一种多工位夹具与配套的清洗托架的制作方法

文档序号:19403574发布日期:2019-12-13 19:44阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开一种多工位夹具与配套的清洗托架,其包括:上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架、下护板、磁铁片和锁紧件,上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板分别设置有位置相对的通孔,通孔包括固定孔、用于卡住晶片上的晶片罩孔、安装磁铁片的磁铁孔和用于卡住磁铁片的磁铁罩孔,上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板重叠形成五层层叠的结构,五层结构利用锁紧件进行锁紧;该托架采用多工位方形夹具清洗晶片,对比之前使用的单片装的三角形夹具,同时清洗数量得到极大的提升,清洗效率同比提高50.6%,实现了清洗数量和效率的大幅度提升。

技术研发人员:刘青彦;黄建友;杨清明;唐浚淇
受保护的技术使用者:成都晶宝时频技术股份有限公司
技术研发日:2019.04.18
技术公布日:2019.12.13

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