本实用新型涉及太阳能光伏硅片技术领域，尤其涉及一种PVD载板清洗机。
背景技术：
在制备高效异质结太阳能电池时，将经过CVD沉积的硅片(硅片面积156*156mm)放置在载板上，进入真空腔室进行物理气相沉积的过程中，PVD载板作为承载托盘，重复性镀膜后，会产生膜层脱落现象，直接影响到硅片镀膜质量；因此，载板清洗是高效太阳能光伏行业生产过程中的关键工序，而传统的载板清洗方式为人工清洗或喷砂表面处理均没有与之配套的清洗方案，为了追求更高的太阳能电池转换效率，对硅片加工工艺要求更加严格。传统的载板清洗由于工艺制作等不足，大多采用传统的人工清洗，在人工制作的清洗槽中浸泡清洗，对清洗过程控制不到位，同时清洗槽排水不方便，操作麻烦，且每次只能清洗一块载板，且须多人协同作业，清洗作业不具有安全防护措施，清洗溶液具有挥发性，对作业人员身体有一定损害；耗费人力，物力，从而造成资源浪费。
技术实现要素：
针对上述问题，本实用新型提供了一种大大提高清洗效率，节约运行成本，有效弥补传统人工清洗缺陷的PVD载板清洗机。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种PVD载板清洗机，包括清洗槽、排气装置、行车机构和载板吊篮装置，所述清洗槽包括酸洗槽、水洗槽和高位储酸槽，所述酸洗槽和水洗槽并排设置，所述酸洗槽和高位储酸槽通过酸管连通，所述排气装置设置在所述酸洗槽上方，所述排气装置包括设置在酸洗槽顶部的抽风罩、设置在酸洗槽两侧壁顶部的排气道、与抽风罩和排气道连通的风管，所述排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在酸洗槽和水洗槽上方，所述行车机构由电动路轨、安装在电动路轨上的移动小车和驱动电机组成，所述载板吊篮装置固定安装在移动小车上，所述载板吊篮装置由电动葫芦和挂在电动葫芦下的吊篮组成。
进一步的，所述水洗槽内装配有侧振式超声波装置。
进一步的，所述酸洗槽的侧壁上端设有进水口和进酸口，底端设有排酸口，所述进酸口的高度低于所述进水口，所述水洗槽的侧壁上端设有进水口和溢流口，底端设有排水口。
进一步的，所述高位储酸槽侧壁的上端设有酸回收口和酸进口，底端设有出酸口，所述高位储酸槽的出酸口和酸洗槽的进酸口通过酸管连接，所述出酸口的高度高于所述进酸口，所述酸管为PVDF管。
进一步的，所述吊篮内设有载板安装卡槽，所述卡槽呈10°倾斜角，所述吊篮四周安装有耐腐蚀的防撞缓冲垫。。
由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
1、本实用新型对清洗槽改造设计，同时增加载板吊篮装置，使生产工艺更加合理，每次能够清洗多块载板，提高载板清洗的品质及清洗效率，减少人工作业强度，减低运营成本，满足公司生产需求。
2、本实用新型标准自动化清洗流程取代了传统人工作业流程，实现了人员操作的安全，降低作业的危险性，同时排气系统的设计，有效降低溶液的挥发造成的环境污染，有效弥补传统人工清洗的缺陷，为太阳能电池板的生产提供了充足的“衬板”，为公司电池板大批量生产奠定了基础。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型一种PVD载板清洗机的整体结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例
参考图1，一种PVD载板清洗机，包括清洗槽1、排气装置2、行车机构3和载板吊篮装置4，所述清洗槽1包括酸洗槽11、水洗槽12和高位储酸槽13，所述酸洗槽11和水洗槽12并排设置，所述酸洗槽11和高位储酸槽13通过酸管14连通，所述水洗槽12内装配有侧振式超声波装置，最大限度降低硝酸在载板上的残留，所述排气装置2设置在所述酸洗槽11上方，所述排气装置2包括设置在酸洗槽顶部的抽风罩21、设置在酸洗槽两侧壁顶部的排气道22、与抽风罩和排气道连通的风管23，所述排气道22内侧均匀分布有排气孔24，所述行车机构3横向设置在酸洗槽11和水洗槽12上方，所述行车机构3由电动路轨31、安装在电动路轨上的移动小车32和驱动电机33组成，所述载板吊篮装置4固定安装在移动小车32上，所述载板吊篮装置4由电动葫芦41和挂在电动葫芦下的吊篮42组成，所述吊篮42内设有载板安装卡槽43，所述卡槽43呈10°倾斜角，利于载板平稳放置及起吊时载板表面残留溶液沥干，所述吊篮42四周安装有耐腐蚀的防撞缓冲垫，防止过度碰撞。
所述酸洗槽11的侧壁上端设有进水口15和进酸口16，底端设有排酸口17，所述进酸口16的高度低于所述进水口15，所述水洗槽12的侧壁上端设有进水口15和溢流口18，底端设有排水口19，所述高位储酸槽13侧壁的上端设有酸回收口131和酸进口132，底端设有出酸口133，所述高位储酸槽的出酸口133和酸洗槽的进酸口16通过酸管14连接，所述出酸口133的高度高于所述进酸口16，便于溶液顺流至酸洗槽11，所述酸管14为PVDF管。
工作原理：在清洗之前，按先后顺序分别开启相应的辅助设备，首先，打开风阀，启动排气装置2；其次，开启高位储酸槽13，将化学溶液吸入酸洗槽11中。再次根据清洗流程，将待清洗载板放置于吊篮42上，采用行车机构3吊起吊篮42运送到指定的酸洗槽11里，达到设定时间后，电动葫芦41再吊起吊篮42，通过移动小车32运送到水洗槽12进行水洗，水洗完毕，再将吊篮42提起，水沥干。从而，完成整个清洗流程。
本实用新型对清洗槽改造设计，同时增加载板吊篮装置，使生产工艺更加合理，每次能够清洗多块载板，有效去除载板上的ITO溅射以及镀铜等遗留在载板上的靶材，让载板能快速高效的循环利用，提高载板清洗的品质及清洗效率，减少人工作业强度，减低运营成本，满足公司生产需求。
本实用新型标准自动化清洗流程取代了传统人工作业流程，实现了人员操作的安全，降低作业的危险性，同时排气系统的设计，有效降低溶液的挥发造成的环境污染，有效弥补传统人工清洗的缺陷，为太阳能电池板的生产提供了充足的“衬板”，为公司电池板大批量生产奠定了基础。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。