华夫孔自动清洗装置的制作方法

本申请涉及集成电路厂房领域，特别是涉及一种华夫孔自动清洗装置。

背景技术：

目前世界范围内，各超大规模的集成电路产业不断发展，对洁净厂房的净化级别要求不断提高，为满足厂房洁净等级要求及温湿度要求，现阶段的洁净厂房一般采用华夫板，利用华夫板及回风夹道的循环且通过空调送排风系统来控制洁净厂房级别在需求范围内。华夫板上有大量定型排列的华夫孔(frp)，可提供厂房核心区域(二层)与辅助层(一层)的管路联络以及作为洁净空调的通风道，将上层区域的颗粒物通过风机过滤机组(ffu，fanfilterunits)华夫桶排到辅助层。

洁净厂房建设初步建设完成后，需要对华夫孔进行清洁，使厂房洁净度达标，避免华夫孔中的施工残留颗粒影响产品良率。目前清洁方式为人员手动对华夫孔一个接一个进行清洁。由于华夫孔排布密集，数量众多，人员清洗费时费力，且孔洞深度深，人员手动清洗时有坠落的安全风险。

因此，现有的华夫板清洗技术中，还存在着华夫孔排布密集，数量众多，人力清洗难以及不安全等问题，急需改进。

技术实现要素：

本申请涉及一种华夫孔自动清洗装置，用于解决现有技术中存在的华夫孔排布密集，数量众多，人力清洗难以及不安全等问题。

为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：

本申请提供的一种华夫孔自动清洗装置，包括：控制系统、清洗刷以及清洗桶；其中，

所述控制系统还包括一根主轴，所述控制系统通过主轴与所述清洗刷相连，用于控制所述清洗刷的运动；

所述清洗刷设置在所述主轴上，所述控制系统的下方；

所述清洗桶内盛装清洗液，所述清洗桶由所述控制系统控制。

根据本申请提供的一优选实施例，所述控制系统可控制所述清洗刷沿x轴平移、y轴平移以及y轴旋转运动。

根据本申请提供的一优选实施例，所述控制系统内还包括：电机、信号输入单元、信号处理单元以及信号输出单元。

根据本申请提供的一优选实施例，所述清洗桶包括：桶身、桶盖、滚轮以及红外感应器。

根据本申请提供的一优选实施例，所述滚轮的数量至少为3个。

根据本申请提供的一优选实施例，所述滚轮可滑动或是旋转运动。

根据本申请提供的一优选实施例，所述桶盖与所述桶身之间通过转轴连接。

根据本申请提供的一优选实施例，所述转轴连接为水平转轴连接或是竖直转轴连接。

根据本申请提供的一优选实施例，所述清洗刷与所述主轴可拆卸连接。

根据本申请提供的一优选实施例，所述清洗刷的宽度等于所述华夫孔的宽度，小于所述清洗桶的宽度；所述清洗刷的高度大于所述华夫孔的高度，小于所述清洗桶的高度。

有益效果：与现有技术相比，本申请提供的一种华夫孔自动清洗装置，包括控制系统、清洗刷以及清洗桶，所述清洗刷通过一根主轴与所述控制系统相连，由所述控制系统控制所述清洗刷上、下、左、右移动以及绕y轴旋转运动，以进行清洗，同时，所述清洗桶上装有滚轮，所述清洗桶在所述控制系统的控制下进行运动，对华夫孔进行自动清洗，极大程度的改善了人力清洗华夫孔难以及不安全等的现状。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的华夫孔自动清洗装置的结构示意图。

图2为本申请实施例提供的华夫孔自动清洗装置控制系统的内部结构示意图。

图3a为本申请实施例提供的华夫孔自动清洗装置中的清洗桶的第一结构示意图。

图3b为本申请实施例提供的华夫孔自动清洗装置中的清洗桶的第二结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

本申请提供一种华夫孔自动清洗装置，具体参阅图1-3b。

参阅图1，为本申请实施例提供的一种华夫孔自动清洗装置100。包括：控制系统1，主轴11，清洗刷2，连接装置21，清洗桶3，桶盖31，桶身32，滚轮33，转轴34以及红外感应器35，华夫孔4。

参阅图2，为本申请实施例提供的华夫孔自动清洗装置控制系统的内部结构图200。控制系统1内包括：主轴11，信号输入单元12，信号处理单元13，信号输出单元14以及电机15。

本申请提供的一种华夫孔自动清洗装置，包括：控制系统1、清洗刷2以及清洗桶3；其中，

所述控制系统1还包括一根主轴11，所述控制系统1通过主轴11与所述清洗刷2相连，用于控制所述清洗刷2的运动；

所述清洗刷2设置在所述主轴11上，所述控制系统1的下方；

所述清洗桶3内盛装清洗液，所述清洗桶3由所述控制系统1控制。

根据本申请提供的一优选实施例，所述控制系统1可通过主轴11控制所述清洗刷2沿x轴平移、y轴平移以及y轴旋转运动。

根据本申请提供的一优选实施例，所述控制系统内还包括：电机15、信号输入单元12、信号处理单元13以及信号输出单元14。

根据本申请提供的一优选实施例，所述清洗桶3包括：桶身32、桶盖31、滚轮33以及红外感应器35。所述红外感应器35与所述控制系统1中的所述信号输出单元14通过无线连接，由所述控制系统1中的信号输出单元14控制所述红外感应器35的开启或关闭，即由所述控制系统1控制所述清洗桶3的运动与静止。

根据本申请提供的一优选实施例，所述滚轮的数量至少为3个。考虑到所述清洗桶的承重量以及稳定性的因素，所述滚轮的数量必须大于或等于3，可以为三个、四个或是五个等多种情况。

根据本申请提供的一优选实施例，所述滚轮可滑动或是旋转运动。所述滚轮可沿x轴滑动、y轴滑动以及y轴旋转运动。在清洗华夫孔的过程中，所述清洗桶3根据所述控制系统1中的信号输出单元14发出的信号驱动所述红外感应器35进行动作，进而推动所述滚轮33跟随所述清洗刷2进行清洗。

根据本申请提供的一优选实施例，所述桶盖31与所述桶身32之间通过转轴34连接。

根据本申请提供的一优选实施例，所述转轴34连接为水平转轴连接或是竖直转轴连接。具体详见图3a和图3b。

根据本申请提供的一优选实施例，所述清洗刷2与所述主轴11通过连接装置21可拆卸连接，便于所述清洗刷2的清洗和更换。

根据本申请提供的一优选实施例，所述清洗刷2的宽度等于所述华夫孔4的宽度，小于所述清洗桶3的宽度；所述清洗刷2的高度大于所述华夫孔4的高度，小于所述清洗桶3的高度。

根据本申请提供的一优选实施例，所述清洗刷2的材料可以采用无尘棉、尼农刷丝、剑麻刷丝、聚乙烯刷丝或是聚丙烯刷丝。

根据本申请提供的一优选实施例，所述清洗桶3中盛装的清洗液为无水酒精。

其工作原理为：当需要开始清洗华夫孔时，操作工人在所述控制系统1的信号输入单元12中输入开始信号，信号输入单元12将工作信号传递给信号处理单元13，信号处理单元13接收到清洗信号后，将该信号传递给信号输出单元14，信号输出单元14控制电机15开启，主轴11随着电机15的转动开始带动清洗刷开始工作；当需要停止清洗华夫孔时，操作工人在所述控制系统1的信号输入单元12中输入停止信号，信号输入单元12将停止工作信号传递给信号处理单元13，信号处理单元13接收到停止工作信号后，将该信号传递给信号输出单元14，信号输出单元14控制电机15停止工作，主轴11随着电机15的停止也随之停止转动；当需要控制清洗桶移动时，操作工人在所述控制系统1的信号输入单元12中输入行走命令，信号输入单元12将行走命令的信号传递给信号处理单元13，信号处理单元13接收到行走命令信号后，将该信号传递给信号输出单元14，信号输出单元14控制红外感应器35，红外感应器35开始驱动所述清洗桶3开始移动。

信号输入单元12的作用主要是接受信号，将需要动作的命令信息写入进所述控制系统1中。信号处理单元13的主要作用是识别所接收到的命令信息并转换成可输出的信号信息。信号输出单元14的主要作用是读取信号处理单元13传递过来的信息，并分配给电机15或是红外感应器35进行动作。

与现有技术相比，本申请提供的一种华夫孔自动清洗装置，包括控制系统1、清洗刷2以及清洗桶3，可以全程自动清洗华夫孔并控制所述清洗桶3随之一起移动，完全实现对华夫孔的自动清洗，极大程度的改善了人力清洗华夫孔难以及不安全等的现状。

以上对本申请实施例所提供的一种华夫孔自动清洗装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。