一种半导体加工用检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体加工用检测设备。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。
3.在对半导体进行生产时，需要对半导体抽样检测，例如进行图像检测半导体的尺寸或封装情况，由于长时间的使用，一般的检测设备不具备自动清理镜头的作用，导致需要人工经常进行维护，及其的不方便，故而提出一种半导体加工用检测设备来解决上述问题。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体加工用检测设备，具备可自动进行清理等优点，解决了需要人工经常进行维护，及其的不方便的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用检测设备，包括底座，所述底座的顶部固定连接有工作台，所述工作台的顶部固定连接有支架，所述支架的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部设置有清理组件，所述顶板的底部固定安装有检测设备。
6.所述清理组件包括有与顶部固定连接的支撑架，所述支撑架的外表面固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有偏心轮，所述顶板顶部的左右两侧均固定连接有套管，两个所述套管的内壁均固定连接有弹簧，两个所述远离套管的一端固定连接有活动板，两个所述活动板远离弹簧的一侧固定连接有活动杆，两个所述活动杆相对的一侧固定连接有活动块，所述活动块底部的左右两侧均固定连接有支杆，两个所述支杆相对的一侧固定连接有清理刷。
7.进一步，所述顶板的顶部开设有数量为两个的限位槽，所述活动块的底部开设有数量为两个的连接槽，两个所述连接槽的内部均活动连接有滚轮，所述滚轮位于连接槽的内部。
8.进一步，所述顶板的内部开设有数量为两个的滑孔，两个所述滑孔的内部与支杆活动连接。
9.进一步，所述支撑架呈u形，且支撑架与顶板呈平行状。
10.进一步，两个所述套管通过支撑杆与顶板固定连接，且支撑杆与顶板的连接角度为九十度。
11.进一步，两个所述套管相互之间平行，所述支杆呈l形。
12.与现有技术相比，本技术的技术方案具备以下有益效果：
13.该半导体加工用检测设备，通过电机带动偏心轮进行转动，偏心轮会推动活动块进行移动，活动块带动支杆连接的清理刷进行移动，由于套管的内壁连接有弹簧，当推动活
动块朝正面移动时，活动块移动时，滚轮在限位槽中移动，从而可保证活动块的稳定性，会拉伸弹簧，当偏心轮与活动块脱离后，弹簧发生复位会将活动块拉回，偏心轮在电机的始终转动下，会带动清理刷重复移动，从而将检测设备进行擦拭清理，起到了自动清理的作用，从而利用检测设备对样品进行检测。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为本实用新型结构俯视图；
16.图3为本实用新型图1中a部局部放大图。
17.图中：1底座、2底座、3支架、4顶板、401限位槽、5清理组件、501支撑架、502电机、503偏心轮、504套管、505弹簧、506活动板、507活动杆、508活动块、509支杆、510清理刷、6检测设备、7连接槽、8滚轮、9限位槽。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1-3，本实施例中的一种半导体加工用检测设备，包括底座1，底座1的顶部固定连接有工作台2，工作台2的顶部固定连接有支架3，支架3的顶部固定连接有顶板4，顶板4的顶部设置有清理组件5，顶板4的底部固定安装有检测设备6。
20.清理组件5包括有与顶部固定连接的支撑架501，支撑架501呈u形，且支撑架501与顶板4呈平行状，支撑架501的外表面固定连接有电机502，电机502的输出轴固定连接有偏心轮503，顶板4顶部的左右两侧均固定连接有套管504，两个套管504通过支撑杆与顶板4固定连接，且支撑杆与顶板4的连接角度为九十度，两个套管504的内壁均固定连接有弹簧505，两个远离套管504的一端固定连接有活动板506，两个活动板506远离弹簧505的一侧固定连接有活动杆507，两个活动杆507相对的一侧固定连接有活动块508，活动块508底部的左右两侧均固定连接有支杆509，两个套管504相互之间平行，支杆509呈l形，两个支杆509相对的一侧固定连接有清理刷510，顶板4的内部开设有数量为两个的滑孔，两个滑孔的内部与支杆509活动连接。
21.通过电机502带动偏心轮503进行转动，偏心轮503会推动活动块508进行移动，活动块508带动支杆509连接的清理刷510进行移动，由于套管504的内壁连接有弹簧505，当推动活动块508朝正面移动时，会拉伸弹簧505，当偏心轮503与活动块508脱离后，弹簧505发生复位会将活动块508拉回，偏心轮503在电机502的始终转动下，会带动清理刷510重复移动，从而将检测设备6进行擦拭清理，起到了自动清理的作用。
22.本实施例中，顶板4的顶部开设有数量为两个的限位槽9，活动块508的底部开设有数量为两个的连接槽7，两个连接槽7的内部均活动连接有滚轮8，滚轮8位于连接槽7的内部，在活动块508移动时，滚轮8在限位槽9中移动，从而可保证活动块508的稳定性。
23.上述实施例的工作原理为：
24.将抽样的半导体放置在工作台2上，在使用时，开启电机502，通过电机502带动偏心轮503进行转动，偏心轮503会推动活动块508进行移动，活动块508带动支杆509连接的清理刷510进行移动，由于套管504的内壁连接有弹簧505，当推动活动块508朝正面移动时，活动块508移动时，滚轮8在限位槽9中移动，从而可保证活动块508的稳定性，会拉伸弹簧505，当偏心轮503与活动块508脱离后，弹簧505发生复位会将活动块508拉回，偏心轮503在电机502的始终转动下，会带动清理刷510重复移动，从而将检测设备6进行擦拭清理，起到了自动清理的作用，从而利用检测设备6对样品进行检测。
25.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。