实现薄膜蒸发废水处理的真空系统及方法与流程

本发明涉及环保技术领域，具体地，涉及一种实现薄膜蒸发废水处理的真空系统和实现薄膜蒸发废水处理的真空方法。

背景技术：

随着环保标准的提高，火力发电厂中的粉尘、nox、so2的排放控制日益严格，越来越多的电厂需要进行超低排放改造或者环保设施升级，对大气污染物进行了严格的控制，取得了很大成就，与此同时，很多电厂也进行了废水的控制和处理，尤其对脱硫废水进行了零排放改造。

相关技术中，脱硫废水处理的主要技术有废水预处理+蒸发浓缩+烟道蒸发、膜浓缩+蒸发结晶以及废水预处理+蒸发浓缩+结晶等。由于存在蒸发过程，需要消耗大量的高品位热能，并且蒸发过程中会造成换热设备内部发生严重的结垢等问题，又由于处理废水的工艺系统复杂，设备投资成本较高，因此导致废水处理成本高昂，难以广泛推广应用。

为此，相关技术中提出了薄膜蒸发技术，该技术是将膜过滤和热力蒸发过程集成为一体化的废水处理技术，可以避免废水处理过程中的结垢、堵塞等问题，并且能够提升废水的浓缩倍率，使得高浓度废水的残留量较小。

为了保证薄膜蒸发工艺的正常运行，需要薄膜的负压侧保持恒定的真空度，真空度越高越有利于提升分离效率，因此需要一个恒定的冷源，例如15-25℃之间的冷源，然而自然环境温度随着季节发生变化，获得恒定的冷源存在困难。为此，相关技术通常配置一套独立的制冷系统，为实现薄膜蒸发废水处理的真空系统提供冷源，但是该方法需要耗费额外的高品质电能，并且配置庞大的管路系统，不利于系统运行和维护。相关技术中提出了采用真空泵抽吸形成真空，利用冷却水对真空泵的工作液进行冷却，但是该方式受到环境温度的限制，工作液温度影响了最低的真空值，尤其是夏季可能无法满足正常运行要求，真空会发生变化。另外，真空泵运行过程中由于水的气化等原因，会发生汽蚀现象，导致叶轮产生疲劳损伤，寿命下降，系统的运行可靠性会降低，且电耗高。

技术实现要素：

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的实施例提出一种实现薄膜蒸发废水处理的真空系统，所述实现薄膜蒸发废水处理的真空系统不需消耗高品质电能，真空度受环境温度影响小，系统运行可靠性高。

本发明的实施例还提出一种实现薄膜蒸发废水处理的真空方法。

根据本发明的第一方面的实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空系统包括：薄膜蒸发器，所述薄膜蒸发器具有废水进口和蒸汽出口；废水供水装置，所述废水供水装置与所述薄膜蒸发器的废水进口相连，用于向所述薄膜蒸发器供给废水；加热器，所述加热器设在所述薄膜蒸发器和所述废水供水装置之间，用于加热从所述废水供水装置向所述薄膜蒸发器供给的废水；凝汽器，所述凝汽器具有蒸汽进口、第一蒸汽抽出口和冷凝水出口，所述蒸汽进口与所述薄膜蒸发器的蒸汽出口相连；第一级蒸汽引射器，所述第一级蒸汽引射器具有第一驱动蒸汽入口、第一引射蒸汽入口和第一混合蒸汽出口，所述第一引射蒸汽入口与所述凝汽器的第一蒸汽抽出口相连；第一级冷凝器，所述第一级冷凝器具有第一混合蒸汽入口和第一冷凝水排出口，所述第一混合蒸汽入口与所述第一级蒸汽引射器的第一混合蒸汽出口相连。

根据本发明实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空系统，通过设置具有第一驱动蒸汽入口的第一级蒸汽引射器，利用第一驱动蒸汽入口朝向第一级蒸汽引射器输入低压的驱动蒸汽，从而在第一级蒸汽引射器内形成真空空间，利用第一级蒸汽引射器与凝汽器之间压力差，实现对凝汽器中未凝结的蒸汽的抽取，无需设置转动设备(例如真空泵)即可形成真空空间，不需消耗高品质电能，且环境温度对蒸汽形成的真空空间影响小，系统运行可靠性高。

在一些实施例中，所述实现薄膜蒸发废水处理的真空系统还包括第二级蒸汽引射器和第二级冷凝器，所述第一级冷凝器还具有第二蒸汽抽出口，所述第二级冷凝器具有第二混合蒸汽入口和第二冷凝水排出口，所述第二级蒸汽引射器具有第二驱动蒸汽入口、第二引射蒸汽入口和第二混合蒸汽出口，所述第二引射蒸汽入口与所述第一级冷凝器的第二蒸汽抽出口相连，所述第二混合蒸汽出口与所述第二级冷凝器的第二混合蒸汽入口相连。

在一些实施例中，所述实现薄膜蒸发废水处理的真空系统还包括汽水分离器，所述第一冷凝水排出口和所述第二冷凝水排出口与所述汽水分离器相连。

在一些实施例中，所述实现薄膜蒸发废水处理的真空系统还包括驱动蒸汽供给管路，所述驱动蒸汽供给管路与所述第一驱动蒸汽入口和所述第二驱动蒸汽入口相连，所述驱动蒸汽供给管路上设有蒸汽总阀，用于调节供给到所述第一级蒸汽引射器内的驱动蒸汽的第一级驱动蒸汽调节阀和用于调节供给到所述第二级蒸汽引射器内的驱动蒸汽的第二级驱动蒸汽调节阀。

在一些实施例中，所述凝汽器、所述第一级冷凝器和所述第二级冷凝器的冷却水管路串联，且所述冷却水管路首先进入所述凝汽器，从所述凝汽器出来后进入所述第一级冷凝器，然后从所述第一级冷凝器出来进入所述第二级冷凝器，最后从所述第二级冷凝器延伸出。

在一些实施例中，所述实现薄膜蒸发废水处理的真空系统还包括与所述凝汽器的冷凝水出口相连的凝结水箱和设在所述废水供水装置和所述加热器之间的增压泵。

在一些实施例中，所述薄膜蒸发器还具有与所述废水供水装置相连的浓缩后废水出口。

根据本发明的第二方面的实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空方法包括：将废水加热后供给到薄膜蒸发器内进行蒸发和分离；将薄膜蒸发器内的蒸汽引入到凝汽器内进行凝结；向第一级蒸汽引射器内供给驱动蒸汽以将凝汽器内的引射蒸汽引入到所述第一级蒸汽引射器内；将所述第一级蒸汽引射器内形成的混合蒸汽引入第一级冷凝器内进行冷凝。

根据本发明实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空方法，可以利用驱动蒸汽在第一级蒸汽引射器内形成真空空间，以利用第一级蒸汽引射器与凝汽器的压力差抽取凝汽器内的引射蒸汽，该实现薄膜蒸发废水处理的真空方法形成的真空空间稳定，受环境温度影响小，且控制过程简单，不涉及转动设备，不需消耗高品质电能。

在一些实施例中，实现薄膜蒸发废水处理的真空方法还包括：向第二级蒸汽引射器内供给驱动蒸汽以将所述第一级冷凝器内的引射蒸汽引入到所述第二级蒸汽引射器内；将所述第二级蒸汽引射器内形成的混合蒸汽引入第二级冷凝器内进行冷凝。

在一些实施例中，实现薄膜蒸发废水处理的真空方法还包括：使冷却水顺序通过所述凝汽器、所述第一级冷凝器和所述第二级冷凝器；将所述第一级冷凝器和所述第二级冷凝器内的冷凝水引入到汽水分离器内进行汽水分离；将所述薄膜蒸发器内的浓缩后废水引出所述薄膜蒸发器并且加热后供给到所述薄膜蒸发器内。

附图说明

图1是根据本发明实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空系统的示意图。

附图标记：

实现薄膜蒸发废水处理的真空系统100；

薄膜蒸发器10；废水进口101；蒸汽出口102；浓缩后废水出口103；

废水供水装置20；

加热器30；

凝汽器40；蒸汽进口401；第一蒸汽抽出口402；冷凝水出口403；

第一级蒸汽引射器50；第一驱动蒸汽入口501；第一引射蒸汽入口502；第一混合蒸汽出口503；

第一级冷凝器60；第一混合蒸汽入口601；第一冷凝水排出口602；第二蒸汽抽出口603；

第二级蒸汽引射器70；第二驱动蒸汽入口701；第二引射蒸汽入口702；第二混合蒸汽出口703；

第二级冷凝器80；第二混合蒸汽入口801；第二冷凝水排出口802；

汽水分离器90；蒸汽总阀901；第一级驱动蒸汽调节阀902；第二级驱动蒸汽调节阀903；增压泵904；凝结水箱905；冷却水管路906；凝结水泵907。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

如图1所示，根据本发明实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空系统100包括薄膜蒸发器10、废水供水装置20、加热器30、凝汽器40、第一级蒸汽引射器50和第一级冷凝器60。

薄膜蒸发器10具有废水进口101和蒸汽出口102，废水供水装置20与薄膜蒸发器10的废水进口101相连，用于向薄膜蒸发器10供给废水。如图1所示，经废水供水装置20升压后的废水从废水进口101进入薄膜蒸发器10，薄膜蒸发器10对废水进行低温蒸发和分离，将废水中的一部分洁净水进行闪蒸，闪蒸所形成蒸汽透过薄膜并从蒸汽出口102流出。

加热器30设在薄膜蒸发器10和废水供水装置20之间，用于加热从废水供水装置20向薄膜蒸发器10供给的废水。可以理解的是，废水经过薄膜蒸发器10发生蒸发分离，会损失一部分能量，加热器30的加热可以为废水蒸发分离提供能量，从而确保整个实现薄膜蒸发废水处理的真空系统中的能量平衡和温度恒定。

凝汽器40具有蒸汽进口401、第一蒸汽抽出口402和冷凝水出口403，蒸汽进口401与薄膜蒸发器10的蒸汽出口102相连。如图1所示，从薄膜蒸发器10的蒸汽出口102流出的蒸汽通过蒸汽进口401进入凝汽器40，部分蒸汽会在凝汽器40内凝结成冷凝水并从冷凝水出口403流出。

第一级蒸汽引射器50具有第一驱动蒸汽入口501、第一引射蒸汽入口502和第一混合蒸汽出口503，第一引射蒸汽入口502与凝汽器40的第一蒸汽抽出口402相连。具体地，如图1所示，第一驱动蒸汽入口501用于向第一级蒸汽引射器50通入低压驱动蒸汽，低压驱动蒸汽可以使第一级蒸汽引射器50内形成真空空间，从而利用第一级蒸汽引射器50与凝汽器40的压力差，将凝汽器40未凝结的蒸汽吸入第一级蒸汽引射器50，混合后的蒸汽通过第一混合蒸汽出口503流出。

第一级冷凝器60具有第一混合蒸汽入口601和第一冷凝水排出口602，第一混合蒸汽入口601与第一级蒸汽引射器50的第一混合蒸汽出口503相连。具体地，如图1所示，从第一混合蒸汽出口503流出的混合蒸汽通过第一混合蒸汽入口601流入至第一级冷凝器60，混合蒸汽的一部分在第一级冷凝器60凝结成冷凝水，冷凝水从第一冷凝水排出口602流出。

根据本发明实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空系统，通过设置具有第一驱动蒸汽入口的第一级蒸汽引射器，利用第一驱动蒸汽入口朝向第一级蒸汽引射器输入低压的驱动蒸汽，从而在第一级蒸汽引射器内形成真空空间，利用第一级蒸汽引射器与凝汽器之间压力差，实现对凝汽器中未凝结的蒸汽的抽取，无需设置转动设备(例如真空泵)即可形成真空空间，不需消耗高品质电能，且环境温度对蒸汽形成的真空空间影响小，系统运行可靠性高。

在一些实施例中，如图1所示，实现薄膜蒸发废水处理的真空系统100还包括第二级蒸汽引射器70和第二级冷凝器80，第一级冷凝器60还具有第二蒸汽抽出口603，第二级冷凝器80具有第二混合蒸汽入口801和第二冷凝水排出口802，第二级蒸汽引射器70具有第二驱动蒸汽入口701、第二引射蒸汽入口702和第二混合蒸汽出口703，第二引射蒸汽入口702与第一级冷凝器60的第二蒸汽抽出口603相连，第二混合蒸汽出口703与第二级冷凝器80的第二混合蒸汽入口801相连。

具体地，第二驱动蒸汽入口701可以向第二级蒸汽引射器70输入低压驱动蒸汽，以使第二级蒸汽引射器70形成低压空间，利用第二级蒸汽引射器70与第一级冷凝器60的压力差，将第一级冷凝器60内未冷凝的混合蒸汽经第二蒸汽抽出口603、第二引射蒸汽入口702吸入第二级蒸汽引射器70，混合后的蒸汽通过第二混合蒸汽出口703与第二混合蒸汽入口801流入第二级冷凝器80，混合蒸汽在第二级冷凝器80凝结成冷凝水并从第二冷凝水排出口802流出，第二级冷凝器80中未凝结的蒸汽从第二冷凝水排出口802排出。由此，通过多级凝结，可以提高废水利用率，实现废水零排放。

在一些实施例中，如图1所示，实现薄膜蒸发废水处理的真空系统100还包括汽水分离器90，第一冷凝水排出口602和第二冷凝水排出口802与所述汽水分离器90相连。由此可以将第一冷凝水排出口602排出的冷凝水和第二冷凝水排出口802排出的冷凝水及蒸汽混合收容在汽水分离器90，利用汽水分离器将蒸汽进行分离和排出。

在一些实施例中，如图1所示，实现薄膜蒸发废水处理的真空系统100还包括驱动蒸汽供给管路，驱动蒸汽供给管路与第一驱动蒸汽入口501和第二驱动蒸汽入口701相连，从而可以通过第一驱动蒸汽入口501向第一级蒸汽引射器50输入驱动蒸汽，通过第二驱动蒸汽入口701向第二级蒸汽引射器70输入驱动蒸汽。

驱动蒸汽供给管路上设有蒸汽总阀901，用于调节供给到第一级蒸汽引射器50内的驱动蒸汽的第一级驱动蒸汽调节阀902和用于调节供给到第二级蒸汽引射器70内的驱动蒸汽的第二级驱动蒸汽调节阀903。

具体地，驱动蒸汽供给管路具有主管路、第一支路和第二支路，第一支路和第二支路的一端均与主管路相连，第一支路的另一端与第一驱动蒸汽入口501相连，第二支路的另一端与第二驱动蒸汽入口701相连。蒸汽总阀901设在主管路上，第一级驱动蒸汽调节阀902设在第一支路上，第二级驱动蒸汽调节阀903设在第二支路上。

蒸汽总阀901适于控制驱动蒸汽在主管路内的流量，第一级驱动蒸汽调节阀902适于控制第一支路内的驱动蒸汽的流量，从而控制第一级蒸汽引射器50内的驱动蒸汽的充入量，以控制第一级蒸汽引射器内的真空度，满足第一级蒸汽引射器与凝汽器之间压力差的要求。

第二级驱动蒸汽调节阀903适于控制第二支路内的驱动蒸汽的流量，从而控制第二级蒸汽引射器70内的驱动蒸汽的充入量，以控制第二级蒸汽引射器内的真空度，满足第二级蒸汽引射器与第一级冷凝器之间压力差的要求。

在一些实施例中，如图1所示，凝汽器40、第一级冷凝器60和第二级冷凝器80的冷却水管路906串联，且冷却水管路906首先进入凝汽器40，从凝汽器40出来后进入第一级冷凝器60，然后从第一级冷凝器60出来进入第二级冷凝器80，最后从第二级冷凝器80延伸出。

如图1所示，薄膜蒸发器10排出的蒸汽依次流经凝汽器40、第一级冷凝器60和第二级冷凝器80，且蒸汽流入凝汽器40、第一级冷凝器60和第二级冷凝器80的流量依次减少，相应地，凝汽器40、第一级冷凝器60和第二级冷凝器80对冷却水的换热能力的需求依次下降。由此，实现整个工艺流程的冷却水量的节省，也体现低温冷源的梯级利用思想。

在一些实施例中，如图1所示，实现薄膜蒸发废水处理的真空系统100还包括与凝汽器40的冷凝水出口403相连的凝结水箱905和设在废水供水装置20和加热器30之间的增压泵904。凝结水箱905用于收容凝汽器40排出的冷凝水，增压泵904可以对废水供水装置20排出的废水进行升压，以使废水排入凝汽器40。

在一些实施例中，如图1所示，薄膜蒸发器10还具有与废水供水装置20相连的浓缩后废水出口103。可以理解的是，部分洁净水在薄膜蒸发器10内闪蒸形成蒸汽，浓缩后的废水由于部分蒸发造成温度降低，该部分浓缩后的废水经浓缩后废水出口103回流至废水供水装置20，进行后续的循环处理过程。

下面参考图1描述根据本发明的一个具体示例的实现薄膜蒸发废水处理的真空系统100。

如图1所示，实现薄膜蒸发废水处理的真空系统100包括废水供水装置20、增压泵904、加热器30、薄膜蒸发器10、凝汽器40、第一级蒸汽引射器50、第一级冷凝器60、第二级蒸汽引射器70、第二级冷凝器80、凝结水泵907、凝结水箱905、汽水分离器9090、蒸汽总阀901、第一级驱动蒸汽调节阀902、第二级驱动蒸汽调节阀903和冷却水管路906。

薄膜蒸发器10具有废水进口101、蒸汽出口102和浓缩后废水出口103，废水进口101、浓缩后废水出口103与废水供水装置20相连，加热器30和增压泵904连接在废水供水装置20与废水进口101之间，凝汽器40具有蒸汽进口401、第一蒸汽抽出口402和冷凝水出口403，蒸汽进口401与薄膜蒸发器10的蒸汽出口102相连，冷凝水出口403与凝结水箱905相连。

具体地，废水的一部分洁净水在薄膜蒸发器10内经过闪蒸形成蒸汽，蒸汽经蒸汽出口102、凝汽器40的蒸汽进口401进入凝汽器40，蒸汽在凝汽器40内一部分凝结成冷凝水，冷凝水经冷凝水出口403流入凝结水箱905，浓缩后的废水经浓缩后废水出口103回流至废水供水装置20。

第一级蒸汽引射器50具有第一驱动蒸汽入口501、第一引射蒸汽入口502和第一混合蒸汽出口503，第一引射蒸汽入口502与凝汽器40的第一蒸汽抽出口402相连，第一驱动蒸汽入口501适于向第一级蒸汽引射器50内输送低压驱动蒸汽以形成真空空间，抽取凝汽器40内未凝结的蒸汽，第一级驱动蒸汽调节阀902连接在与第一驱动蒸汽入口501连通的第一支路上，用于调节第一支路内的驱动蒸汽流量。

第一级冷凝器60具有第一混合蒸汽入口601、第一冷凝水排出口602和第二蒸汽抽出口603，第一混合蒸汽入口601与第一级蒸汽引射器50的第一混合蒸汽出口503相连，第一冷凝水排出口602与汽水分离器90相连。第一级蒸汽引射器50抽取的蒸汽和驱动蒸汽形成的混合蒸汽经第一混合蒸汽出口503、第一混合蒸汽入口601进入第一级冷凝器60，混合蒸汽一部分在第一级冷凝器60内凝结成冷凝水并经第一冷凝水排出口602排入汽水分离器90，凝结水泵907连接在第一冷凝水排出口602与汽水分离器90之间，以对从第一冷凝水排出口602排出的冷凝水进行升压。

第二级蒸汽引射器70具有第二驱动蒸汽入口701、第二引射蒸汽入口702和第二混合蒸汽出口703，第二引射蒸汽入口702与第二蒸汽抽出口603相连，第二驱动蒸汽入口701用于向第二级蒸汽引射器70输入低压驱动蒸汽以形成真空空间，第二级驱动蒸汽调节阀903设在与第二驱动蒸汽入口701连通的第二支路上，第二级蒸汽引射器70经第二蒸汽抽出口603、第二引射蒸汽入口702将第一级冷凝器60内未凝结的混合蒸汽抽入第二级蒸汽引射器70。

第一支路和第一支路均连接在主管路上，主管路上设有蒸汽总阀901，用于控制主管路内驱动蒸汽的流量。

第二级冷凝器80具有第二混合蒸汽入口801和第二冷凝水排出口802，第二混合蒸汽入口801与第二混合蒸汽出口703相连，第二冷凝水排出口802与汽水分离器90相连。第二级蒸汽引射器70内的混合蒸汽经第二混合蒸汽出口703、第二混合蒸汽入口801流入第二级冷凝器80，混合蒸汽在第二级冷凝器80内凝结成冷凝水并经第二冷凝水排出口802流入汽水分离器90。

冷却水管路906依次流经凝汽器40、第一级冷凝器60和第二级冷凝器80，由此，实现整个工艺流程的冷却水量的节省，也体现低温冷源的梯级利用思想。

下面描述根据本发明实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空方法。

根据本发明实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空方法包括将废水加热后供给到薄膜蒸发器内进行蒸发和分离，将薄膜蒸发器内的蒸汽引入到凝汽器内进行凝结，向第一级蒸汽引射器内供给驱动蒸汽以将凝汽器内的引射蒸汽引入到第一级蒸汽引射器内，将第一级蒸汽引射器内形成的混合蒸汽引入第一级冷凝器内进行冷凝。

根据本发明实施例的实现薄膜蒸发废水处理的真空方法，可以利用驱动蒸汽在第一级蒸汽引射器内形成真空空间，以利用第一级蒸汽引射器与凝汽器的压力差抽取凝汽器内的引射蒸汽，该实现薄膜蒸发废水处理的真空方法形成的真空空间稳定，受环境温度影响小，且控制过程简单，不涉及转动设备，不需消耗高品质电能。

在一些实施例中，实现薄膜蒸发废水处理的真空方法还包括向第二级蒸汽引射器内供给驱动蒸汽以将第一级冷凝器内的引射蒸汽引入到第二级蒸汽引射器内，将第二级蒸汽引射器内形成的混合蒸汽引入第二级冷凝器内进行冷凝。由此可以对第一级冷凝器内未凝结的引射蒸汽进行进一步处理凝结处理，提高实现薄膜蒸发废水处理的真空方法的可靠性。

在一些实施例中，实现薄膜蒸发废水处理的真空方法还包括使冷却水顺序通过凝汽器、第一级冷凝器和第二级冷凝器。由此，实现整个工艺流程的冷却水量的节省，也体现低温冷源的梯级利用思想。

将第一级冷凝器和第二级冷凝器内的冷凝水引入到汽水分离器内进行汽水分离。由此可以将第一冷凝水排出口排出的冷凝水和第二冷凝水排出口排出的冷凝水及蒸汽混合收容在汽水分离器，利用汽水分离器将剩余蒸汽进行分离和排出。

将薄膜蒸发器内的浓缩后废水引出薄膜蒸发器并且加热后供给到薄膜蒸发器内。由此，可以对浓缩后废水进行循环处理，实现废水零排放。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本发明中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。