本技术涉及控制，尤其是涉及一种温度控制方法、装置及电子设备。
背景技术：
1、半导体温控装置作为半导体集成电路制造过程中的重要设备，在集成电路制造的刻蚀工艺中要求提供需要的温度输出用于控制刻蚀设备工艺腔的温度。半导体温控装置在实际使用中通过制冷、加热环节对温度进行精确控制。刻蚀设备工艺腔在整个工艺制程中需要不同的温度来满足生产工艺，一般温度在-20℃到90℃内周期性切换。这就需要半导体温控装置根据工艺需要切换不同的温度，当工艺腔温度到达目标值才能进行相应的工艺生产，在升降温过程中就会出现等待时间，采用传统的温控装置在高温切换到低温，或从低温切换到高温时等待时间较长，影响生产的效率。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的在于提供一种温度控制方法、装置及电子设备，以解决现有温控设备存在的升降温等待时间较长，影响生产效率的问题。
2、本技术实施例提供了一种温度控制方法，所述方法应用于温度控制系统；所述系统包括制冷装置和循环装置；所述制冷装置包括压缩机、蓄热器、蒸发器和冷却设备；所述蒸发器中第一换热通道的出口端连接所述压缩机的入口端；所述压缩机的出口端包括两路，第一路连接所述蓄热器中第一换热通道的入口端，第二路与所述蓄热器中第一换热通道的出口端共同连接所述冷却设备的入口端和所述蒸发器中第一换热通道的入口端；所述冷却设备的出口端连接所述蒸发器中第一换热通道的入口端；所述蒸发器中第二换热通道的出口端连接所述循环装置的入口端，所述循环装置的出口端安装有三通阀，所述三通阀的第一通道连接所述蓄热器中第二换热通道的入口端，第二通道与所述蓄热器中第二换热通道的出口端共同连接所述蒸发器中第二换热通道的入口端；所述方法包括：
3、采集所述蒸发器中第二换热通道的入口端的第一循环温度；
4、根据所述第一循环温度，调节所述三通阀中所述第一通道的第一开度和所述第二通道的第二开度，以使所述循环装置的出口端流出的循环液按照第一比例流经所述第一通道和所述蓄热器中第二换热通道，并与按照第二比例流经所述第二通道的循环液混合后流入所述蒸发器中第二换热通道，以通过所述第一比例的循环液为所述蓄热器积蓄制热能量；其中，所述蓄热器储存的制热能量用于根据升温指令对循环液进行加热；通过循环液对负载设备进行温度控制。
5、进一步的，根据所述第一循环温度，调节所述三通阀中所述第一通道的第一开度和所述第二通道的第二开度，包括：
6、当所述第一循环温度大于预设温度阈值时，增大所述第一通道的第一开度和/或减小所述第二通道的第二开度。
7、进一步的，所述方法还包括：
8、当确定所述蓄热器不能再通过循环液积蓄制热能量时，关闭所述第一通道，打开所述第二通道。
9、进一步的，通过以下方式确定所述蓄热器不能再通过循环液积蓄制热能量：
10、采集所述循环装置的出口端的第二循环温度和所述蓄热器中第二换热通道的出口端的第三循环温度；
11、确定所述第二循环温度与所述第三循环温度之间的温度差值；
12、当所述温度差值小于预设阈值时，确定所述蓄热器不能再通过循环液积蓄制热能量。
13、进一步的，所述冷却设备包括冷凝器和过冷储液器；所述蒸发器中第一换热通道的出口端连接所述压缩机的入口端；所述压缩机的出口端包括两路，第一路经第一阀门连接所述蓄热器中第一换热通道的入口端；第二路经第二阀门与所述蓄热器中第一换热通道的出口端共同连接所述冷凝器中第二换热通道的入口端，以及经第三阀门与所述蓄热器中第一换热通道的出口端共同连接所述蒸发器中第一换热通道的入口端；所述冷凝器中第二换热通道的出口端分别连接所述过冷储液器的入口端，经第五阀门连接所述过冷储液器的外部冷却管路的入口端，以及经第六阀门连接所述蒸发器中第一换热通道的入口端；所述过冷储液器的出口端经第四阀门连接所述蒸发器中第一换热通道的入口端；所述外部冷却管路的出口端连接所述压缩机的入口端；所述方法还包括：
14、根据接收的所述升温指令，关闭所述第一阀门、所述第四阀门、所述三通阀的第二通道和所述第六阀门，开启所述第二阀门、所述第三阀门和所述三通阀的第一通道；
15、当确定所述循环液的温度升高到满足预设条件时，关闭所述三通阀的第一通道，打开所述三通阀的第二通道；其中，所述预设条件是指所述蓄热器中第二换热通道的出口端的第三循环温度与所述循环装置的出口端的第二循环温度之间的温度差值小于预设阈值。
16、进一步的，所述方法还包括：
17、根据接收的降温指令，关闭所述第二阀门、所述第三阀门、所述三通阀的第一通道和所述第六阀门，开启所述第一阀门、所述三通阀的第二通道和所述第四阀门。
18、进一步的，所述方法还包括：
19、在所述温度控制系统启动后，进入温控准备阶段并持续预定时长，以使所述蓄热器储存制热能量，所述过冷储液器对制冷剂进行过冷处理并储存；
20、其中，在所述温控准备阶段，关闭所述第二阀门、所述第三阀门、所述三通阀的第一通道和所述第四阀门，开启所述第一阀门和所述三通阀的第二通道；根据所述循环装置的入口端的第四循环温度调节所述第六阀门的开度。
21、进一步的，所述方法还包括：
22、采集所述压缩机的入口端的第一制冷温度和所述蒸发器中第一换热通道的出口端的第一制冷压力；
23、根据所述第一制冷温度和所述第一制冷压力，确定过热度实际值和预设过热度值之间的过热度差值；
24、根据所述过热度差值，调节所述第五阀门的开度。
25、本技术实施例还提供了一种温度控制装置，应用于温度控制系统；所述系统包括制冷装置和循环装置；所述制冷装置包括压缩机、蓄热器、蒸发器和冷却设备；所述蒸发器中第一换热通道的出口端连接所述压缩机的入口端；所述压缩机的出口端包括两路，第一路连接所述蓄热器中第一换热通道的入口端，第二路与所述蓄热器中第一换热通道的出口端共同连接所述冷却设备的入口端和所述蒸发器中第一换热通道的入口端；所述冷却设备的出口端连接所述蒸发器中第一换热通道的入口端；所述蒸发器中第二换热通道的出口端连接所述循环装置的入口端，所述循环装置的出口端安装有三通阀，所述三通阀的第一通道连接所述蓄热器中第二换热通道的入口端，第二通道与所述蓄热器中第二换热通道的出口端共同连接所述蒸发器中第二换热通道的入口端；所述装置包括：
26、采集模块，用于采集所述蒸发器中第二换热通道的入口端的第一循环温度；
27、调节模块，用于根据所述第一循环温度，调节所述三通阀中所述第一通道的第一开度和所述第二通道的第二开度，以使所述循环装置的出口端流出的循环液按照第一比例流经所述第一通道和所述蓄热器中第二换热通道，并与按照第二比例流经所述第二通道的循环液混合后流入所述蒸发器中第二换热通道，以通过所述第一比例的循环液为所述蓄热器积蓄制热能量；其中，所述蓄热器储存的蓄热能量用于根据升温指令对循环液进行加热；通过循环液对负载设备进行温度控制。
28、本技术实施例还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如上述的温度控制方法的步骤。
29、本技术实施例还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如上述的温度控制方法的步骤。
30、本技术实施例提供的一种温度控制方法、装置及电子设备，一方面，蓄热器中储存制热能量，可以根据升温指令对循环液进行加热，以提高升温速度；冷却设备可以冷却制冷剂，以提高降温速度，从而在无需增大压缩机、冷凝器及蒸发器功率的情况下，减少升降温等待时间，提升生产效率，节能降耗，降低设备生产成本，有利于设备小型化。另一方面，通过调节三通阀的开度，循环装置的出口端流出的循环液流经第二换热通道为蓄热器积蓄制热能量，从而实现能量回收，进一步节能降耗。
31、为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。