前开式晶圆传送盒清洁装置及前开式晶圆传送盒清洁方法与流程

本发明涉及一种前开式晶圆传送盒清洁装置及前开式晶圆传送盒清洁方法，尤其涉及一种提高了用于基板的保管及搬运的前开式晶圆传送盒的清洁及干燥效率的前开式晶圆传送盒清洁装置及前开式晶圆传送盒清洁方法。

背景技术：

半导体制造工艺经过利用多种方法对半导体基板进行加工的一系列工序设备，因此当保管及搬运半导体基板时需要注意不在外部的冲击下被损伤，并且需要进行管理以使基板的表面不被水分、灰尘、各种有机物等杂质污染。

因此，当保管及搬运半导体基板时使用单独的保管容器(前开式晶圆传送盒(foup，frontopeningunifiedpod)，以下称为“foup”)。

由于在以上述的用途使用的foup的内部收纳有高精度的半导体基板，因此foup需要用于保持高清洁度的管理，为此，foup在foup清洁装置中进行周期清洁及干燥。

关于这种foup的清洁及干燥的现有技术在韩国公开专利第10-2013-0095028号、韩国授权专利第10-1173987等中有所公开。对于上述现有技术而言，将清洁液喷射于foup的表面而实施foup的清洁，在同上所述地喷射清洁液而对foup进行清洁的情况下，液态的水粒子细密地浸透foup的表面的能力降低，从而不仅清洁效率低，而且具有对完成清洁的foup进行干燥需要较多时间的问题。

并且，如韩国公开专利第10-2015-0078657号所述，在foup内部配备有用于清洗收纳于foup内部的基板的发泡多孔材质的通气管喷嘴(snorkelnozzle)，若同上所述地利用清洁液来清洁foup，则具有如下问题：使通气管喷嘴完全干燥以恢复到原来的性能需要更多的时间，通气管喷嘴完全干燥所需要的时间内无法再使用foup，从而发生工艺损失。

技术实现要素：

本发明为了解决同上所述的问题而提出，其目的在于提供一种能够提高foup主体及foup盖的清洁及干燥效率的foup清洁装置及foup清洁方法。

用于实现同上所述的目的的本发明的foup清洁装置，用于清洁包括foup主体及foup盖的foup，并包括：装载及卸载部，用于搬入及搬出所述foup；等待部，配备于所述装载及卸载部的一侧，并使所述foup主体与foup盖相互分离或结合；清洁腔室，利用蒸汽清洁所述foup主体及foup盖；以及机器人，用于在所述等待部与所述清洁腔室之间搬送所述foup主体及foup盖。

在所述蒸汽中可以混合有压缩干燥空气。

所述清洁腔室可以配备有：外部清洁流体喷射部，向所述foup主体的外侧面及所述foup盖喷射清洁流体；以及内部清洁流体喷射部，向所述foup主体的内侧面喷射清洁流体。

通过所述外部清洁流体喷射部喷射的清洁流体可以是热去离子水，通过所述内部清洁流体喷射部喷射的清洁流体可以是蒸汽。

在所述热去离子水及所述蒸汽中可以混合有压缩干燥空气。

可以通过所述外部清洁流体喷射部及所述内部清洁流体喷射部选择性地供应热去离子水或蒸汽，在所述热去离子水及蒸汽中混合有压缩干燥空气。

在所述外部清洁流体喷射部，可以上下相隔地形成有喷射清洁流体的多个喷嘴，且所述多个喷嘴形成为各自的长度及喷射角不同，以使所述多个喷嘴靠近所述foup主体的外侧面而布置。

所述foup主体可以可旋转地配备于所述清洁腔室内，所述多个喷嘴倾斜地形成，从而向与所述foup主体所旋转的方向相向的方向喷射清洁流体。

在所述清洁腔室可以配备有：空气供应部，喷射用于对完成清洁的所述foup主体及foup盖进行干燥的压缩干燥空气。

所述空气供应部可以包括：外部空气供应部，向所述foup主体的外侧面喷射压缩干燥空气；以及内部空气供应部，向所述foup主体的内侧面喷射压缩干燥空气。

在所述外部空气供应部，可以上下相隔地形成有喷射压缩干燥空气的多个喷嘴，且所述多个喷嘴形成为各自的长度及喷射角不同，以使所述多个喷嘴靠近所述foup主体的外侧面而布置。

所述foup主体可以可旋转地配备于所述清洁腔室内，所述多个喷嘴倾斜地形成，从而向与所述foup主体所旋转的方向相向的方向喷射压缩干燥空气。

所述空气供应部还可以包括：上部空气供应部，在所述清洁腔室内部位于所述foup主体与所述foup盖之间，且配备为可前后移动，从而向完成清洁的所述foup主体及所述foup盖喷射压缩干燥空气。

在所述foup主体可以配备有用于清洗所述foup主体内部的发泡多孔材质的通气管喷嘴，在所述清洁腔室配备有：压缩干燥空气供应部，在所述foup主体的清洁完成之后向所述通气管喷嘴内注入压缩干燥空气。

所述压缩干燥空气供应部可以配备为可前后移动，以连接于所述通气管喷嘴的一侧端或解除连接。

在所述清洁腔室可以可前后移动地配备有止动器，且所述止动器用于支撑所述foup主体的一侧面，从而防止所述foup主体被从所述压缩干燥空气供应部喷射的所述压缩干燥空气推向一侧而移动。

所述清洁腔室可以包括：清洁腔室主体，将所述foup主体收容于内部，进而进行清洁处理；清洁腔室盖，开闭所述清洁腔室主体的上部，并支撑所述foup盖，从而进行清洁处理。

在所述清洁腔室主体内可以包括：安置部，配备于所述清洁腔室主体的下部，以安置所述foup主体；以及升降部，在所述清洁腔室主体的上部与下部之间升降，并且将所述foup主体传递至所述安置部上，或者从所述安置部接收所述foup主体而使所述foup主体升降，其中，所述升降部通过支撑部与所述清洁腔室盖连接，所述升降部与所述清洁腔室盖构成为借助同一个升降驱动部一同升降。

在所述清洁腔室可以配备有：紫外线灯，照射用于对完成清洁的所述foup主体及foup盖进行干燥的紫外线。

所述紫外线灯可以包括：外部紫外线灯，向所述foup主体的外侧面照射紫外线；以及内部紫外线灯，向所述foup主体的内侧面照射紫外线。

所述foup清洁装置还可以包括：真空腔室，使在所述清洁腔室完成清洁的foup主体及foup盖通过所述机器人被搬送，在所述真空腔室连接有：氮气供应线，向所述真空腔室内部供应氮气；以及真空线，吸入所述真空腔室内部的流体而排放至外部。

在所述foup主体可以配备有用于清洗所述foup主体内部的发泡多孔材质的通气管喷嘴，在所述真空腔室配备有向所述通气管喷嘴内注入氮气的氮气供应部。

所述氮气供应部可以配备为可前后移动，以连接于所述通气管喷嘴的一侧端或解除连接。

在所述真空腔室可以可前后移动地配备有止动器，且所述止动器用于支撑所述foup主体的一侧面，从而防止所述foup主体被从所述氮气供应部喷射的所述氮气推向一侧而移动。

所述真空腔室可以包括：真空腔室主体，以分离的状态收容所述foup主体及foup盖；以及真空腔室盖，进行升降及前后移动而开闭形成于所述真空腔室主体的一侧面的开口部。

所述foup清洁装置还可以包括：缓冲部，将在所述真空腔室完成所述通气管喷嘴的干燥的foup主体及foup盖在通过通过机器人搬送至所述等待部之前进行临时保管。

本发明的foup清洁方法，用于清洁包括foup主体及foup盖的foup，并包括如下步骤：将所述foup装载于装载及卸载部；将装载的所述foup移送至等待部；通过机器人将移送至所述等待部的所述foup主体及foup盖搬送至清洁腔室；以及向所述清洁腔室供应蒸汽而对所述foup主体及foup盖进行清洁。

在对所述foup主体及foup盖进行清洁的步骤中，向所述蒸汽中混合压缩干燥空气，进而供应至清洁腔室内。

在对所述foup主体及foup盖进行清洁的步骤中，可以向所述foup主体的外侧面及所述foup盖供应热去离子水，向所述foup主体的内侧面供应蒸汽。

可以在所述热去离子水及所述蒸汽中混合压缩干燥空气而进行供应。

还可以包括如下步骤：在对所述foup主体及foup盖进行清洁的步骤结束之后，向所述foup主体及foup盖喷射压缩干燥空气，以干燥foup主体及foup盖。

干燥所述foup主体及foup盖的步骤可以包括如下步骤：向配备于所述foup主体内的通气管喷嘴内注入压缩干燥空气，以干燥所述通气管喷嘴。

还可以包括如下步骤：在干燥所述foup主体及foup盖的步骤结束之后，通过机器人将所述foup主体及foup盖搬送至真空腔室，进而通过供应氮气及真空吸入将残留于foup主体及foup盖的包含水分的异物排放。

所述foup清洁方法还可以包括如下步骤：向所述通气管喷嘴内注入氮气，以干燥所述通气管喷嘴。

还可以包括如下步骤：在干燥所述通气管喷嘴的步骤之后，将所述foup主体及foup盖临时保管于缓冲部，然后依次经由所述等待部和装载及卸载部而卸载foup。

根据本发明的foup清洁装置及foup清洁方法，可以利用蒸汽对foup主体及foup盖进行清洁，从而高温的气泡化且微粒化的水粒子能够细密地浸透foup主体及foup盖的表面，从而可以提高清洁力并缩短干燥时间，从而能够提高foup主体及foup盖的清洁及干燥效率。

并且，供应通过二流体喷嘴向为了清洁foup主体及foup盖而供应的蒸汽或热去离子水混合压缩干燥空气的混合流体，从而能够提高喷射的压力，并且通过起泡效果能够进一步提高清洁力。

并且，根据向外部清洁流体喷射部供应热去离子水以进行清洁，并向内部清洁流体喷射部供应蒸汽以进行清洁的实施例，能够减小用于产生蒸汽的蒸汽发生器的容量及体积，同时能够有效地清洁foup主体的内部。

并且，根据通过外部清洁流体喷射部及内部清洁流体喷射部选择性地供应热去离子水及蒸汽并利用共同的二流体喷嘴向供应热去离子水及蒸汽的流路混合压缩干燥空气而进行供应的实施例，能够兼用共同的清洁流体供应线和二流体喷嘴，进而能够简化装置的结构。

并且，向在清洁腔室完成清洁的foup主体内部配备的通气管喷嘴注入压缩干燥空气以进行一次干燥，在真空腔室向通气管喷嘴注入氮气以进行二次干燥，从而能够在短时间内将发泡多孔材质的通气管喷嘴完全干燥。

并且，通过配备用于支撑foup主体的一侧面的止动器，以防止foup主体被用于干燥通气管喷嘴的压缩干燥空气或氮气的供应所产生的压力推向一侧而移动，从而能够在支撑并固定foup主体的状态下稳定地执行通气管喷嘴的干燥作业。

并且，使多个喷嘴各自的长度及喷射角不同，从而在清洁腔室的清洁及干燥的过程中，使foup主体及foup盖旋转而使清洁流体及压缩干燥空气在foup主体及foup盖的整个区域均匀地喷射，同时使喷射清洁流体及压缩干燥空气的多个喷嘴靠近foup主体的外侧面布置，，并且多个喷嘴倾斜地形成，从而向与foup主体所旋转的方向相向的方向喷射清洁流体，从而能够进一步地提高清洁及干燥效率。

并且，构成为清洁腔室盖与升降部通过同一升降驱动部的驱动而一同升降，从而能够简便并顺利地执行将foup主体及foup盖搬入并搬出清洁腔室的作业。

附图说明

图1是示意性地示出本发明的foup清洁装置的构成的侧视图。

图2是示意性地示出本发明的foup清洁装置的构成的平面图。

图3是用于说明在本发明的foup清洁装置中将foup从装载及卸载部移送至等待部的过程的图。

图4是示意性地示出配备于本发明的foup清洁装置的清洁腔室的构成的纵剖面图。

图5是示出清洁腔室的内部结构的横截面图。

图6是向清洁腔室供应清洁流体的一实施例的系统图。

图7是向清洁腔室供应清洁流体的另一实施例的系统图。

图8及图9是示意性地示出配备于根据本发明的foup清洁装置的真空腔室的构成及开闭结构的正视图及侧视图。

图10是真空腔室的纵剖面图。

图11是本发明的foup清洁方法的流程图。

符号说明

1：foup清洁装置10：foup

20：foup主体21：通气管喷嘴

30：foup盖100：工艺室

200：装载及卸载部210：支撑板

300：等待部310：待机板

320：升降气缸400：移送单元

500：机器人510：夹持器

600：清洁腔室601：蒸汽发生器

602、605、607：空气供应部603、606、608：二流体喷嘴

610：清洁腔室主体611：安置部

620：清洁腔室盖621：foup盖支撑部

622：夹具623：马达

630：升降单元631：升降驱动部

632：连接部件633：支撑部

634：升降部634a：贯通口

640：清洁流体喷射部640-1：外部清洁流体喷射部

640-2：内部清洁流体喷射部650：空气供应部

650-1：外部空气供应部650-2：内部空气供应部

650-3：上部空气供应部651：气缸

660：紫外线灯660-1：外部紫外线灯

660-2：内部紫外线灯670：马达

680：压缩干燥空气供应部681：气缸

690：止动器691：气缸

700：真空腔室710：真空腔室主体

710a：安置部711：支撑部

712：真空线713：氮气供应线

720：真空腔室盖730：升降气缸

740：前进后退气缸750：氮气供应部

751：气缸761：止动器

761：气缸800：缓冲部

910：公用部件920：蒸汽单元

具体实施方式

以下，参照附图，对关于本发明的优选实施例的构成及作用进行详细的说明。

参照图1及图2，本发明的foup清洁装置1是将用于保管及移送半导体基板的foup10清洁及干燥的装置。所述foup10包括：foup主体20，收纳半导体基板(未图示)；以及foup盖30，开闭形成于所述foup主体20一侧的开口部，其中，所述foup主体20及foup盖30构成为能够通过锁定器(locker)(未示出)分离或结合的结构。

所述foup清洁装置1包括：工艺室100，执行所述foup10的搬送、清洁及干燥处理；装载及卸载部200，用于将foup10搬入及搬出所述工艺室100；等待部300，朝向所述装载及卸载部200的一侧配备于工艺室100内，并且使所述foup主体20与foup盖30相互分离或结合；移送单元400，在所述装载及卸载部200与等待部300之间移送foup10；机器人500，在所述工艺室100内抓持并搬送foup主体20及foup盖30；清洁腔室600，通过所述机器人500接收位于所述等待部300的foup主体20及foup盖30，进而利用蒸汽进行清洁后使其干燥；真空腔室700，通过所述机器人500接收在所述清洁腔室600清洁并干燥后的foup主体20及foup盖30，进而排放残留于foup主体20及foup盖30的包含水分的异物；以及缓冲部800，用于将在所述真空腔室700完成排放处理的foup主体20及foup盖30搬送至所述等待部300之前进行临时保管。并且，在所述工艺室100内部的一侧可以配备有：公用部件910，配备有用于供应为了foup10的清洁和干燥而使用的热去离子水(hotdeionizedwater)、压缩干燥空气(cda：compresseddryair)、氮气(n2)等的设备；以及蒸汽单元920，配备有用于供应foup10的清洁所用蒸汽的设备。

所述装载及卸载部200是用于为了将清洁对象foup10搬入工艺室100内而进行装载(loading)或者为了将在工艺室100完成清洁、干燥及排放工序的foup10搬出至工艺室100外部而进行卸载(unloading)的构成。参照图3，在所述装载及卸载部200配备有使foup主体20向一旁平放而使foup盖30以位于一侧的状态安置的支撑板210。

所述等待部300是被移送单元400从所述装载及卸载部200移送的foup10在被搬送至清洁腔室600之前等待的地方，移送至所述等待部300的foup10的姿势被机器人500转换为foup盖30朝向下方。并且，在所述等待部300配备有用于将配备于foup主体20及foup盖30的锁定器锁定或解锁的锁定及解锁单元(未图示)。所述锁定及解锁单元可以构成为使所述锁定器向一方向或反方向旋转，从而将锁定器锁定或解锁。

在所述等待部300配备有：待机板310，安置foup主体20和foup盖30；以及升降气缸320，使所述待机板310以沿上下方向移动的方式升降。所述升降气缸320可以连接于移送单元400，从而通过移送单元400的驱动在装载及卸载部200与等待部300之间往返移动。

所述移送单元400作为用于升降气缸320的往返移送的构成，可以构成为线性运动导轨。

对将foup10从所述装载及卸载部200向等待部300移送的过程进行说明。若foup10装载于支撑板210上，则在所述支撑板210的下侧等待的升降气缸320上升移动，同时将位于支撑板210上的foup10提升至支撑板210的上侧。这种状态下，升降气缸320及foup10通过移送单元400的驱动向等待部300侧移动。若升降气缸320及foup10位于等待部300的待机板310上侧，则升降气缸320下降移动，同时将支撑的foup10放置于待机板310上。接下来，在机器人500的夹持器510抓持foup10之后，旋转foup10使得foup盖30朝向下方，然后放置于待机板310上，通过配备于等待部300的锁定及解锁单元解锁锁定器，从而使foup主体20与foup盖30处于可分离的状态。

若同上所述，foup主体20与foup盖30处于可分离的状态，则通过机器人500将foup主体20与foup盖30依次搬送至清洁腔室600。

参照图4及图5，所述清洁腔室600包括：清洁腔室主体610，将所述foup主体20收容于内部而进行清洁及干燥处理；清洁腔室盖620，开闭所述清洁腔室主体610，并支撑所述foup盖30而进行清洁及干燥处理。

在所述清洁腔室主体610内包括：安置部611，配备于所述清洁腔室主体610的下部，以安置所述foup主体20；以及升降部634，在所述清洁腔室主体610的上部与下部之间升降，并且将所述foup主体20传递至所述安置部611上，或者从所述安置部611接收所述foup主体20而使所述foup主体20升降。所述升降部634可以通过支撑部633与清洁腔室盖620连接，并且所述升降部634与所述清洁腔室盖620可以通过同一个升降驱动部631一同升降。

在foup主体20及foup盖30从所述等待部300移动至清洁腔室600的情况下，升降驱动部631上升移动，清洁腔室盖620、支撑部633及升降部634随之一同上升移动，从而使清洁腔室主体610的上部开放，同时安置部611向清洁腔室主体610的上部移动，进而在能够接收foup主体20的位置等待。

在所述清洁腔室盖620配备有：foup盖支撑部621及夹具622，用于支撑并固定被机器人500移送的foup盖30。

若foup主体20通过所述机器人500被传递到升降部634上，且foup盖30被foup盖支撑部621及夹具622支撑并固定于清洁腔室盖620，则清洁腔室盖620和固定于清洁腔室盖620的foup盖30以及通过支撑部633连接于清洁腔室盖620的升降部634通过升降驱动部631的下降驱动以支撑foup主体20的状态下降移动。在这种情况下，升降驱动部631下降驱动至驱动清洁腔室盖620封闭清洁腔室主体610的上部的位置，在此过程中，升降部634在将foup主体20传递到安置部611之后，位于安置部611的下侧并待机。

参照图5，在所述升降部634的中央部形成有贯通口634a，在所述贯通口634a的内侧布置有安置部611。因此，当升降部634升降移动时，防止与安置部611的干扰，并且能够在升降部634与安置部611之间实现foup主体20的传递。

另外，在所述清洁腔室主体610配备有：清洁流体喷射部640:640-1、640-2，供应用于清洁foup主体20及foup盖30的清洁流体。

所述清洁流体喷射部640可以包括：外部清洁流体喷射部640-1，向foup主体20的外侧面及foup盖30喷射清洁流体；以及内部清洁流体喷射部640-2，向所述foup主体20的内侧面喷射清洁流体。

所述外部清洁流体喷射部640-1中，配备于foup主体20的外侧周围且在朝向foup主体20的外侧面喷射清洁流体同时朝向foup盖30喷射清洁流体的多个喷嘴可以配备于上下相隔的位置。

所述内部清洁流体喷射部640-2以位于foup主体20的内侧的方式配备于安置部611上，从而朝向foup主体20的内侧面喷射清洁流体。

另外，安置有所述foup主体20的安置部611配备为能够通过马达670的驱动旋转，支撑所述foup主体20的foup盖支撑部621也配备为能够通过马达623的驱动旋转。

参照图4，在所述外部清洁流体喷射部640-1可以上下相隔地形成有喷射清洁流体的多个喷嘴，所述多个喷嘴以靠近所述foup主体20的外侧面的方式布置，并且可以形成为各自的长度及喷射角不同。并且，所述foup主体20可旋转地配备于所述清洁腔室600内，所述多个喷嘴可以倾斜地形成，从而向与所述foup主体20旋转的方向相向的方向喷射清洁流体。所述喷嘴所倾斜的角度可以形成为以连接喷嘴与foup主体20中心的线为基准具有30°～40°范围的倾斜。

根据同上所述的构成，由于当清洁foup主体20及foup盖30时，外部清洁流体喷射部640-1在靠近旋转的foup主体20的外侧面的位置向与foup主体20旋转的方向相向的方向喷射清洁流体，因此能够提高foup主体20的清洁效率。

参照图6，作为一实施例，通过所述外部清洁流体喷射部640-1喷射的清洁流体可以是热去离子水(hotdeionizedwater)，通过所述内部清洁流体喷射部640-2喷射的清洁流体可以是蒸汽(steam)。并且，在所述热去离子水及蒸汽中可以混合压缩干燥空气(cda)而提供。

为此，在清洁腔室600的外部清洁流体喷射部640-1连接有热去离子水供应部604，在该连接线上配备有用于将从空气供应部605供应的压缩干燥空气混合于热去离子水的二流体喷嘴606。并且，在清洁腔室600的内部的清洁流体喷射部640-2连接有蒸汽发生器601，在该连接线上配备有用于将从空气供应部602供应的压缩干燥空气混合于蒸汽的二流体喷嘴603。在图6中，未说明的符号v1～v6表示用于开闭相应供应线的阀门。

通过同上所述地向外部清洁流体喷射部640-1供应热去离子水与压缩干燥空气的混合流体，从而使高温的气泡化及微粒子化的水粒子能够细密地浸透foup主体20的外侧面及foup盖30，从而能够提高清洁力并缩短干燥时间，并且提高喷射的压力，从而可以提高清洁效率。并且，通过向内部清洁流体喷射部640-2供应蒸汽与压缩干燥空气的混合流体，从而利用相比于热去离子水进一步微粒子化的蒸汽能够在foup主体20内侧面整个区域无死角地更细密地浸透，从而能够进一步提高清洁力。并且，根据本实施例，通过构成为仅向foup主体20的内部提供蒸汽，相比于向foup主体20的内部及外部整体提供蒸汽的情况相比，能够减小蒸汽发生器601的容量及体积并提高foup主体20内部的清洁效率。

参照图7，作为另一实施例，可以通过所述外部清洁流体喷射部640-1及所述内部清洁流体喷射部640-2选择性地供应热去离子水及蒸汽，并且向所述热去离子水及蒸汽中混合压缩干燥空气而提供。为此，在清洁腔室600的外部清洁流体喷射部640-1及内部清洁流体喷射部640-2，连接于热去离子水供应部604的供应线与连接于蒸汽发生器601的供应线以汇集成一条线的方式连接，在上述汇集成一条的线上配备有用于混合从空气供应部607供应的压缩干燥空气的二流体喷嘴608。在图7中，未说明符号v1、v4、v7、v8表示用于开闭相应供应线的阀门。

根据同上所述的构成，通过构成为向外部清洁流体喷射部640-1及内部清洁流体喷射部640-2选择性地供应热去离子水及蒸汽，能够兼用共同的清洁流体供应线和二流体喷嘴608，进而能够简化装置的结构，并且通过向供应的热去离子水及蒸汽供应压缩干燥空气的混合流体，能够与上述的实施例相同地，以较大的压力向foup主体20及foup盖30喷射微粒子化的清洁流体，从而能够提高清洁效率。

另外，在所述清洁腔室600配备有：空气供应部650，喷射用于干燥完成清洁的所述foup主体20及foup盖30的压缩干燥空气。

所述空气供应部650包括：外部空气供应部650-1，向foup主体20的外侧面喷射压缩干燥空气；以及内部空气供应部650-2，向所述foup主体20的内侧面喷射压缩干燥空气。

在所述外部空气供应部650-1，作为与上述外部清洁流体喷射部640-1的构成相似的构成，上下相隔地形成有喷射压缩干燥空气的多个喷嘴，所述多个喷嘴靠近所述foup主体20的外侧面而布置，且形成为各自的长度及喷射角不同。并且，所述多个喷嘴可以倾斜地形成，从而向与所述foup主体20所旋转的方向相向的方向喷射压缩干燥空气。所述喷嘴倾斜的角度可以形成为以连接喷嘴与foup主体20中心的线为基准具有30°～40°范围的倾斜。

根据同上所述的构成，由于当对foup主体20进行干燥时，在靠近旋转的foup主体20的外侧面的位置向与foup主体20所旋转的方向相向的方向喷射压缩干燥空气，因此能够提高foup主体20及foup盖30的干燥效率。

另外，所述空气供应部650还可以包括：上部空气供应部650-3，在清洁腔室600内部位于所述foup主体20与所述foup盖30之间，且配备为能够通过气缸651的驱动而前后移动，从而向完成清洁的foup主体20及foup盖30喷射压缩干燥空气。通过将所述上部空气供应部650-3构成为可前后移动，从而如图4所示，能够有效地对在开口部朝向下方而安置的foup主体20的上表面积聚的水分进行干燥并去除，并且能够有效地对残留于foup盖30的整个区域的水分进行干燥并去除。

另外，在所述foup主体20配备有用于清洗foup主体20内部的发泡多孔材质的通气管喷嘴21，在清洁腔室600配备有在foup主体20清洁完成之后向所述通气管喷嘴21内注入压缩干燥空气的压缩干燥空气供应部680。所述压缩干燥空气供应部680配备为通过气缸681的驱动可前后移动，以连接于通气管喷嘴21的一侧端或解除连接。因此，通过借助上述的空气供应部650进行的压缩干燥空气喷射而进行的干燥过程而未干燥病残留于通气管喷嘴21的水分通过借助所述压缩干燥空气供应部680的向通气管喷嘴21内部的压缩干燥空气注入而进行再次干燥。

并且，在所述清洁腔室600配备有：止动器690，能够通过气缸691的驱动前后移动，且用于支撑所述foup主体20的一侧面，从而使foup主体20不会被从所述压缩干燥空气供应部680喷射的所述压缩干燥空气推向一侧而移动。

当进行借助清洁流体喷射部640的清洁以及借助空气供应部650的干燥时，安置部611以及安置于安置部611上表面的foup主体20由于马达670的驱动而旋转，所述压缩干燥空气供应部680及止动器690与foup主体20的外侧面相隔而布置。并且，当进行借助所述压缩干燥空气供应部680的通气管喷嘴21的干燥时，所述马达670的驱动停止，从而使安置部611以及安置于该安置部611上表面的foup主体20不旋转而维持在原位静止的状态，所述压缩干燥空气供应部680及止动器690布置为紧贴于foup主体20的外侧面。

所述压缩干燥空气供应部680的端部可以与连接端口通过o型环等密封单元以保持气密的状态连接，所述连接端口形成于与通气管喷嘴21的端部连接的foup主体20的外侧面。

另外，在所述清洁腔室600配备有照射用于对完成清洁的foup主体20及foup盖30进行干燥的紫外线的紫外线灯660。所述紫外线灯660包括：外部紫外线灯660-1，向所述foup主体20的外侧面照射紫外线；以及内部紫外线灯660-2，向所述foup主体20的内侧面照射紫外线。

若在所述清洁腔室600完成清洁及干燥，则清洁腔室盖620以及被其支撑的foup盖30通过升降驱动部631的驱动而上升，与此同时，与清洁腔室盖620连接的升降部634借助于支撑部633上升移动，并且接收安置于安置部611上的foup主体20，进而向清洁腔室主体610上部移动，从而处于可搬出的状态。

通过同上所述地构成为清洁腔室盖620及升降部634能够通过同一个升降驱动部631的驱动一同升降，能够简便并迅速顺利地执行将foup主体20及foup盖30搬入并搬出清洁腔室600的作业。

若所述foup主体20向清洁腔室主体610上部移动，则foup盖30及foup主体20被机器人500搬送至真空腔室700。

参照图8至图10，所述真空腔室700包括：真空腔室主体710，将foup主体20及foup盖30以分离的状态收容；以及真空腔室盖720，被升降及前后驱动，从而开闭形成于所述真空腔室主体710的一侧面的开口部。所述foup主体20安置于在真空腔室主体710内的下部配备的安置部710a上，foup盖30安置于在真空腔室主体710内的上部配备的支撑部711上。所述真空腔室盖720通过升降气缸730的驱动升降，病通过前进后退气缸740的驱动而前后驱动，从而开闭形成于真空腔室主体710的一侧面的开口部。

参照图10，在所述真空腔室700连接有：氮气供应线713，向真空腔室700内部供应氮气；以及真空线712，通过真空吸入所述真空腔室700内部的流体并排放至外部。残留于foup主体20及foup盖30的包含水分的异物借助通过所述氮气供应线713供应的氮气从foup主体20及foup盖30分离并通过真空线712被吸入再排放至外部。

另外，在所述真空腔室700配备有向配备于foup主体20内部的通气管喷嘴21内注入氮气的氮气供应部750。所述氮气供应部750配备为通过气缸751的驱动可前后移动，以连接于通气管喷嘴21的一侧端或解除连接。

因此，通过上述的清洁腔室600的压缩干燥空气供应部680还未干燥而残留于通气管喷嘴21的水分可以借助通过真空腔室700的氮气供应部750注入的氮气被干燥并去除。

并且，在所述真空腔室700配备有：止动器760，通过气缸761的驱动可前后移动，且用于支撑所述foup主体20的一侧面而使foup主体20不会被从所述氮气供应部750喷射的氮气推向一侧而移动。所述氮气供应部750的端部可以与连接端口通过o型环等密封结构以保持气密的状态连接，所述连接端口形成于与通气管喷嘴21的端部连接的foup主体20的外侧面。

若在所述真空腔室700完成水分及异物的排放以及通气管喷嘴21的干燥，则真空腔室盖720通过前进后退气缸740的驱动向一侧移动，以开放形成于真空腔室主体710的开口部，之后真空腔室盖720通过升降气缸730的驱动上升移动，从而处于foup主体20及foup盖30可从真空腔室700搬出的状态。

在所述真空腔室700完成通气管喷嘴21的干燥的foup主体20及foup盖30被机器人500搬送至所述等待部300。在这种情况下，若处于在所述等待部300布置有其他foup的情况，则所述机器人500可以将foup主体20及foup盖30搬送至缓冲部800，从而进行临时保管。

之后，若先处于所述等待部300的foup主体20及foup盖30通过装载及卸载部200卸载，则将在所述缓冲部800临时保管的foup盖30及foup主体20依次搬送至等待部300的待机板310上，进而以foup主体20可锁定于foup盖30上的状态安置。

之后，通过配备于所述等待部300的锁定及解锁单元锁定锁定器，从而使foup主体20与foup盖30结合为一体。

通过所述锁定器的锁定，结合foup主体20与foup盖30的foup10被机器人500转换方向，使得以foup盖30朝向一侧的方式平放，之后再次安置在待机板310上。并且，若配备于等待部300的升降气缸320上升，并将foup10提升至待机板310的上侧，则升降气缸320以及被其支撑的foup10通过移送单元400的驱动被移送至装载及卸载部200的支撑板210上侧，被支撑于升降气缸320的foup10通过升降气缸320的下降移动传递到支撑板210上后被卸载。

以下，参照图11，对本发明的foup清洁方法进行说明，省略针对与上述foup清洁装置的作用说明重复的内容的详细说明。

首先，将foup10装载于装载及卸载部200(s1)。

若foup10装载于所述装载及卸载部200，则通过移送单元400将foup10移送至等待部300(s2)。被移送至所述等待部300的foup10的姿势被机器人500转换为foup盖30朝向下方，进而安置于待机板310上，并且foup主体20及foup盖30的锁定器被锁定及解锁结构解除锁定。

接下来，foup主体20及foup盖30被机器人500依次移送至清洁腔室600(s3)。在这种情况下，清洁腔室600中，清洁腔室盖620以通过升降驱动部631的向上驱动而以移动至清洁腔室主体610的上侧的状态等待，并且与清洁腔室盖620连接的升降部634借助支撑部633在清洁腔室主体610的上部的能够接收foup主体20的位置待机。

所述foup盖30被foup盖支撑部621及夹具622在清洁腔室盖620内支撑并固定。所述foup主体20被安置于升降部634上，且清洁腔室盖620通过升降驱动部631的下降驱动而下降移动，进而将清洁腔室主体610的上部封闭，在此过程中，被支撑于升降部634上的foup主体20被传递至位于清洁腔室主体610内的下部的安置部611上而被安置。

若清洁腔室600被封闭，则执行foup主体20及foup盖30的清洁步骤(s4)。在对所述foup主体20及foup盖30进行清洁的步骤中，可以在所述蒸汽中混合压缩干燥空气，进而提供至清洁腔室600内。

作为一实施例，可以向所述foup主体20的外侧面及foup盖30供应热去离子水，并向所述foup主体20的内侧面供应蒸汽，在这种情况下，可以在所述热去离子水及所述蒸汽中混合压缩干燥空气而提供。

作为另一实施例，可以选择性地向所述foup主体20的外侧面、foup盖30及foup主体20的内侧面供应热去离子水及蒸汽，在这种情况下，也可以在所述热去离子水及所述蒸汽中混合压缩干燥空气而提供。

若完成将所述foup主体20及foup盖30清洁的步骤，则执行向所述foup主体20及foup盖30喷射压缩干燥空气以对foup主体20及foup盖30进行干燥的步骤(s5)。在此步骤中，为了提高foup主体20及foup盖30的干燥效率，可以向foup主体20及foup盖3照射紫外线。

在对所述foup主体20及foup盖30进行清洁及干燥的步骤中，foup主体20及foup盖30可以通过马达670、623的驱动旋转，进而均匀地进行清洁及干燥。

若完成通过供应所述压缩干燥空气进行的foup主体20及foup盖30的干燥，则执行向配备于所述foup主体20内的通气管喷嘴21内注入压缩干燥空气以对所述通气管喷嘴21进行干燥的步骤(s6)。

若完成通过所述压缩干燥空气进行的通气管喷嘴21的干燥，则通过升降驱动部631的上升驱动开放清洁腔室600，且foup主体20借助于升降部634的上升移动位于清洁腔室600内的上部，从而处于能够将foup主体20及foup盖30搬出至清洁腔室600外部的状态。

接下来，通过机器人500将foup主体20及foup盖30移送至真空腔室700(s7)。在所述foup主体20及foup盖30被收纳在真空腔室主体710内部的上下相隔的位置的状态下，向真空腔室主体710的内部供应氮气，同时通过真空吸入将残留于真空腔室主体710内部的包含水分的异物排出至外部。

与此同时，执行向所述通气管喷嘴21内注入氮气以对所述通气管喷嘴21进行再次干燥的步骤(s8)。

若完成通过所述氮气进行的通气管喷嘴21的干燥，则通过机器人500将所述foup主体20及foup盖30移送至缓冲部800而进行临时保管，然后依次执行依次经过所述等待部300和装载及卸载部200而卸载foup10的步骤(s9、s10、s11)。在这种情况下，若在所述等待部300不存在先到的foup而空闲，则所述foup主体20及foup盖30可以不经过缓冲部800而移送至等待部300后通过装载及卸载部200卸载。

同上所述，本发明并不局限于上述实施例，在不脱离权利要求书中请求保护的本发明的技术思想的情况下，本发明所属的技术领域中具备基本知识的人员可实现显而易见的变形实施，这些变形实施属于本发明的范围内。