插片机用水系统的制作方法

本实用新型涉及插片机领域，特别是涉及一种插片机用水系统。

背景技术：

插片机用以在硅片清洗前将硅片装入清洗花篮中。在此过程中，一般通过侧喷水柱对准硅片的两侧面进行喷水，以使得硅片在水的作用下与相邻的硅片分离，进而避免在插片过程中出现双片或连片的现象。

传统地，为了避免自来水水源供水不足，而设置一个缓存水箱。即将自来水水源注入缓存水箱内，再通过水泵将水箱内的水泵入侧喷通道内。然而，传统的插片机在运行过程中，容易存在缓存水箱内的水溢流的现象，造成水源的浪费。

技术实现要素：

基于此，有必要提供一种避免因水溢流而造成水源浪费的插片机用水系统。

一种插片机用水系统，包括：

缓存水箱；

供水通道，可为所述缓存水箱供水；

第一开关，设于所述供水通道上；

侧喷通道；

水泵，用以将所述缓存水箱中的水泵入所述侧喷通道；以及

水位监测装置，用以监测所述缓存水箱内的水位。

上述插片机用水系统，可以根据水位监测装置的监测结果判断缓存水箱内的水量是否充足，若不充足，则打开第一开关，以为缓存水箱供水；若充足，则关闭第一开关，以避免缓存水箱出现水溢流现象，进而避免水源浪费。

在其中一个实施例中，所述水位监测装置包括低水位监测装置和高水位监测装置。

在其中一个实施例中，所述第一开关包括第一电磁阀；

所述低水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位低于低水位预设值时，发送信号给所述第一电磁阀，以使所述第一电磁阀打开；

所述高水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位高于高水位预设值时，发送信号给所述第一电磁阀，以使所述第一电磁阀闭合。

在其中一个实施例中，所述水位监测装置与所述第一电磁阀之间通过中间继电器电连接。

在其中一个实施例中，所述低水位监测装置为浮球液位计，且/或所述高水位监测装置为浮球液位计。

在其中一个实施例中，还包括第一警报装置和第二警报装置；

所述低水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位低于低水位预设值时，发送信号给所述第一警报装置，以使所述第一警报装置发出警报；

所述高水位监测装置可在监测到所述缓存水箱内的水位高于高水位预设值时，发送信号给所述第二警报装置，以使所述第二警报装置发出警报。

在其中一个实施例中，所述缓存水箱的容量大于150升。

在其中一个实施例中，还包括：

插片水槽，所述侧喷通道的侧喷口位于所述插片水槽内；

排污通道，用以排出所述插片水槽内的污水；

水净化装置，用以净化所述插片水槽内的污水；

水净化通道，用以将所述插片水槽内的污水输送至所述水净化装置；以及净化水输送通道，用以将所述水净化装置净化的水输送至所述缓存水箱。

在其中一个实施例中，还包括：

第二电磁阀，设于所述水净化通道上；

第三电磁阀，设于所述排污通道上；

第一浓度监测装置，用以监测所述插片水槽内的污水浓度；以及

控制系统，可接收所述第一浓度监测装置的监测结果并判断所述插片水槽内的污水浓度是否达到预设值；所述控制系统可在判断所述插片水槽内的污水浓度大于预设值时，控制所述第二电磁阀关闭，并控制所述第三电磁阀打开；所述控制系统可在判断所述插片水槽内的污水浓度小于预设值时，控制所述第二电磁阀打开，并控制所述第三电磁阀关闭。

在其中一个实施例中，还包括：

稀释管道，与所述供水通道连通，以输送水至所述插片水槽内。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的插片机用水系统的结构示意图。

图2为为图1中水位监测装置、第一电磁阀和中间继电器所在电路的电路图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，本实用新型一实施例提供的插片机用水系统100，包括缓存水箱110、可为缓存水箱110供水的供水通道120、设于供水通道120上的第一开关130、侧喷通道140、用以将缓存水箱110中的水泵入侧喷通道140的水泵150以及用以监测缓存水箱110内的水位的水位监测装置160。

插片机用水系统100，可以根据水位监测装置160的监测结果判断缓存水箱110内的水量是否充足，若不充足，则打开第一开关130，以增加缓存水箱110内的水量；若充足，则关闭第一开关130，以避免缓存水箱110出现水溢流现象，进而避免水源浪费。

另外，可以理解的是，在水位监测装置160监测到缓存水箱110内的水量不充足时，及时补充，可以保证侧喷所需水量，进而满足侧喷水压的需求。

可以理解的是，判断缓存水箱110内的水量是否充足的阈值，必然是高于恰好能够满足侧喷水压的水位，以为缓存水箱110补充水预留足够的反应时间。

具体地，本实施例中，水位监测装置160包括低水位监测装置161和高水位监测装置163。

可以理解的是，低水位监测装置161用以监测缓存水箱110内的水位是否低于低水位预设值。高水位监测装置163用以监测缓存水箱110内的水位是否高于高水位预设值。

从而在低水位监测装置161监测到缓存水箱110内的水位低于低水位预设值时，打开第一开关130，以为缓存水箱110供水，以能够保证侧喷水压的需求。在高水位检测装置163监测到缓存水箱110内的水位高于高水位预设值时，关闭第一开关130，以暂停为缓存水箱供水，以避免缓存水箱出现溢流现象。

进一步地，本实施例中，第一开关130包括第一电磁阀131。低水位监测装置161可在监测到缓存水箱110内的水位低于低水位预设值时，发送信号给第一电磁阀131，以使第一电磁阀131打开。高水位监测装置163可在监测到缓存水箱110内的水位高于高水位预设值时，发送信号给第一电磁阀131，以使第一电磁阀131闭合。从而实现缓存水箱110内的水位的自动调节。

实现缓存水箱110内的水位的自动调节，可以节省人力。

另外，即使当插片机停止插片操作，即侧喷通道140内无需泵入水源，即缓存水箱110内的水不再输出的情况下，控制系统也能在缓存水箱110内的水为达到高水位预设值时控制第一电磁阀131关闭，避免因人为因素而导致水源浪费的问题。

另外，实现缓存水箱110内的水位的自动调节，可以实现对缓存水箱110内的水位的快速准确的调节，避免人为因素导致的缓存水箱110内水位过高或过低的现象。

本实施例中，水位监测装置160与第一电磁阀131之间通过中间继电器ka电连接。具体地，水位监测装置160、第一电磁阀131和中间继电器ka的连接电路图如图2所示。

本实施例中，低水位监测装置161为浮球液位计，高水位监测装置163为浮球液位计。当然，在另外可行的实施例中，低水位检测装置和高水位检测装置均不限于浮球液位计，还可以是其它任何可以检测水位的检测装置，如探针式水位传感器等，能实时监测缓存水箱110内的水位即可。

本实施例中，第一开关130还包括手动开关133。插片机用水系统100在工作过程中，手动开关133始终处于打开状态，以方便通过控制第一电磁阀131即可控制供水通道120是否能为缓存水箱110供水。

当然，在插片机用水系统100停止工作时，可关闭手动开关133，以确保供水通道120不能为缓存水箱110供水。

本实施例中，供水通道120为自来水供水通道。可以理解的是，在另外可行的实施例中，供水通道不限于自来水供水通道，其提供的水源能够满足侧喷需求即可。

本实施例中，插片机用水系统100仅包括一个供水通道120。可以理解的是，在另外可行的实施例中，若侧喷所需用水较多或单个供水通道的供水速度较小，则可根据单个供水通道的供水速度和侧喷所需用水的速度，设置至少两个供水通道，以满足侧喷需求，避免不能够满足侧喷水压需求的现象。

亦或者，在另外可行的实施例中，若插片机用水系统同时供两个或多余两个的插片工位的用水，则根据插片工位的个数，也可以设置多个供水通道，以满足多个插片工位的用水需求。

可选地，缓存水箱110的容量大于150升。

可以理解的是，缓存水箱110的容量越大，则缓存水箱的高水位预设值和低水位预设值间的水容量也就越大，从而可以将更多的水源缓存在缓存水箱110内，即当缓存水箱110内的水位达到高水位预设值后，可供侧喷使用较长的时间。同样的，当缓存水箱110内的水位达到低水位预设值后，也需要较长的时间才能将缓存水箱110内的水位提升至高水位预设值。故，缓存水箱110的容量越大，缓存水箱110的供水状态和非供水状态的切换次数变小。

具体到本实施例中，缓存水箱110的供水状态和非供水状态的切换次数变小，即使得第一电磁阀131在打开状态和闭合状态的切换次数变小，以避免第一电磁阀131因在打开状态和闭合状态间切换次数较多而损坏，从而提高第一电磁阀131的使用寿命。

具体地，缓存水箱110的容量可以是150升、160升、170升、180升、190升、200升、210升、220升、230升、240升、250升或260升等。

本实施例中，插片机用水系统100还包括插片水槽181、用以排出插片水槽181内的污水的排污通道182、用以净化插片水槽181内的污水的水净化装置183、用以将插片水槽181内的污水输送至水净化装置183的水净化通道184以及用以将水净化装置183净化的水输送至缓存水箱110的净化水输送通道185。其中，侧喷通道140的侧喷口位于插片水槽181内。

可以理解的是，插片水槽181内的污水具有两个去向，一个是通过排污通道182直接将水排掉，另一个是通过水净化装置183将插片水槽181内的污水进行净化，从而达到污水再利用的目的，节约水源。

可以理解的是，当插片水槽181内的污水经过水净化装置183净化后，满足侧喷需求，则可以通过水净化装置183将插片水槽内的污水净化后再利用。而当插片水槽181内的污水经过水净化装置183净化后，仍然不能满则侧喷的需求，则需将插片水槽181内的污水直接通过排污通道182直接排出。

当然，可以理解的是，即使是经排污通道182排出的污水也需经过处理达到排放标准后再排放，避免对环境的污染。

当然，如经排污通道182排出的污水经过处理后满足其它工序的需求，也可以将由排污通道182排出的污水处理后用作其它工序，节约水源。

本实施例中，插片机用水系统100还包括设于水净化通道184上的第二电磁阀186、设于排污通道182上的第三电磁阀187、用以监测所述插片水槽内的污水浓度的第一浓度监测装置188以及控制系统。

其中，控制系统可接收第一浓度监测装置188的监测结果并判断插片水槽181内的污水浓度是否达到预设值。控制系统可在判断插片水槽181内的污水浓度大于预设值时，控制第二电磁阀186关闭，并控制第三电磁阀187打开，以通过排污通道182将污水排出。控制系统可在判断插片水槽181内的污水浓度小于预设值时，控制第二电磁阀186打开，并控制第三电磁阀187关闭，以利用水净化装置183对插片水槽181内的污水进行净化，以达到再利用的目的。

换言之，通过第一浓度监测装置188、第二电磁阀186、第三电磁阀187和控制系统，可实现插片水槽181内污水的自动化处理。

可选地，第一浓度监测装置188可以是水质检测器或浓度传感器等任何可以检测水浓度的器件。

当然，在另外可行的实施例中，不限于通过上述方式实现插片水槽内污水的自动化处理。

例如，在一个可行的实施例中，第一浓度监测装置可在监测到插片水槽内的污水的浓度达到预设值时，持续或间断式发送信号给控制系统，控制系统控制第二电磁阀关闭，并控制第三电磁阀打开。若第一浓度监测装置在监测到插片水槽内的污水的浓度未达到预设值时，则不发送信号给控制系统，控制系统控制第二电磁阀打开，并控制第三电磁阀关闭。

再如，在另外可行的实施例中，第一浓度监测装置可以根据监测到的插片水槽内的浓度是否达到预设值，直接发送信号给第二电磁阀或第三电磁阀，以使得相应的电磁阀打开。具体地，设置当第一浓度监测装置未发送信号给第二电磁阀和第三电磁阀时，第二电磁阀和第三电磁阀均处于关闭状态。当第一浓度监测装置监测到插片水槽内的污水浓度大于预设值时，发送信号给第三电磁阀，以使得第三电磁阀处于打开状态。当第一浓度监测装置监测到插片水槽内的污水浓度小于预设值时，发送信号给第二电磁阀，以使得第二电磁阀处于打开状态。

本实施例中，插片机用水系统100还包括稀释管道189。稀释管道189与供水通道120连通，以输送水至插片水槽181内，从而可以稀释插片水槽181内的污水浓度，避免插片水槽181内污水内的脏污堵塞侧喷出水口。

另外，通过稀释管道189对插片水槽181的供水，降低插片水槽181内污水的浓度，还可能使得插片水槽181内的污水可以通过水净化装置183净化再利用，节约水源。

本实施例中，稀释管道189上设有第四电磁阀190，通过控制第四电磁阀190来控制是否稀释插片水槽181内的污水。即在插片水槽181内的污水浓度较低时，控制第四电磁阀190处于闭合状态；在插片水槽181内的污水浓度较高时，控制第四电磁阀190处于打开状态。

进一步的，本实施例中，控制系统根据接收到的第一浓度监测装置188的监测结果判断插片水槽181内的污水浓度是否达到可能堵塞侧喷出水口的预设值，若高于该预设值，则控制系统控制第四电磁阀190处于打开状态；若低于该预设值，则控制系统控制第四电磁阀190处于闭合状态。

当然，在另外可行的实施例中，控制第四电磁阀的状态的方式不限于此。

例如，在一个可行的实施例中，插片机用水系统还包括用以监测插片水槽内的污水浓度的第二浓度检测装置。当第二浓度检测浓度监测到插片水槽内的污水浓度达到可能堵塞侧喷出水口的预设值后，发送信号给第四电磁阀，以使第四电磁阀处于打开状态。当第二浓度监测装置监测到插片水槽内的污水浓度小于可能堵塞侧喷出水口的预设值后，停止发送信号给第四电磁阀，以使第四电磁阀处于闭合状态。

可以理解的是，在另外可行的实施例中，不限于通过自动化调节的方式实现缓存水箱内的水位的自动调节。

例如，在另外可行的实施例中，插片机用水系统还包括第一警报装置和第二警报装置。

低水位监测装置可在监测到缓存水箱内的水位低于低水位预设值时，发送信号给第一警报装置，以使第一警报装置发出警报。操作人员在接收到第一警报装置发出的警报信号后，打开第一开关，以为缓存水箱供水。

高水位监测装置可在监测到缓存水箱内的水位高于高水位预设值时，发送信号给第二警报装置，以使第二警报装置发出警报。操作人员在接收到第二警报装置发出的警报信号后，关闭第一开关，以停止为缓存水箱供水。

另外，即使当插片机停止插片操作，即侧喷通道内无需泵入水源，即缓存水箱内的水不再输出的情况下，也能在缓存水箱内的水位达到高水位预设值时，发送信号给第二警报装置，通过第二警报装置发出的警报提醒操作人员关闭第一开关，以避免水源因溢流而浪费。

可选地，第一警报装置和第二警报装置可以是光警报装置或声音警报装置等。

上述插片机用水系统，可以根据水位监测装置的监测结果判断缓存水箱内的水量是否充足，若不充足，则打开第一开关，以为缓存水箱供水；若充足，则关闭第一开关，以避免缓存水箱出现水溢流现象，进而避免水源浪费。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。