一种用于高低温冲击试验设备的复叠式制冷装置的制作方法

本实用新型属于品质检测领域，涉及一种产品可靠性分析设备，尤其是一种用于高低温冲击试验设备的复叠式制冷装置。

背景技术：

为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。

其中，现有技术中制冷能力受限，同时制冷效果不足，因此需要寻找能扩大制冷能力，制冷效果更好的方式和方法。

技术实现要素：

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本实用新型提供了一种用于高低温冲击试验设备的复叠式制冷装置。

所述用于高低温冲击试验设备的复叠式制冷装置包括一级制冷装置和二级制冷装置，所述一级制冷装置包括一级压缩机、一级冷凝器、一级汽化器，所述二级制冷装置包括二级压缩机、油分离器、二级冷凝器，二级交换冷凝器，二级汽化器；所述一级压缩机输出端连接所述一级冷凝器，所述一级冷凝器输出端连接所述一级汽化器，所述一级汽化器输出端连接所述一级压缩机输入端；所述二级压缩机输出端连接所述油分离器输入端，所述油分离器第一输出端连接所述二级冷凝器输入端，所述二级冷凝器输出端连接所述二级交换冷凝器输入端，所述二级交换冷凝器输出端连接所述二级汽化器输入端，所述二级汽化器输出端连接所述二级压缩机输入端，所述二级交换冷凝器和所述一级汽化器形成热量交换装置。

通过两级和多个冷凝器交换作用，可以将低温降低至-80至-150摄氏度，大大超出现有低温范围。

另外，根据本实用新型公开的用于高低温冲击试验设备的复叠式制冷装置还具有如下附加技术特征：

进一步地，所述一级制冷装置还包括一级储液器、一级过滤器、膨胀阀，所述一级压缩机联结所述一级冷凝器，所述一级冷凝器联结所述一级储液器，所述一级储液器联结所述一级过滤器，所述一级过滤器联结所述膨胀阀，所述膨胀阀联结所述一级汽化器，所述一级汽化器联结所述一级压缩机；

所述二级制冷装置还包括联结在二级冷凝器输出端的泄压阀，与所述泄压阀输出端联结的膨胀箱，所述膨胀箱的输出端联结所述二级压缩机；与所述二级交换冷凝器连接的二级过滤器和与所述二级过滤器连接的毛细管；所述二级压缩机输出端联结所述油分离器的输入端，所述油分离器的第一输出端联结所述二级压缩机的输入端，所述油分离器的第二输出端联结所述二级冷凝器，所述二级冷凝器的输出端分别联结所述二级交换冷凝器和所述泄压阀，所述二级交换冷凝器的输出端联结所述二级过滤器，所述二级过滤器的输出端联结所述毛细管，所述毛细管的输出端联结所述二级汽化器，所述二级汽化器的输出端联结所述二级压缩机。

进一步地，一级制冷装置采用r404a制冷剂，二级制冷装置采用r23制冷剂。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型实施例的示意图；

图1中，a一级制冷装置，b二级制冷装置，810一级压缩机，811一级冷凝器，812一级储液器，813一级过滤器，814膨胀阀，820二级压缩机，821油分离器，822二级冷凝器，823二级过滤器，824毛细管，825泄压阀，826膨胀箱，830热量交换装置，831一级汽化器，832二级交换冷凝器，840二级汽化器。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“联接”、“连通”、“相连”、“连接”、“配合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，一体地连接，也可以是可拆卸连接；可以是两个元件内部的连通；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；“配合”可以是面与面的配合，也可以是点与面或线与面的配合，也包括孔轴的配合，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参照附图来描述本实用新型具体结构，如图1所示，根据本实用新型的实施例，所述用于高低温冲击试验设备的复叠式制冷装置包括包括一级制冷装置a和二级制冷装置b，所述一级制冷装置a包括一级压缩机810、一级冷凝器811、一级汽化器，所述二级制冷装置b包括二级压缩机820、油分离器821、二级冷凝器822，二级交换冷凝器832，二级汽化器；所述一级压缩机810输出端连接所述一级冷凝器811，所述一级冷凝器811输出端连接所述一级汽化器831，所述一级汽化器831输出端连接所述一级压缩机810输入端；所述二级压缩机820输出端连接所述油分离器821输入端，所述油分离器821第一输出端连接所述二级冷凝器822输入端，所述二级冷凝器822输出端连接所述二级交换冷凝器832输入端，所述二级交换冷凝器832输出端连接所述二级汽化器840输入端，所述二级汽化器840输出端连接所述二级压缩机820输入端，所述二级交换冷凝器832和所述一级汽化器831形成热量交换装置830。

另外，根据本实用新型公开的用于高低温冲击试验设备的复叠式制冷装置的还具有如下附加技术特征：

根据本实用新型的一些实施例，所述一级制冷装置a还包括一级储液器812、一级过滤器813、膨胀阀814，所述一级压缩机810联结所述一级冷凝器811，所述一级冷凝器811联结所述一级储液器812，所述一级储液器812联结所述一级过滤器813，所述一级过滤器813联结所述膨胀阀814，所述膨胀阀814联结所述一级汽化器831，所述一级汽化器831联结所述一级压缩机810；

所述二级制冷装置b还包括联结在二级冷凝器822输出端的泄压阀825，与所述泄压阀825输出端联结的膨胀箱826，所述膨胀箱826的输出端联结所述二级压缩机820；与所述二级交换冷凝器832连接的二级过滤器823和与所述二级过滤器823连接的毛细管824；所述二级压缩机820输出端联结所述油分离器821的输入端，所述油分离器821的第一输出端联结所述二级压缩机820的输入端，所述油分离器821的第二输出端联结所述二级冷凝器822，所述二级冷凝器822的输出端分别联结所述二级交换冷凝器832和所述泄压阀825，所述二级交换冷凝器832的输出端联结所述二级过滤器823，所述二级过滤器823的输出端联结所述毛细管824，所述毛细管824的输出端联结所述二级汽化器840，所述二级汽化器840的输出端联结所述二级压缩机820。

根据本实用新型的一些实施例，一级制冷装置a采用r404a制冷剂，二级制冷装置采用r23制冷剂。

任何提及“一个实施例”、“实施例”、“示意性实施例”等意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例中。在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例。而且，当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时，所主张的是，结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。

尽管参照本实用新型的多个示意性实施例对本实用新型的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本实用新型原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本实用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。