一种隧道炉的制作方法

本申请涉及半导体制备，具体而言，涉及一种隧道炉。

背景技术：

1、隧道炉是一种利用热风或红外线等热源对加工产物进行烘干的隧道式机械设备。在半导体器件的制备及封装过程中，通常需要通过隧道炉对半导体器件的成品或者半成品进行加热固化或者退火。示例的，在绝缘栅双极型晶体管(insulated gate bipolartransistor，igbt)的封装过程中，密封胶和灌注胶采用硅凝胶，而硅凝胶需要在高温的环境下才能固化。

2、现有技术中应用于igbt模块封装时密封胶和灌注胶进行固化的隧道炉，隧道炉仅存在一条传输轨道，使得隧道炉的固化效率较低。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种隧道炉，能够提高隧道炉的固化效率。

2、本申请的实施例提供了一种隧道炉，包括炉体，炉体内形成有固化通道，固化通道内延伸设置有多个传送机构，多个传送机构沿垂直于固化通道的径向排列，多个传送机构的进料端设置上料机构，上料机构沿传送机构排列的方向运动并将待固化物料分别传送至各个传送机构，多个传送机构的卸料端设置有下料机构，下料机构沿传送机构的排列方向运动以将固化物料卸料。

3、作为一种可实施的方式，固化通道沿传送机构的传送方向依次设置有加热区和冷却区，传送机构贯穿加热区和冷却区，加热区的固化通道的侧壁设置有加热组件，用于对加热区的空气进行加热，冷却区的固化通道的侧壁设置有冷却组件用于对传动至冷却区的待固化物料进行冷却。

4、作为一种可实施的方式，加热组件包括设置于固化通道顶部的多个加热管，以及设置于固化通道底部的多个红外线加热器。

5、作为一种可实施的方式，加热区包括沿传送机构传送方向依次设置的多个加热工位，冷却区包括沿传送机构传送方向依次设置的多个冷却工位，传送机构传送的待固化物料在加热工位和冷却工位进行加热或者冷却，加热区和冷却区之间的固化通道上活动设置有隔热板，用于在待固化物料在加热工位加热或者在冷却工位冷却时伸入加热区和冷却区之间，以隔绝加热区的热空气。

6、作为一种可实施的方式，冷却组件包括活动设置于固化通道侧壁上的多个水冷板，水冷板用于待固化物料在加热工位加热或者在冷却工位冷却时时伸入两个冷却工位之间，用于对冷却工位上的待固化物料进行冷却。

7、作为一种可实施的方式，冷却组件还包括设置于固化通道侧壁上的风冷器，用于对固化通道内输送冷风。

8、作为一种可实施的方式，固化通道内还设置有进气管，进气管用于向固化通道内通入惰性气体。

9、作为一种可实施的方式，传送机构包括驱动件以及两个传动轮，两个传动轮设置于固化通道的两端，两个传动轮上绕设有盖板链条，驱动件与传动轮连接以驱动传动轮转动并带动盖板链条转动。

10、作为一种可实施的方式，盖板链条的盖板的外侧设置为档条，盖板与档条一体成型。

11、作为一种可实施的方式，传送机构的两端分别设置有与固化通道连接的过渡轮，用于辅助上料机构和下料机构进行上料或者下料。

12、本申请实施例的有益效果包括：

13、本申请提供的隧道炉，包括炉体，炉体内形成有固化通道，固化通道内延伸设置有多个传送机构，多个传送机构沿垂直于固化通道的径向排列，多个传送机构的进料端设置上料机构，上料机构沿传送机构排列的方向运动并将待固化物料分别传送至各个传送机构，多个传送机构的卸料端设置有下料机构，下料机构沿传送机构的排列方向运动以将固化物料卸料。在隧道炉工作时，上料机构在沿着传送机构排列方向运动的过程中，将待固化物料传送至多个传送机构，多个传送机构在沿着固化通道传送，使得位于多个传送机构上的待固化物料固化，即在同一固化通道同时实现多组待固化物料的固化，从而提高隧道炉的固化效率，因此，本申请实施例提供的隧道炉能够提高隧道炉的固化效率。

技术特征：

1.一种隧道炉，其特征在于，包括炉体，所述炉体内形成有固化通道，所述固化通道内延伸设置有多个传送机构，多个所述传送机构沿垂直于固化通道的径向排列，多个所述传送机构的进料端设置上料机构，所述上料机构沿所述传送机构排列的方向运动并将待固化物料分别传送至各个传送机构，多个所述传送机构的卸料端设置有下料机构，所述下料机构沿所述传送机构的排列方向运动以将固化物料卸料。

2.根据权利要求1所述的隧道炉，其特征在于，所述固化通道沿所述传送机构的传送方向依次设置有加热区和冷却区，所述传送机构贯穿所述加热区和所述冷却区，所述加热区的固化通道的侧壁设置有加热组件，用于对所述加热区的空气进行加热，所述冷却区的固化通道的侧壁设置有冷却组件用于对传动至所述冷却区的待固化物料进行冷却。

3.根据权利要求2所述的隧道炉，其特征在于，所述加热组件包括设置于所述固化通道顶部的多个加热管，以及设置于所述固化通道底部的多个红外线加热器。

4.根据权利要求2所述的隧道炉，其特征在于，所述加热区包括沿所述传送机构传送方向依次设置的多个加热工位，所述冷却区包括沿所述传送机构传送方向依次设置的多个冷却工位，所述传送机构传送的待固化物料在所述加热工位和所述冷却工位进行加热或者冷却，所述加热区和所述冷却区之间的所述固化通道上活动设置有隔热板，用于在待固化物料在加热工位加热或者在冷却工位冷却时伸入加热区和冷却区之间，以隔绝所述加热区的热空气。

5.根据权利要求4所述的隧道炉，其特征在于，冷却组件包括活动设置于所述固化通道侧壁上的多个水冷板，所述水冷板用于待固化物料在加热工位加热或者在冷却工位冷却时时伸入两个所述冷却工位之间，用于对冷却工位上的待固化物料进行冷却。

6.根据权利要求5所述的隧道炉，其特征在于，所述冷却组件还包括设置于所述固化通道侧壁上的风冷器，用于对所述固化通道内输送冷风。

7.根据权利要求1所述的隧道炉，其特征在于，所述固化通道内还设置有进气管，所述进气管用于向所述固化通道内通入惰性气体。

8.根据权利要求1所述的隧道炉，其特征在于，所述传送机构包括驱动件以及两个传动轮，两个所述传动轮设置于所述固化通道的两端，两个所述传动轮上绕设有盖板链条，所述驱动件与所述传动轮连接以驱动所述传动轮转动并带动所述盖板链条转动。

9.根据权利要求8所述的隧道炉，其特征在于，所述盖板链条的盖板的外侧设置为档条，所述盖板与所述档条一体成型。

10.根据权利要求1所述的隧道炉，其特征在于，所述传送机构的两端分别设置有与所述固化通道连接的过渡轮，用于辅助所述上料机构和所述下料机构进行上料或者下料。

技术总结
本申请公开了一种隧道炉，涉及半导体制备技术领域，本申请的隧道炉，包括炉体，炉体内形成有固化通道，固化通道内延伸设置有多个传送机构，多个传送机构沿垂直于固化通道的径向排列，多个传送机构的进料端设置上料机构，上料机构沿传送机构排列的方向运动并将待固化物料分别传送至各个传送机构，多个传送机构的卸料端设置有下料机构，下料机构沿传送机构的排列方向运动以将固化物料卸料。本申请提供的隧道炉，能够提高隧道炉的固化效率。

技术研发人员：马悦,孟繁新,谢建彬,伍卫东,董兰岚,王洪波,岳兰
受保护的技术使用者：成都高投芯未半导体有限公司
技术研发日：20240219
技术公布日：2024/3/21