一种硅晶棒切片后清洗系统的制作方法

文档序号:19070692发布日期:2019-11-08 20:24阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种硅晶棒切片后清洗系统,其结构包括清洗顶盖、喷淋头、伸缩杆、清洗机体、置片装置,清洗机体顶面四个角部位上均通过伸缩杆与清洗顶盖连接,清洗顶盖的底面均布有喷淋头,喷淋头正下方设有置片装置,与现有技术相比,本发明的有益效果在于:基于弹簧具有伸缩性,弹簧圈与弹簧圈等距增大或缩小,从而能够适用于不同厚度的硅片,适用范围广,放置时能够避免硅片插入时与夹板壁接触摩擦,防止硅片受损,使得硅片的质量不受影响,另外夹紧颗粒的形成呈半球体结构设置能够减小与硅片的接触面积,使得硅片能较大面积被清洗,在硅片清洗完毕后,硅片可全部倒出,无须一片一片取下,工作量小,省时省力。

技术研发人员:欧金森
受保护的技术使用者:欧金森
技术研发日:2019.07.04
技术公布日:2019.11.08
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