一种超纯水系统的制作方法

本实用新型涉及一种超纯水系统，属于净化水处理技术领域。

背景技术：

超纯水广泛用于电子、医药、生物等行业。超纯水系统是指系统通过自来水制备超纯水供应工艺机台使用的完整的生产系统。一般超纯水系统工艺多是经多重过滤、离子交换、脱气膜、多级反渗透膜、紫外线、超滤、电脱盐、电渗析等步骤生产超纯水。目前超纯水系统的水池设置位置不明确，水池容积无固化的标准，因此可能会导致水池容量安全裕度不够、运行不稳定、异常状况系统恢复较困难、水池维修较困难。

技术实现要素：

针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种超纯水系统，通过储水池体系数量和容积的合理配置，解决传统超纯水系统方案存在的建设灵活性差、系统适应性低、维持水质难度大、投资改造运维成本高的问题，同时可回收利用树脂再生末道冲洗水、反渗透浓水和超纯水回水，节约水资源。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种超纯水系统，包括顺序连接的自来水储水池101、预处理系统2、预处理水储水池201、脱盐处理系统3、脱盐水储水池301、第一精处理系统4、反渗透水储水池401、第二精处理系统5、超纯水罐501、抛光处理系统6和超纯水使用机台10，还包括再生水池15和供水管路；

脱盐处理系统3的树脂再生末道冲洗水出水管12连接再生水池15的入水口，第一精处理系统4的反渗透浓水出水管16连接再生水池15的入水口；再生水池15的出水口通过过滤器反洗水管道13连接预处理系统2的过滤器反洗水入水口，再生水池15的出水口通过树脂塔再生水管道14连接脱盐处理系统3的树脂塔再生水入水口；

超纯水使用机台10的超纯水回水管道11连接超纯水罐501；

自来水储水池101为单格或两格，当为两格时，每格分别设置入水口和出水口，总容积为停留时间不超过2天的运行水量；预处理水储水池201为两格，分别设置入水口和出水口，总容积为停留时间20～60min的运行水量；脱盐水储水池301为两格或三格，分别设置入水口和出水口，总容积为停留时间50～120min的运行水量；反渗透水储水池401设置两格或者三格，分别设置入水口和出水口，总容积为停留时间40～200min的运行水量；超纯水罐501设置2～8座，分别设置入水口和出水口，总容积为停留时间15～30min的运行水量；再生水池15设置一座或两座，总容积为停留时间4～6h的反渗透膜浓水产水量。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述自来水储水池101为两格。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述脱盐水储水池301为两格。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述反渗透水储水池401为两格。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述再生水池15为两座。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述预处理系统2由多介质过滤器和活性炭过滤器组成。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述脱盐处理系统3由顺序连接的去阳离子塔、脱碳塔和去阴离子塔组成，或者由顺序连接的去阳离子塔、膜脱气装置和去阴离子塔组成。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述第一精处理系统4由顺序连接的换热器、紫外线仪、保安过滤器和反渗透膜过滤器组成。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述第二精处理系统5由顺序连接的紫外线仪、混床树脂塔、后置过滤器和膜脱气装置组成。

如上所述的超纯水系统，优选地，所述抛光处理系统6由顺序连接的换热器、紫外线仪、抛光树脂塔、膜脱气装置和超滤膜装置组成。

本实用新型的有益效果在于：

1.超纯水系统的相关水池均有两格或三格，当需要清洗水池或吸水母管维修时，可以在不影响系统正常运行进行调整。当系统遇到异常状况或者水质受到污染时，可利用单格水池恢复供水，以缩短系统的恢复时间。系统分期实施时，对于系统调试可以利用单格水池在不影响系统运行情况下进行调试。

2.超纯水系统的相关水池均设计适当的停留时间，如遇到断水情况，有相应的维修时间，保证系统连续运行。

3.设置再生水池可回收利用树脂再生末道冲洗水、反渗透浓水用于过滤器反洗水和树脂塔再生水，并将超纯水回水返回超纯水罐，节约了水资源。

附图说明

图1为实施例1的超纯水系统结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。

实施例1超纯水系统

如图1所示，超纯水系统包括顺序连接的自来水储水池101、预处理系统2、预处理水储水池201、脱盐处理系统3、脱盐水储水池301、第一精处理系统4、反渗透水储水池401、第二精处理系统5、超纯水罐501、抛光处理系统6和超纯水使用机台10，还包括再生水池15和供水管路。

脱盐处理系统3的树脂再生末道冲洗水出水管12连接再生水池15的入水口，第一精处理系统4的反渗透浓水出水管16连接再生水池15的入水口；再生水池15的出水口通过过滤器反洗水管道13连接预处理系统2的过滤器反洗水入水口，再生水池15的出水口通过树脂塔再生水管道14连接脱盐处理系统3的树脂塔再生水入水口。

自来水储水池101为两格，每格分别设置入水口和出水口，主要用途存储市政自来水，在市政断水情况，能够维持一定时间的超纯水系统的正常运转。自来水储水池的总容积为停留时间不超过2天的运行水量。

预处理系统2由多介质过滤器和活性炭过滤器组成。

预处理水储水池201为两格，分别设置入水口和出水口，主要用途储存预处理工序后的处理水，作为超纯水系统的中转水池。预处理水储水池201的总容积为停留时间20～60min的运行水量。

脱盐处理系统3由顺序连接的去阳离子塔、脱碳塔和去阴离子塔组成，或者由顺序连接的去阳离子塔、膜脱气装置和去阴离子塔组成。

脱盐水储水池301为两格，分别设置入水口和出水口，用途为储存脱盐处理工序后处理水，作为超纯水系统的中转水池。脱盐水储水池301的总容积为停留时间50～120min的运行水量。

第一精处理系统4由顺序连接的换热器、紫外线仪、保安过滤器和反渗透膜过滤器组成。

反渗透水储水池401设置两格，分别设置入水口和出水口，用途是储存精处理工序后处理水，作为超纯水系统的中转水池。反渗透水储水池401的总容积为停留时间40～200min的运行水量。

第二精处理系统5为由顺序连接的紫外线仪、混床树脂塔、后置过滤器和膜脱气装置组成。

超纯水罐501采用不锈钢或frp材质，设置2座，分别设置入水口和出水口，用途是储存混床树脂塔+膜脱气处理产水以及储存超纯水回水，作为超纯水系统抛光处理系统的停留水池。超纯水罐501总容积为停留时间15～30min的运行水量。

抛光处理系统6由顺序连接的换热器、紫外线仪、抛光树脂塔、膜脱气装置和超滤膜装置组成。抛光处理后的水为超纯水，抛光处理系统6的出水口通过超纯水供水干管9连接超纯水使用机台10。

再生水池15设置两座，用途是储存相关处理阶系统的可以回用水如：精处理系统的反渗透膜浓水、脱盐处理系统树脂再生末道冲洗水(rinse)，此再生水可供纯水制备过程中的多介质过滤器(mmf)和活性炭过滤器(acf)的反洗用水、树脂塔的再生用水以及中水系统补水等。再生水池15的总容积为停留时间4～6h的反渗透膜浓水出水量。

使用该超纯水系统制备的超纯水电阻率达到≥18.2mω·cm(25℃)，离子浓度(na、k、cu、zn、ca、mg、fe、a1、sr、cr、sn、ni、ba、pb、mn、ti)≤2ppt，出水量达到200m³/h及以上，废水排放量减少约5％。