一种微电子器件除尘装置的制作方法

文档序号:16583103发布日期:2019-01-14 18:08阅读:208来源:国知局
一种微电子器件除尘装置的制作方法

本发明涉及微电子除尘技术领域,尤其涉及一种微电子器件除尘装置。



背景技术:

公告号为cn206443651u的发明公开了一种微电子器件除尘装置,包括支撑圆板,支撑圆板的外周设有环形套,环形套的套体为中空结构,环形套的套体内侧开设数个通气孔,环形套连接导管的一端,导管的另一端连接吸尘器;支撑圆板的中间处安装离子风枪,离子风枪连接离子发生器。本发明中,通过环形套扣在芯片上,形成一个较为封闭的空间,灰尘由外周的通气孔吸走,避免灰尘飘落,提高除尘效率。

但是该微电子器件除尘装置的离子风是由风扇从顶部吹向微电子器件的,距离较远,会造成吹到微电子器件表面的离子风比较分散,导致除静电的效果不好,且吸尘口距离微电子器件的中间区域较远,不能及时将灰尘吸走,会造成二次污染,所以我们提出一种微电子器件除尘装置,用以解决上述所提到的问题。



技术实现要素:

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种微电子器件除尘装置。

为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:

一种微电子器件除尘装置,包括矩形盒,所述矩形盒的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒,所述锥形盒的内壁上焊接有空心圆柱,所述空心圆柱的两侧分别固定安装有离子发生器和吸尘器,所述锥形盒的内壁上焊接有圆形板,所述矩形盒的两侧内壁上焊接有同一个横板,所述横板的一侧滑动连接有移动板,所述矩形盒的两侧内壁上均开设有通孔,所述通孔位于横板的一侧,所述通孔的内壁上滑动连接有弹性绳,所述弹性绳的一端贯穿通孔并延伸至矩形盒内,两个弹性绳相互靠近的一端分别与移动板的两侧相连接,所述移动板的顶部和圆形板的底部焊接有同一个拉簧,所述移动板的两侧分别固定安装有分流盒和吸尘盒,所述分流盒内固定安装有风扇,所述分流盒和吸尘盒的底部分别固定安装有多个对称设置的离子风枪和吸尘头,所述离子风枪和吸尘头分别与分流盒和吸尘盒相连通,所述分流盒和吸尘盒的顶部分别固定连接有第一弹簧管和第二弹簧管,所述第一弹簧管和第二弹簧管分别与分流盒和吸尘盒相连通,所述第一弹簧管和第二弹簧管的顶端均贯穿圆形板并延伸至圆形板的上方,所述第一弹簧管和第二弹簧管的顶端分别固定连接有离子风管和吸尘管,所述离子风管和吸尘管的顶端分别贯穿空心圆柱的两侧内壁并分别与离子发生器的出风口和吸尘器的进风口螺纹连接。

优选的,所述矩形盒的底部固定安装有密封条,所述密封条为软性材质。

优选的,所述横板的一侧焊接有导轨,所述移动板的一侧焊接有滑块,所述滑块与导轨滑动连接。

优选的,两个弹性绳相互远离的一端均固定连接有拉环,所述拉环与矩形盒相接触。

优选的,所述移动板的底部固定安装有刷盘,所述刷盘的底部固定安装有毛刷。

优选的,所述矩形盒的一侧开设有矩形孔,所述矩形孔的内壁上固定安装有透明窗。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:将微电子器件放置在矩形盒内,密封条可以将矩形盒与外界隔开,启动离子发生器和吸尘器,离子发生器可以产生离子风并通过离子风管和第一弹簧管吹进分流盒内,风扇可以将离子风通过离子风枪吹向微电子器件的表面,拉环可以带动离子风枪和吸尘头进行横向移动,且移动板可以带动毛刷对微电子器件的表面进行清理,可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉,同时吸尘器通过吸尘头和吸尘盒将灰尘吸走。

本发明结构简单,离子发生器可以产生离子风并通过离子风枪吹向微电子器件的表面,毛刷可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉,同时吸尘器通过吸尘头和吸尘盒将灰尘吸走,使得离子风枪可以集中且近距离将离子风吹到微电子器件的表面上,除静电的效果好,且吸尘头可以近距离的吸走毛刷和离子风枪从微电子器件清除的灰尘,可以及时将灰尘吸走,避免二次污染,使用方便。

附图说明

图1为本发明提出的一种微电子器件除尘装置的结构示意图;

图2为本发明提出的一种微电子器件除尘装置的横板的结构示意图;

图3为本发明提出的一种微电子器件除尘装置的主视图;

图4为本发明提出的一种微电子器件除尘装置的移动板的侧视图;

图5为本发明提出的一种微电子器件除尘装置的分流盒的侧视图;

图6为本发明提出的一种微电子器件除尘装置的吸尘盒的侧视图。

图中:1密封条、2矩形盒、3弹性绳、4导轨、5横板、6移动板、7第一弹簧管、8圆形板、9锥形板、10离子发生器、11吸尘器、12吸尘管、13第二弹簧管、14拉簧、15分流盒、16离子风枪、17刷盘、18吸尘头、19吸尘盒、20透明窗、21空心圆柱、22滑块、23毛刷、24离子风管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1-6,一种微电子器件除尘装置,包括矩形盒2,矩形盒2的两侧内壁顶部焊接有同一个锥形盒9,锥形盒9的内壁上焊接有空心圆柱21,空心圆柱21的两侧分别固定安装有离子发生器10和吸尘器11,锥形盒9的内壁上焊接有圆形板8,矩形盒2的两侧内壁上焊接有同一个横板5,横板5的一侧滑动连接有移动板6,矩形盒2的两侧内壁上均开设有通孔,通孔位于横板5的一侧,通孔的内壁上滑动连接有弹性绳3,弹性绳3的一端贯穿通孔并延伸至矩形盒2内,两个弹性绳3相互靠近的一端分别与移动板6的两侧相连接,移动板6的顶部和圆形板8的底部焊接有同一个拉簧14,移动板6的两侧分别固定安装有分流盒15和吸尘盒19,分流盒15内固定安装有风扇,分流盒15和吸尘盒19的底部分别固定安装有多个对称设置的离子风枪16和吸尘头18,离子风枪16和吸尘头18分别与分流盒15和吸尘盒19相连通,分流盒15和吸尘盒19的顶部分别固定连接有第一弹簧管7和第二弹簧管13,第一弹簧管7和第二弹簧管13分别与分流盒15和吸尘盒19相连通,第一弹簧管7和第二弹簧管13的顶端均贯穿圆形板8并延伸至圆形板8的上方,第一弹簧管7和第二弹簧管13的顶端分别固定连接有离子风管24和吸尘管12,离子风管24和吸尘管12的顶端分别贯穿空心圆柱21的两侧内壁并分别与离子发生器10的出风口和吸尘器11的进风口螺纹连接,将微电子器件放置在矩形盒2内,密封条1可以将矩形盒2与外界隔开,启动离子发生器10和吸尘器11,离子发生器10可以产生离子风并通过离子风管24和第一弹簧管7吹进分流盒15内,风扇可以将离子风通过离子风枪16吹向微电子器件的表面,拉环可以带动离子风枪16和吸尘头18进行横向移动,且移动板6可以带动毛刷23对微电子器件的表面进行清理,可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉,同时吸尘器11通过吸尘头18和吸尘盒19将灰尘吸走,本发明结构简单,离子发生器10可以产生离子风并通过离子风枪16吹向微电子器件的表面,毛刷23可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉,同时吸尘器11通过吸尘头18和吸尘盒19将灰尘吸走,使得离子风枪16可以集中且近距离将离子风吹到微电子器件的表面上,除静电的效果好,且吸尘头18可以近距离的吸走毛刷23和离子风枪16从微电子器件清除的灰尘,可以及时将灰尘吸走,避免二次污染,使用方便。

本发明中,矩形盒2的底部固定安装有密封条1,密封条1为软性材质,横板5的一侧焊接有导轨4,移动板6的一侧焊接有滑块22,滑块22与导轨4滑动连接,两个弹性绳3相互远离的一端均固定连接有拉环,拉环与矩形盒2相接触,移动板6的底部固定安装有刷盘17,刷盘17的底部固定安装有毛刷23,矩形盒2的一侧开设有矩形孔,矩形孔的内壁上固定安装有透明窗20,将微电子器件放置在矩形盒2内,密封条1可以将矩形盒2与外界隔开,启动离子发生器10和吸尘器11,离子发生器10可以产生离子风并通过离子风管24和第一弹簧管7吹进分流盒15内,风扇可以将离子风通过离子风枪16吹向微电子器件的表面,拉环可以带动离子风枪16和吸尘头18进行横向移动,且移动板6可以带动毛刷23对微电子器件的表面进行清理,可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉,同时吸尘器11通过吸尘头18和吸尘盒19将灰尘吸走,本发明结构简单,离子发生器10可以产生离子风并通过离子风枪16吹向微电子器件的表面,毛刷23可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉,同时吸尘器11通过吸尘头18和吸尘盒19将灰尘吸走,使得离子风枪16可以集中且近距离将离子风吹到微电子器件的表面上,除静电的效果好,且吸尘头18可以近距离的吸走毛刷23和离子风枪16从微电子器件清除的灰尘,可以及时将灰尘吸走,避免二次污染,使用方便。

工作原理:在使用时,将微电子器件放置在矩形盒2内,密封条1将矩形盒2与外界隔开,防止外界的空气进入矩形盒2内,启动离子发生器10和吸尘器11,离子发生器10会产生离子风并通过离子风管24和第一弹簧管7吹进分流盒15内,风扇将离子风通过离子风枪16吹向微电子器件的表面,拉动拉环,拉环带动弹性绳3进行横向移动,弹性绳3带动移动板6进行横向移动,移动板6带动离子风枪16和吸尘头18进行横向移动,且移动板6会带动毛刷23进行横向移动,毛刷23可以对微电子器件的表面进行清理,可以将离子风吹不掉的灰尘刷掉,同时吸尘器11通过吸尘头18和吸尘盒19将灰尘吸走,使得离子风枪16可以集中且近距离将离子风吹到微电子器件的表面上,除静电的效果好,且吸尘头18可以近距离的吸走毛刷23和离子风枪16从微电子器件清除的灰尘,可以及时将灰尘吸走,避免二次污染,使用方便。

以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

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