夹板与所述上层夹板的两端之间设置有上下伸缩结构。本发明的碳化硅板材烘干系统的烘干方法工艺过程可在设定的一定时间内对碳化硅板材进行自动翻转,碳化硅板材的翻转可以使与夹板接触的面在一定时间后与空气接触,进而使得碳化硅板材的水分散失更加均匀,极大地降低了碳化硅板材开裂、变形的问题,提高了产品的合格率。

技术研发人员:王兴龙,赵金
受保护的技术使用者:陕西固勤材料技术有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/31
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