插片机用水系统的制作方法

本实用新型涉及插片机领域，特别是涉及一种插片机用水系统。

背景技术：

插片机用以在硅片清洗前将硅片装入清洗花篮中。在此过程中，一般通过侧喷通道对准硅片的两侧进行喷水，以使得硅片在水的作用下与相邻的硅片分离，进而避免在插片过程中出现双片或连片的现象。

然而,在插片机运行过程中，侧喷通道的侧喷口处容易堵塞。此时需使得插片机停止工作，以对侧喷通道的侧喷口进行清理，影响插片机的插片效率。

技术实现要素：

基于此，有必要针对提供一种可以有效避免侧喷通道的侧喷口堵塞的插片机用水系统。

一种插片机用水系统，包括：

缓存水箱；

自来水供水通道，可为所述缓存水箱供水；

插片水槽；

侧喷通道；具有侧喷口，所述侧喷口位于所述插片水槽内；

水泵，用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道；

排污通道，用以排出所述插片水槽内的污水；以及

自来水稀释通道，用以输送水至所述插片水槽内。

上述插片机用水系统，通过设置自来水稀释通道输送水至插片水槽内，降低插片水槽内的污水浓度，缓解污水内的脏污对侧喷通道的侧喷口的堵塞，进而减少对侧喷通道的侧喷口进行清理的时间，提高插片机的插片效率。

在其中一个实施例中，还包括：

第一浓度监测装置，用以监测所述插片水槽内的污水浓度；

第一电磁阀，设于所述自来水稀释通道上；以及

控制系统，可接收所述第一浓度监测装置的监测信息并判断所述插片水槽内的污水是否需要稀释；所述控制系统在判断所述插片水槽内的污水需要稀释时，控制所述第一电磁阀打开；所述控制系统在判断所述插片水槽内的污水不需要稀释时，控制所述第一电磁阀关闭。

在其中一个实施例中，所述第一浓度监测装置为水质检测器或浓度检测器。

在其中一个实施例中，还包括：

第一水净化装置，用以净化所述插片水槽内的污水；

第一水净化通道，用以将所述插片水槽内的污水输送至所述第一水净化装置；以及

第一净化水输送通道，用以将所述第一水净化装置净化的水输送至所述插片水槽。

在其中一个实施例中，还包括：

第二水净化装置，用以净化所述插片水槽内的污水；

第二水净化通道，用以将所述插片水槽内的污水输送至所述第二水净化装置；以及

第二净化水输送通道，用以将所述第二水净化装置净化的水输送至所述缓存水箱。

在其中一个实施例中，还包括：

第二电磁阀，设于所述第二水净化通道上；

第三电磁阀，设于所述排污通道上；

第二浓度监测装置，用以监测所述插片水槽内的污水浓度；以及

控制系统，可接收所述第二浓度监测装置的监测结果并判断所述插片水槽内的污水浓度是否达到预设值；所述控制系统可在判断所述插片水槽内的污水浓度大于预设值时，控制所述第二电磁阀关闭，并控制所述第三电磁阀打开；所述控制系统可在判断所述插片水槽内的污水浓度小于预设值时，控制所述第二电磁阀打开，并控制所述第三电磁阀关闭。

在其中一个实施例中，还包括：

水位监测装置，用以监测所述缓存水箱内的水位；所述水位监测装置包括低水位监测装置和高水位监测装置；以及

第四电磁阀，设于所述自来水供水通道上；

所述低水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位低于低水位预设值时，发送信号给所述第四电磁阀，以使所述第四电磁阀打开；

所述高水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位高于高水位预设值时，发送信号给所述第四电磁阀，以使所述第四电磁阀闭合。

在其中一个实施例中，所述水位监测装置与所述第四电磁阀之间通过中间继电器电连接。

在其中一个实施例中，所述缓存水箱的容量大于150升。

在其中一个实施例中，所述自来水稀释通道与所述自来水供水通道连通。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的插片机用水系统的结构示意图。

图2为为图1中水位监测装置、第一电磁阀和中间继电器所在电路的电路图。

图3为本实用新型另一实施例提供的插片机用水系统的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1和图2所示，本实用新型一实施例提供的插片机用水系统100，其包括缓存水箱110、可为缓存水箱110供水的自来水供水通道120、侧喷通道130、用以将缓存水箱110中的水泵入侧喷通道130的水泵140、插片水槽150、用以排出插片水槽150内的污水的排污通道160以及用以输送水至插片水槽150内自来水稀释通道170。插片机的分片操作在插片水槽150内完成。侧喷通道130具有侧喷口131，侧喷口131位于插片水槽150内，使得经侧喷通道130的侧喷口131喷出的液体用以分离相邻的硅片后落入插片水槽150内，避免在插片过程中出现双片或连片的现象。一般地，插片机的插片操作也在插片水槽150内完成。

插片机用水系统100通过设置自来水稀释通道170输送水至插片水槽150内，降低插片水槽150内的污水浓度，缓解污水内的脏污对侧喷通道130的侧喷口的堵塞，进而减少停机以对侧喷通道130的侧喷口进行清理的次数，提高插片机的插片效率。

减少对侧喷通道130的侧喷口进行清理的次数，减少操作人员清理侧喷口的时间，节省人力。

通过自来水稀释通道170对插片水槽150内的污水进行稀释，可以在进行分片或插片时，使得硅片上的脏污更多的落入插片水槽150内，从而便于后续对硅片的清洗。

另外，传统的插片机用水系统中，插片水槽内的污水溢流至缓存水箱内，即实现水资源在缓存水箱和插片水槽之间循环使用。当存在脏污的水再通过水泵从缓存水箱泵入侧喷通道中后，污水从侧喷通道的侧喷口喷出时也容易堵塞侧喷口。而本实施例中，通过自来水供水通道120为缓存水箱110提供的水为自来水，从而利用水泵140从缓存水箱110内的水泵入侧喷通道130内的水也为自来水，无杂质，从而不会堵塞侧喷通道130的侧喷口。

另外，传统地，通过水泵从缓存水箱泵入侧喷通道中的水为污水，故污水在流经侧喷通道的任何位置时，都可能堵塞侧喷通道，从而影响侧喷通道的侧喷口喷出的侧喷水柱的水压，进而影响相邻硅片的分离。而本案中，通过自来水供水通道120为缓存水箱110提供的水为自来水，故不易堵塞侧喷通道130，从而保证侧喷通道130的侧喷口喷出的水的水压稳定，以更好的分离相邻的硅片。

另外，通过侧喷通道130喷出的水也为自来水，从而避免了传统的污水中的脏污经侧喷通道喷出而损伤硅片的现象。

本实施例中，插片机用水系统100还包括用以监测插片水槽150内的污水浓度的第一浓度监测装置151、设于自来水稀释通道170上的第一电磁阀171以及控制系统。

具体地，控制系统可接收第一浓度监测装置151的监测信息并判断插片水槽150内的污水是否需要稀释。控制系统在判断插片水槽150内的污水需要稀释时，控制第一电磁阀171打开。控制系统在判断插片水槽150内的污水不需要稀释时，控制第一电磁阀171关闭。

具体地，可以理解的是，根据多次试验等方式确定可能会堵塞侧喷通道130的污水浓度的阈值作为预设值，并将预设值通过按键、触摸屏、编程等方式进行设定，从而在控制系统判断插片水槽150内的污水是否需要稀释时，控制系统判断其接收到第一浓度监测装置151的监测信息是否大于污水浓度的预设值。

本实施例中，通过第一浓度监测装置151、第一电磁阀171和控制系统实现自动控制自来水稀释通道170是否为插片水槽150供水，节省人力物力。

另外，当插片水槽150内的污水的浓度低于预设值时，关闭第一电磁阀171，避免了水资源的浪费。当插片水槽150内的污水浓度高于预设值时，打开第一电磁阀171，从而能即使稀释插片水槽150内的污水浓度。

具体地，第一浓度监测装置151可以为水质检测器或浓度检测器。当然，在另外可行的实施例中，第一浓度监测装置还可以其他可以检测污水浓度的装置。

本实施例中，还包括用以净化插片水槽150内的污水的第一水净化装置180、用以将插片水槽150内的污水输送至第一水净化装置180的水净化通道181以及用以将第一水净化装置180净化的水输送至插片水槽150内的第一净化水输送通道182。

即通过第一水净化装置180对插片水槽150内的污水进行净化，以用来稀释插片水槽150内的污水，实现插片水槽150内的污水再利用，减少资源浪费。

在其中一个实施例中，插片机用水系统100还包括用以监测缓存水箱110内的水位的水位监测装置190以及设于自来水供水通道120上的第四电磁阀121

具体地，水位监测装置190包括低水位监测装置191和高水位监测装置193。

可以理解的是，低水位监测装置191用以监测缓存水箱110内的水位是否低于低水位预设值。高水位监测装置193用以监测缓存水箱110内的水位是否高于高水位预设值。

低水位监测装置191可在监测到缓存水箱110内的水位低于低水位预设值时，发送信号给第四电磁阀121，以使第四电磁阀121打开，以为缓存水箱110供水，以能够保证侧喷水压的需求。高水位监测装置193可在监测到缓存水箱110内的水位高于高水位预设值时，发送信号给第四电磁阀121，以使第四电磁阀121闭合，以暂停为缓存水箱110供水，以避免缓存水箱出现溢流现象。从而实现缓存水箱110内的水位的自动调节。另外，实现缓存水箱110内的水位的自动调节，还可以节省人力。

另外，实现缓存水箱110内的水位的自动调节，可以实现对缓存水箱110内的水位的快速准确的调节，避免人为因素导致的缓存水箱110内水位过高或过低的现象。

本实施例中，水位监测装置190与第四电磁阀121之间通过中间继电器ka电连接。具体地，水位监测装置190、第四电磁阀121和中间继电器ka的连接电路图如图2所示。

本实施例中，低水位监测装置191为浮球液位计，高水位监测装置193为浮球液位计。当然，在另外可行的实施例中，低水位检测装置和高水位检测装置均不限于浮球液位计，还可以是其它任何可以检测水位的检测装置，如探针式水位传感器等，能实时监测缓存水箱110内的水位即可。

自来水供水通道120上还设有手动开关123。插片机用水系统100在工作过程中，手动开关123始终处于打开状态，以方便通过控制第四电磁阀121即可控制自来水供水通道120是否能为缓存水箱110供水。

当然，在插片机用水系统100停止工作时，可关闭手动开关123，以确保自来水供水通道120不能为缓存水箱110供水。

本实施例中，插片机用水系统100仅包括一个自来水供水通道120。可以理解的是，在另外可行的实施例中，若侧喷所需用水较多或单个自来水供水通道的供水速度较小，则可根据单个自来水供水通道的供水速度和侧喷所需用水的速度，设置至少两个自来水供水通道，以满足侧喷需求，避免不能够满足侧喷水压需求的现象。

亦或者，在另外可行的实施例中，若插片机用水系统同时供两个或多于两个的插片工位的用水，则根据插片工位的个数，也可以设置多个自来水供水通道，以满足多个插片工位的用水需求。

可选地，缓存水箱110的容量大于150升。

可以理解的是，缓存水箱110的容量越大，则缓存水箱110的高水位预设值和低水位预设值间的水容量也就越大，从而可以将更多的水源缓存在缓存水箱110内，即当缓存水箱110内的水位达到高水位预设值后，可供侧喷使用较长的时间。同样的，当缓存水箱110内的水位达到低水位预设值后，也需要较长的时间才能将缓存水箱110内的水位提升至高水位预设值。故，缓存水箱110的容量越大，缓存水箱110的供水状态和非供水状态的切换次数变小。

具体到本实施例中，缓存水箱110的供水状态和非供水状态的切换次数变小，即使得第四电磁阀121在打开状态和闭合状态的切换次数变小，以避免第四电磁阀121因在打开状态和闭合状态间切换次数较多而损坏，从而提高第四电磁阀121的使用寿命。

具体地，缓存水箱110的容量可以是150升、160升、170升、180升、190升、200升、210升、220升、230升、240升、250升或260升等。

本实施例中，自来水稀释通道170与自来水供水通道120连通。故自来水稀释通道170与自来水供水通道120可以共用一个自来水端口。

当然，在另外可行的实施例中，自来水稀释通道和自来水供水通道也可以不连通。

如图3所示，本实用新型另一实施例提供的插片机用水系统200，其与插片机用水系统你100不同的是，插片机用水系统200还包括用以净化插片水槽250内的污水的第二水净化装置283、用以将插片水槽250内的污水输送至第二水净化装置283的第二水净化通道284以及用以将第二水净化装置283净化的水输送至缓存水箱210的净化水输送通道285。

可以理解的是，当插片水槽250内的污水经过第二水净化装置283净化后，满足侧喷需求，则可以通过第二水净化装置283将插片水槽250内的污水净化后再利用。而当插片水槽250内的污水经过第二水净化装置283净化后，仍然不能满则侧喷的需求，则需将插片水槽250内的污水直接通过排污通道260直接排出。

当然，可以理解的是，即使是经排污通道260排出的污水也需经过处理达到排放标准后再排放，避免对环境的污染。

当然，如经排污通道260排出的污水经过处理后满足其它工序的需求，也可以将由排污通道260排出的污水处理后用作其它工序，节约水源。

进一步地，本实施例中，插片机用水系统200还包括：本实施例中，插片机用水系统100还包括设于第二水净化通道284上的第二电磁阀286、设于排污通道260上的第三电磁阀287、用以监测插片水槽250内的污水浓度的第二浓度监测装置288以及控制系统。

其中，控制系统可接收第二浓度监测装置288的监测结果并判断插片水槽250内的污水浓度是否达到预设值。控制系统可在判断插片水槽250内的污水浓度大于预设值时，控制第二电磁阀286关闭，并控制第三电磁阀287打开，以通过排污通道260将污水排出。控制系统可在判断插片水槽250内的污水浓度小于预设值时，控制第二电磁阀286打开，并控制第三电磁阀287关闭，以利用第二水净化装置283对插片水槽250内的污水进行净化，以达到再利用的目的。

换言之，通过第二浓度监测装置288、第二电磁阀286、第三电磁阀287和控制系统，可实现插片水槽250内污水的自动化处理。

可选地，第二浓度监测装置288可以是水质检测器或浓度传感器等任何可以检测水浓度的器件。

当然，在另外可行的实施例中，不限于通过上述方式实现插片水槽内污水的自动化处理。

例如，在一个可行的实施例中，第二浓度监测装置可在监测到插片水槽内的污水的浓度达到预设值时，持续或间断式发送信号给控制系统，控制系统控制第二电磁阀关闭，并控制第三电磁阀打开。若第二浓度监测装置在监测到插片水槽内的污水的浓度未达到预设值时，则不发送信号给控制系统，控制系统控制第二电磁阀打开，并控制第三电磁阀关闭。

再如，在另外可行的实施例中，第二浓度监测装置可以根据监测到的插片水槽内的浓度是否达到预设值，直接发送信号给第二电磁阀或第三电磁阀，以使得相应的电磁阀打开。具体地，设置当第二浓度监测装置未发送信号给第二电磁阀和第三电磁阀时，第二电磁阀和第三电磁阀均处于关闭状态。当第二浓度监测装置监测到插片水槽内的污水浓度大于预设值时，发送信号给第三电磁阀，以使得第三电磁阀处于打开状态。当第二浓度监测装置监测到插片水槽内的污水浓度小于预设值时，发送信号给第二电磁阀，以使得第二电磁阀处于打开状态。

可以理解的是，在另外可行的实施例中，也可以同时存在第一水净化装置和第二水净化装置。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。