一种空分装置及利用空分装置提纯氧气、氮气的工艺的制作方法

文档序号:33559832发布日期:2023-03-22 13:46阅读:132来源:国知局
一种空分装置及利用空分装置提纯氧气、氮气的工艺的制作方法

1.本发明涉及空气分离技术领域,尤其涉及一种空分装置及利用空分装置提纯氧气、氮气的工艺。


背景技术:

2.空分装置就是用于将空气中的各组份气体分离,以获取氧气、氮气、氩气等气体的工业设备。目前,最常用的空气分离方法是低温精馏法,即采用压缩循环深度冷冻的方法把空气变成液态,根据空气中各组分的沸点不同,通过低温精馏从液态空气中逐步分离生产出氧气、氮气及氩气等惰性气体。
3.空气精馏的原理为:因沸点的差异,氧、氮、氩的蒸发顺序为:氮》氩》氧,冷凝顺序为:氧》氩》氮;如果将温度较高的饱和蒸汽和温度较低的饱和液体相接触时,则蒸汽放出热量而部分冷凝,而液体则吸收热量而部分蒸发;蒸汽部分冷凝时,蒸汽中高沸点氧组分较多的冷凝到液相,同样液相中的低沸点氮组分较多的蒸发到气相,使得气相中的氮组分浓度提高,液相中的氧组分浓度提高;如果进行多次这样的部分蒸发和部分冷凝过程,则气相中的氮组分浓度不断增加,同时液相中的氧组分浓度不断增加,最终达到氮气、氧气分离的目的。而实现精馏的主要设备为精馏塔,塔内的每块塔板都提供一次气液接触而发生部分蒸发和部分冷凝的场所,最终在塔顶得到高纯度的氮气产品,而在塔底得到高纯度的氧气产品。
4.中国专利公开号:cn105466154b,公开了一种空分工艺方法,本发明属于空气分离领域,它为了解决现有空分工艺方法生产的氧气纯度不高的问题。工艺方法:一、过滤空气,然后进入空压机压缩,压缩后的空气在冷却塔中冷却、洗涤;二、纯化空气一部分冷却至露点后进入下塔底部,另一部分纯化空气流入增压压缩机增压,增压后的空气分成二路,一路空气经膨胀制冷后送入上塔,二路空气经换热器后流入下塔;三、空气在下塔中初步精馏,液空经过冷器后进入上塔,液氧一部分送入贮存系统,另一部分复热后进入氧气管网;四、从上塔中部抽取氩馏分送入粗氩塔,从精馏塔的上塔顶部抽取的纯氮气经过冷器后进入换热器,然后送入水冷塔和用户管网。由此可见,所述发明存在以下问题:没有关注空分过程中工艺能耗高的问题。


技术实现要素:

5.为此,本发明提供一种空分装置及利用空分装置提纯氧气、氮气的工艺,用以克服现有技术中空分过程中工艺能耗高的问题。
6.为实现上述目的,本发明提供一种空分装置及利用空分装置提纯氧气、氮气的工艺。
7.一种空分装置,包括空气过滤系统、空气压缩系统、空气预冷系统、分子筛纯化系统、增压压缩机系统、增压膨胀机系统和分馏塔系统;
8.所述空气过滤系统用于过滤原料空气中的灰尘和机械杂质;
9.所述空气压缩系统用于将过滤后的空气经过多级压缩、级间冷却器冷却后输送至空气预冷系统;
10.所述空气预冷系统包括空冷塔,用于预冷、洗涤空气;由空气压缩机送入的空气由下往上穿过空冷塔进行冷却并洗涤,然后进入分子筛纯化系统;
11.所述分子筛纯化系统包括分子筛吸附器,用于吸附空气中的二氧化碳、碳氢化合物和水分;由空冷塔来的空气经分子筛吸附器除去杂质后,一部分纯化空气进入增压压缩机系统增压及用作仪表空气、装置空气,其余全部进入分馏塔的低压主换热器;
12.所述增压压缩机系统包括增压压缩机,用于将分子筛吸附器送来的纯化空气增压;增压空气分为三股,第一股、第二股增压空气从增压压缩机中部抽出,经冷却后进入增压膨胀机系统;第三股增压空气从增压压缩机末级冷却器引出,进入分馏塔系统的高压主换热器;
13.所述增压膨胀机系统包括两台增压透平膨胀机和两台增压机后冷却器,所述增压透平膨胀机包括增压机和透平膨胀机;从增压压缩机中部抽出并经冷却后的增压空气,先进入由透平膨胀机驱动的增压机增压,增压后的空气进入增压机后冷却器冷却,冷却后的空气进入分馏塔系统的高压主换热器,并被返流的液氧、液氮及污氮冷却到一定温度后进入透平膨胀机膨胀制冷,膨胀制冷后的空气进入分馏塔系统的下塔参与精馏;
14.分馏塔系统包括低压主换热器、高压主换热器、下塔、主冷凝蒸发器、上塔、过冷器、液氧泵及液氮泵;由分子筛纯化系统来的空气进入低压主换热器,被返流的氮气、污氮气冷却到接近露点后,与膨胀制冷后的空气汇合进入下塔参与精馏;来自增压压缩机末级冷却器的高压空气进入高压主换热器,被返流的液氧、液氮及污氮气换热液化并节流后进入下塔参与精馏;经过下塔的精馏,在下塔顶部获得纯氮气,纯氮气进入主冷凝蒸发器中被上塔液氧冷凝,冷凝的液氮一部分做为下塔的回流液,一部分进入液氮泵加压后送入高压主换热器复热后送出冷箱作为氮气产品,其余部分经过冷器过冷后,一部分作为液氮产品引出冷箱,剩余部分节流后作为上塔回流液送至上塔顶部;在下塔下部得到污液氮,经过冷器过冷后,节流至上塔上部参与精馏;在下塔底部得到富氧液空,经过冷器过冷后节流至上塔中部参与精馏;经上塔精馏,在顶部得到低压氮气经过冷器、主换热器复热后送至氮气压缩机组进一步压缩后送入用户管网;在上塔上部获得的污氮气,经过冷器及主换热器复热后除一部分用作分子筛纯化系统再生气用外,其余入水冷塔制冷;液氧从主冷凝蒸发器底部抽出,一部分作为液氧产品引出冷箱,其余经液氧泵加压后进入主换热器复热后再送至用户管网。
15.进一步地,所述空气预冷系统还包括水冷塔、冷水机组及水泵;
16.所述空冷塔为装有两层塔料的填料塔,顶部设置有丝网分离器;由空气压缩机送入的空气由下往上穿过空冷塔,被从上往下的水冷却并同时洗涤,最后穿越顶部的丝网分离器,进入分子筛纯化系统;
17.进入空冷塔的冷冻水分为上段和下段,下段为由用户循环水系统来的冷却水,经水泵加压入空冷塔中部自上而下出空冷塔回凉水塔;上段为来自用户循环水系统的冷却水,经水冷塔与由分馏塔来的污氮气热质交换冷却后,由水泵加压并冷水机组进一步冷却后,送入空冷塔顶部。
18.进一步地,所述分子筛纯化系统包括两个分子筛吸附器切换工作,当一台分子筛
吸附器工作时,另一台分子筛吸附器则进行再生、冷吹备用;由分馏塔来的污氮气,经电加热器及蒸汽加热器串级加热后,进入分子筛吸附器加热再生,脱附掉分子筛吸附器中的水分及co2,分子筛吸附器加热再生结束后,由分馏塔来的污氮气吹冷,然后将使用后的污氮气排入大气。
19.进一步地,所述分子筛吸附器为双层床结构,其中底层为活性氧化铝床层,上层为分子筛床层。
20.进一步地,所述空气过滤系统包括自洁式空气过滤器,可自动定时反吹实现自清洁。
21.进一步地,所述空气压缩系统包括一台透平空气压缩机。
22.进一步地,所述工艺包括如下步骤:
23.s01:原料空气入空气过滤系统过滤掉空气中的灰尘和机械杂质,过滤后的空气进入空气压缩系统;
24.s02:压缩后的空气自下而上穿过空气预冷系统中的空冷塔,在空冷塔中冷却的同时进行洗涤,得到洁净空气进入分子筛纯化系统;
25.s03:由空冷塔来的洁净空气经分子筛纯化系统吸附除去二氧化碳、碳氢化合物和水分后,一部分空气进入增压压缩机系统增压及用作仪表空气、装置空气,其余全部进入分馏塔的低压主换热器;
26.s04:洗涤后的空气进入分子筛纯化系统,吸附除去空气中的二氧化碳、碳氢化合物和水分后,一部分空气进入增压压缩机系统增压及用作仪表空气、装置空气,其余全部进入分馏塔的低压主换热器,冷却到接近露点后与膨胀制冷后的空气汇合进入下塔参与精馏;
27.s05:分子筛纯化系统送来的纯化空气在增压压缩机系统中增压得到增压空气,增压空气分为三股,第一股、第二股增压空气从增压压缩机中部抽出,经冷却后进入增压膨胀机系统;第三股增压空气从增压压缩机末级冷却器引出,进入分馏塔系统的高压主换热器,经换热液化并节流后进入下塔参与精馏;
28.s06:从增压压缩机中部抽出并经冷却后的增压空气,先进入由透平膨胀机驱动的增压机增压,增压后的空气进入增压机后冷却器冷却,冷却后的空气进入分馏塔系统的高压主换热器,并被返流的液氧、液氮及污氮冷却到一定温度后进入透平膨胀机膨胀制冷,膨胀制冷后的空气进入分馏塔系统的下塔参与精馏;
29.s07:空气经过分馏塔的下塔精馏,在下塔顶部获得纯氮气,纯氮气进入主冷凝蒸发器中被上塔液氧冷凝,冷凝的液氮一部分做为下塔的回流液,一部分进入液氮泵加压后送入高压主换热器复热后送出冷箱作为氮气产品,其余部分经过冷器过冷后,一部分作为液氮产品引出冷箱,剩余部分节流后作为上塔回流液送至上塔顶部;
30.在下塔下部得到污液氮,经过冷器过冷后,节流至上塔上部参与精馏;在下塔底部得到富氧液空,经过冷器过冷后节流至上塔中部参与精馏;
31.经上塔精馏,在顶部得到低压氮气经过冷器、主换热器复热后送至氮气压缩机组进一步压缩后送入用户管网;在上塔上部获得的污氮气,经过冷器及主换热器复热后除一部分用作分子筛纯化系统再生气用外,其余入水冷塔制冷;液氧从主冷凝蒸发器底部抽出,一部分作为液氧产品引出冷箱,其余经液氧泵加压后进入主换热器复热后再送至用户管
网。
32.进一步地,所述空气预冷系统还包括水冷塔、冷水机组及水泵;进入空冷塔的冷冻水分为上段和下段,下段为由用户循环水系统来的冷却水,经水泵加压入空冷塔中部自上而下出空冷塔回凉水塔;上段为来自用户循环水系统的冷却水,经水冷塔与由分馏塔来的污氮气热质交换冷却后,由水泵加压并冷水机组进一步冷却后,送入空冷塔顶部。
33.进一步地,所述分子筛纯化系统包括两个分子筛吸附器切换工作,当一台分子筛吸附器工作时,另一台分子筛吸附器则进行再生、冷吹备用;由分馏塔来的污氮气,经电加热器及蒸汽加热器串级加热后,进入分子筛吸附器加热再生,脱附掉分子筛吸附器中的水分及co2,分子筛吸附器加热再生结束后,由分馏塔来的污氮气吹冷,然后将使用后的污氮气排入大气。
34.与现有技术相比,本发明的有益效果在于,本发明装置的原料空气经过滤、压缩、预冷、纯化后,一部分进增压压缩机系统,其余进下塔;增压压缩机系统的增压空气分三股,两股从中部抽出膨胀制冷后进下塔,第三股从末级冷却器引出进下塔;下塔顶部的液氮一部分做下塔回流液,一部分储存,一部分作上塔回流液;下塔下部的污液氮经冷后节流至上塔上部精馏,下塔底部的富氧液经冷后节流至上塔中部精馏;上塔顶部的低压氮气复热后送至用户管网,污氮气复热后一部分作分子筛纯化系统再生气,其余入水冷塔;液氧从主冷凝蒸发器底部抽出,一部分储存,其余加压复热后送至用户管网。本发明显著降低了空分过程中的工艺能耗。
附图说明
35.图1为本发明实施例的空分装置的整体结构示意图;
36.图2为本发明实施例利用空分装置提纯氧气、氮气的工艺流程图;
37.图3为本发明实施例的空分装置的空气增压机管道的工艺流程图;
38.图4为本发明实施例的空分装置的氮气压缩系统的工艺流程图。
具体实施方式
39.为了使本发明的目的和优点更加清楚明白,下面结合实施例对本发明作进一步描述;应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,并不用于限定本发明。
40.下面参照附图来描述本发明的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是,这些实施方式仅仅用于解释本发明的技术原理,并非在限制本发明的保护范围。
41.需要说明的是,在本发明的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
42.此外,还需要说明的是,在本发明的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言,可根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
43.请参阅图1至4所示,其中为本发明实施例的空分装置的整体结构示意图,图2为本发明实施例利用空分装置提纯氧气、氮气的工艺流程图,图3为本发明实施例的空分装置的空气增压机管道的工艺流程图,图4为本发明实施例的空分装置的氮气压缩系统的工艺流程图。
44.本发明实施例提供了一种空分装置,包括空气过滤系统、空气压缩系统、空气预冷系统、分子筛纯化系统、增压压缩机系统、增压膨胀机系统和分馏塔系统。
45.所述空气过滤系统用于过滤原料空气中的灰尘和机械杂质;
46.所述空气压缩系统用于将过滤后的空气经过多级压缩、级间冷却器冷却后输送至空气预冷系统;
47.所述空气预冷系统包括空冷塔,用于预冷、洗涤空气;由空气压缩机送入的空气由下往上穿过空冷塔进行冷却并洗涤,然后进入分子筛纯化系统;
48.所述分子筛纯化系统包括分子筛吸附器,用于吸附空气中的二氧化碳、碳氢化合物和水分;由空冷塔来的空气经分子筛吸附器除去杂质后,一部分空气进入增压压缩机系统增压及用作仪表空气、装置空气之外,其余全部进入分馏塔的低压主换热器;
49.所述增压压缩机系统包括增压压缩机,用于将分子筛吸附器送来的洁净空气增压;增压空气分为三股,第一股、第二股增压空气从增压压缩机中部抽出,经冷却后进入增压膨胀机系统;第三股增压空气从增压压缩机末级冷却器引出,进入分馏塔系统的高压主换热器;
50.所述增压膨胀机系统包括两台增压透平膨胀机和两台增压机后冷却器,所述增压透平膨胀机包括增压机和透平膨胀机;从增压压缩机系统中抽出并经冷却后的加压空气,先进入由透平膨胀机驱动的增压机增压,增压后的空气进入增压机后冷却器冷却,冷却后的空气进入分馏塔系统的高压主换热器,并被返流的液氧、液氮及污氮冷却到一定温度后进入透平膨胀机膨胀制冷,膨胀制冷后的空气进入分馏塔系统的下塔参与精馏;
51.所述分馏塔系统用于分馏提纯空气中的氧气和氮气。
52.各个系统的部件组成和工作过程具体如下:
53.(1)空气过滤系统及空气压缩系统
54.所述空气过滤系统包括一台自洁式空气过滤器,可自动定时反吹实现自清洁;
55.所述空气压缩系统包括一台透平空气压缩机;
56.含尘原料空气入自洁式空气过滤器,过滤掉空气中的机械颗粒、粉尘等;经过滤的空气再入空气压缩系统,被空气压缩系统压缩到0.61mpa.a后进入空气预冷系统。
57.(2)空气预冷系统
58.所述空气预冷系统主要包括空冷塔、水冷塔、冷水机组及四台水泵。
59.空冷塔为装有两层塔料的填料塔,顶部设置有丝网分离器,丝网分离器可以避免预冷后的空气携带液滴;
60.空气由空气压缩机系统送入空冷塔底部,由下往上穿过填料层,被从上往下的水冷却,并同时洗涤部分nox、so2、c1-等有害杂质,最后穿越顶部的丝网分离器,进入分子筛纯化系统,出空冷塔空气的温度约为15℃。
61.进入空冷塔的水分为两段:下段为由用户循环水系统来的冷却水,经冷却水泵加压入空冷塔中部自上而下出空冷塔回凉水塔;上段为来自用户循环水系统的冷却水,经水
冷塔与由分馏塔来的多余的污氮气热质交换冷却后,由冷冻水泵加压并冷水机组进一步冷却后,送入空冷塔顶部。
62.(3)空气纯化系统
63.所述空气纯化系统主要包括两台吸附器、一台蒸汽加热器、一台电加热器及一台总放空消音器。
64.所述分子筛吸附器为卧式双层床结构,下层为活性氧化铝,上层为分子筛由空气冷却塔来的空气,经吸附器除去其中的水分、co2及其它一些cnhm后,一部分纯化空气进入增压压缩机增压及用作仪表空气、装置空气之外,其余全部进入分馏塔的低压主换热器。
65.所述分子筛吸附器为两个切换工作:当一台分子筛吸附器工作时,另一台分子筛吸附器则进行再生、冷吹备用;由分馏塔来的污氮气,经电加热器及蒸汽加热器串级加热到180℃左右后,入分子筛吸附器加热再生,脱附掉分子筛吸附器的水分及co2,再生结束由分馏塔来的污氮气吹冷,然后将使用后的污氮气排入大气。
66.经分子筛吸附器纯化后的空气水含量在-65℃露点以下,co2≤1ppm。
67.(4)增压压缩机系统
68.所述增压压缩机系统包括增压压缩机。
69.由分子筛吸附器来的洁净空气进入增压压缩机增压。增压空气分为三股,第一股增压空气(流量2700nm3/h,压力1.2mpa.g)和第二股增压空气(流量17500nm3/h,压力2.64mpa.g)从增压压缩机中部抽出,经冷却后进入增压膨胀机系统;第三股增压空气(流量29000nm3/h,压力6.26mpa.g)从增压压缩机末级引出,经冷却后进入分馏塔系统的高压主换热器。
70.(5)增压膨胀机系统
71.所述增压膨胀机系统主要包括两台增压透平膨胀机、两台增压机后冷却器和两台供油装置;所述增压透平膨胀机包括增压机和透平膨胀机;
72.从增压压缩机中部抽出并经冷却后的加压空气,进入由膨胀机驱动的增压机,消耗掉由膨胀机输出的能量,使空气的压力得以进一步提高,增压后的空气进入增压机后冷却器,冷却到所需温度后进入分馏塔系统的高压主换热器,并被返流的液氧、液氮及污氮冷却到一定温度后进入透平膨胀机膨胀制冷,膨胀制冷后的空气进入分馏塔系统的下塔参与精馏。
73.(6)分馏塔
74.所述分馏塔主要包括低压主换热器、高压主换热器、下塔、主冷凝蒸发器、上塔、过冷器、液氧泵及液氮泵。
75.由分子筛纯化系统来的空气进入低压主换热器,被返流的氮气、污氮气冷却到接近露点后,与膨胀制冷后的空气汇合进入下塔参与精馏;来自增压压缩机末级冷却器的高压空气进入高压主换热器,被返流的液氧、液氮及污氮气换热液化并节流后进入下塔参与精馏;
76.经过下塔的精馏,在下塔顶部获得纯氮气,纯氮气进入主冷凝蒸发器中被上塔液氧冷凝,冷凝的液氮一部分做为下塔的回流液,一部分进入液氮泵加压到6.1mpa.g后送入高压主换热器复热后送出冷箱作为氮气产品,其余部分经过冷器过冷后,一部分作为液氮产品引出冷箱,剩余部分节流后作为上塔回流液送至上塔顶部;
77.在下塔下部得到污液氮,经过冷器过冷后,节流至上塔上部参与精馏;在下塔底部得到富氧液空,经过冷器过冷后节流至上塔中部参与精馏;
78.经上塔精馏,在顶部得到低压氮气经过冷器、主热交换器复热后送至氮气压缩机组进一步压缩后送入用户管网;
79.在上塔上部获得污氮气,经过冷器及主换热器复热后除一部分用作分子筛纯化系统再生用气外,其余入水冷塔制冷;
80.液氧从主冷凝蒸发器底部抽出,一部分作为液氧产品引出冷箱,其余经液氧泵加压至6.3mpa.g进入主换热器复热后再送用户使用。
81.本发明实施例提供了一种利用空分装置提纯氧气、氮气的工艺,所述工艺包括如下步骤:
82.s01:原料空气入空气过滤系统过滤掉空气中的灰尘和机械杂质,过滤后的空气进入空气压缩系统;
83.s02:压缩后的空气自下而上穿过空气预冷系统中的空冷塔,在空冷塔中冷却的同时进行洗涤,得到洁净空气进入分子筛纯化系统;
84.s03:由空冷塔来的洁净空气经分子筛纯化系统吸附除去二氧化碳、碳氢化合物和水分后,一部分空气进入增压压缩机系统增压及用作仪表空气、装置空气,其余全部进入分馏塔的低压主换热器;
85.s04:洗涤后的空气进入分子筛纯化系统,吸附除去空气中的二氧化碳、碳氢化合物和水分后,一部分空气进入增压压缩机系统增压及用作仪表空气、装置空气,其余全部进入分馏塔的低压主换热器,冷却到接近露点后与膨胀制冷后的空气汇合进入下塔参与精馏;
86.s05:分子筛纯化系统送来的纯化空气在增压压缩机系统中增压得到增压空气,增压空气分为三股,第一股、第二股增压空气从增压压缩机中部抽出,经冷却后进入增压膨胀机系统;第三股增压空气从增压压缩机末级冷却器引出,进入分馏塔系统的高压主换热器,经换热液化并节流后进入下塔参与精馏;
87.s06:从增压压缩机中部抽出并经冷却后的增压空气,先进入由透平膨胀机驱动的增压机增压,增压后的空气进入增压机后冷却器冷却,冷却后的空气进入分馏塔系统的高压主换热器,并被返流的液氧、液氮及污氮冷却到一定温度后进入透平膨胀机膨胀制冷,膨胀制冷后的空气进入分馏塔系统的下塔参与精馏;
88.s07:空气经过分馏塔的下塔精馏,在下塔顶部获得纯氮气,纯氮气进入主冷凝蒸发器中被上塔液氧冷凝,冷凝的液氮一部分做为下塔的回流液,一部分进入液氮泵加压后送入高压主换热器复热后送出冷箱作为氮气产品,其余部分经过冷器过冷后,一部分作为液氮产品引出冷箱,剩余部分节流后作为上塔回流液送至上塔顶部;
89.在下塔下部得到污液氮,经过冷器过冷后,节流至上塔上部参与精馏;在下塔底部得到富氧液空,经过冷器过冷后节流至上塔中部参与精馏;
90.经上塔精馏,在顶部得到低压氮气经过冷器、主换热器复热后送至氮气压缩机组进一步压缩后送入用户管网;在上塔上部获得的污氮气,经过冷器及主换热器复热后除一部分用作分子筛纯化系统再生气用外,其余入水冷塔制冷;液氧从主冷凝蒸发器底部抽出,一部分作为液氧产品引出冷箱,其余经液氧泵加压后进入主换热器复热后再送至用户管
网。
91.在本发明实施例中,所述空气预冷系统还包括水冷塔、冷水机组及水泵;进入空冷塔的冷冻水分为上段和下段,下段为由用户循环水系统来的冷却水,经水泵加压入空冷塔中部自上而下出空冷塔回凉水塔;上段为来自用户循环水系统的冷却水,经水冷塔与由分馏塔来的污氮气热质交换冷却后,由水泵加压并冷水机组进一步冷却后,送入空冷塔顶部。
92.在本发明实施例中,所述分子筛纯化系统包括两个分子筛吸附器切换工作,当一台分子筛吸附器工作时,另一台分子筛吸附器则进行再生、冷吹备用;由分馏塔来的污氮气,经电加热器及蒸汽加热器串级加热后,进入分子筛吸附器加热再生,脱附掉分子筛吸附器中的水分及co2,分子筛吸附器加热再生结束后,由分馏塔来的污氮气吹冷,然后将使用后的污氮气排入大气。
93.至此,已经结合附图所示的优选实施方式描述了本发明的技术方案,但是,本领域技术人员容易理解的是,本发明的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本发明的原理的前提下,本领域技术人员可以对相关技术特征做出等同的更改或替换,这些更改或替换之后的技术方案都将落入本发明的保护范围之内。
94.以上所述仅为本发明的优选实施例,并不用于限制本发明;对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
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