本实用新型涉及电池生产设备技术领域，尤其涉及一种镂空载板自动清洗平台。
背景技术：
PECVD系统是模块化系统，在制备硅基异质结电池时，将硅片制绒及清洗预处理之后，硅片通过上料机构放置到载板上，进入预热腔室，然后完成n(或p)层沉积，之后通过具有冷却功能的冷却机构进入下料机构，其中，硅片进入PECVD系统反应时是通过放在镂空载板上来实现，因此载板有些部分会有硅的沉积，而载板从大气进入腔室，加热到冷却的这种循环很容易使在载板上的沉积硅剥落到各个腔室内，造成沉积钝化膜质量的下降。因此需要定期对PECVD镂空载板进行保养清洗。
目前，对PECVD镂空载板只能将拆除放置硅片的小框连接线，后取下小框进行手工打磨或者腐蚀清洗，之后在重新对该小框进行串接拼装回镂空载板边框。拆装小框工作繁重且极易造成边框螺丝滑牙而损坏边框，手动打磨小框效率低，打磨效果不均匀，容易在载板上留下磨痕而且产生大量粉尘不利于人身健康。采用溶液腐蚀，危险系数较高，且溶液加热速度慢，清洗后需纯水再次清洗后烘干操作亦十分繁琐。因此，很有必要开发一种有效的清洗设备，克服现有技术和设备上的不足，使镂空载板清洗实现机械化和自动化。
技术实现要素：
针对上述问题，本实用新型提供了一种操作简单快捷，清洗载板速度快节省时间，清洗效果好，腐蚀均匀、干净的镂空载板自动清洗平台。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种镂空载板自动清洗平台，包括底座、设在底座上的支架、设在支架上的清洗槽、碱液回收循环系统、纯水进出水控制系统，所述清洗槽分为上槽和下槽，所述上槽和下槽可拆分连接，所述下槽底面中部设有超声波板，所述碱液回收循环系统由碱液回收桶、碱液输出管、碱液回收管组成，所述碱液输出管连接碱液回收桶和清洗槽，所述碱液回收管设于清洗槽底部并伸入碱液回收桶内，所述纯水进出水控制系统由废水收集桶、纯水进水管、废水出水管组成，所述纯水进水管外接水源并连接到清洗槽底部，所述废水出水管设于清洗槽底部并伸入废水收集桶内。
进一步的，所述清洗槽采用耐腐蚀材料不锈钢或PP材质焊接而成。
进一步的，清洗槽槽体侧面设有加强筋，可防止槽体发生形变。
进一步的，所述清洗槽的上槽和下槽接触面均设有相对的密封圈，上槽和下槽通过紧固装置紧密连接，保证清洗时溶液漫过载板而不发生渗漏。
进一步的，所述下槽设有支撑镂空载板边框的支撑架，镂空载板的内框与上槽和下槽接触面平齐而不出现上下形变。
由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
本实用新型集腐蚀、清洗为一体的多功能槽，上下槽配合可直接将镂空载板的内框放置于溶液中腐蚀而不会对外框造成影响，节省拆卸工序，清洗工序、组装工序等，操作简单快捷，同时免去拆卸镂空载板保养后再装配的繁琐工序，清洗载板速度快节省时间，提高镂空载板的保养效率，清洗效果比传统手工打磨好，打磨均匀、干净。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型一种镂空载板自动清洗平台的立体结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例
参考图1，一种镂空载板自动清洗平台，包括底座1、设在底座上的支架2、设在支架上的清洗槽3、碱液回收循环系统4、纯水进出水控制系统5，所述清洗槽3分为上槽31和下槽32，所述上槽31和下槽32可拆分连接，所述下槽32底面中部设有超声波板6，所述碱液回收循环系统4由碱液回收桶41、碱液输出管42、碱液回收管43组成，所述碱液输出管42连接碱液回收桶41和清洗槽3，所述碱液回收管43设于清洗槽3底部并伸入碱液回收桶41内，所述纯水进出水控制系统5由废水收集桶51、纯水进水管52、废水出水管53组成，所述纯水进水管52外接水源并连接到清洗槽3底部，所述废水出水管53设于清洗槽3底部并伸入废水收集桶51内。
所述清洗槽3采用耐腐蚀材料不锈钢或PP材质焊接而成，清洗槽3槽体侧面设有加强筋33，可防止槽体发生形变。
所述清洗槽的上槽31和下槽32接触面均设有相对的密封圈，上槽31和下槽32通过紧固装置34紧密连接，保证清洗时溶液漫过载板而不发生渗漏。
所述下槽32设有支撑镂空载板边框的支撑架35，镂空载板的内框与上槽31和下槽32接触面平齐而不出现上下形变。
工作原理：首先碱液回收循环系统4在载板放置于下槽支撑架35上槽通过上下槽密封圈及紧固装置34与下槽32连接后由耐腐蚀泵进行添加碱液，使碱液漫过载板而不发生渗漏，待载板覆盖物被腐蚀反应完成后，碱液排回碱液回收桶41内；然后所述载板覆盖物腐蚀清洁干净后，采用纯水进水管52纯水注入，当液位到达要求后，纯水停止注入同时超声波系统工作，超声波工作时间到达时，停止超声波工作同时进行排液处理，废水通过废水出水管53排入废水收集桶51内；经数次以上重复工作确定载板已被清洗干净后停止上述重复工作，清洗完成后分离上下槽取出载板。
本实用新型集腐蚀、清洗为一体的多功能槽，上下槽配合可直接将镂空载板的内框放置于溶液中腐蚀而不会对外框造成影响，节省拆卸工序，清洗工序、组装工序等，操作简单快捷，同时免去拆卸镂空载板保养后再装配的繁琐工序，清洗载板速度快节省时间，提高镂空载板的保养效率，清洗效果比传统手工打磨好，打磨均匀、干净。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。