mask抽取机构的制作方法

文档序号:32998746发布日期:2023-01-18 00:40阅读:22来源:国知局
mask抽取机构的制作方法

1.本实用新型涉及技术领域,尤其涉及一种mask抽取机构。


背景技术:

2.mask是蒸镀制程中的关键制具,其中,mask清洗机用于oled制程,清洗蒸镀设备内核心部件—mask,amoled采用mask蒸镀方式实现。而mask精密度极高,而且极其脆弱,价格也极其昂贵,并且mask重量达100kg左右,故对于mask的上下料要求极高。原先mask为人工上下料,将竖直放置的mask从框体中抽出并呈水平放置。在工作的过程中,不仅劳动强度大而且容易造成mask的损伤,并且人工上料误差较大,不利于全自动的实现。
3.因此,需要一种mask抽取机构来解决上述问题。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种mask抽取机构,能够实现mask的自动抽取,降低劳动强度,防止对mask造成损伤。
5.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
6.mask抽取机构,包括:
7.支撑架;
8.旋转架,所述旋转架转动设置在所述支撑架上;
9.旋转驱动组件,所述旋转驱动组件设置在所述支撑架上,且与所述旋转架传动连接,所述旋转驱动组件能够驱动所述旋转架相对所述支撑架转动,使得所述旋转架处于水平状态或者竖直状态;
10.夹取组件,所述夹取组件设置在所述旋转架上,且能够沿所述旋转架移动以将mask夹取放置到所述旋转架上。
11.进一步地,还包括地轨和移动驱动组件,所述支撑架设置在所述地轨上,所述移动驱动组件设置在所述支撑架上,且与所述地轨传动连接,所述移动驱动组件能够驱动所述支撑架在所述地轨上往复移动。
12.进一步地,沿所述地轨的延伸方向于所述地轨上设置有齿条,所述移动驱动组件包括第一电机和第一齿轮,所述第一电机设置在所述支撑架上,所述第一电机与所述第一齿轮传动连接,所述第一齿轮与所述齿条啮合。
13.进一步地,所述地轨的下端间隔设置有多个支撑地脚,多个所述支撑地脚相对地轨的伸出的长度能够调节。
14.进一步地,所述旋转架上设置有转轴,所述旋转架通过所述转轴转动设置在所述支撑架上,所述旋转驱动组件包括第二电机和第二齿轮,所述第二电机设置在所述支撑架上,且与所述第二齿轮传动连接,所述第二齿轮与所述转轴传动连接。
15.进一步地,所述夹取组件包括移动组件和夹紧组件,所述移动组件设置在所述旋转架上,所述夹紧组件与所述移动组件传动连接,所述移动组件能够驱动所述夹紧组件相
对所述旋转架运动,所述夹紧组件能够夹住mask。
16.进一步地,所述移动组件包括第三电机、丝杠和丝母,所述第三电机设置在所述旋转架上,且与所述丝杠传动连接,所述丝母与所述丝杠螺接,所述夹紧组件与所述丝母连接。
17.进一步地,所述夹紧组件包括夹紧气缸和夹爪,所述夹爪设置在所述夹紧气缸上,所述夹紧气缸与所述丝母连接。
18.进一步地,沿所述mask夹取运动方向,于所述旋转架的相对的两侧设置有支撑滚轮和侧滚轮,所述支撑滚轮用于支撑mask,所述侧滚轮与mask的侧边抵接。
19.进一步地,还包括压紧组件,所述压紧组件包括驱动气缸和压紧滚轮,所述驱动气缸设置在所述旋转架上,所述压紧滚轮设置在所述驱动气缸的活塞杆上,所述驱动气缸能够驱动所述压紧滚轮与mask抵接。
20.本实用新型的有益效果:
21.本实用新型所提供的一种mask抽取机构,在支撑架上转动设置有旋转架,旋转驱动组件设置在支撑架上,能够驱动旋转架相对支撑架转动,使得旋转架处于水平状态或者竖直状态,在旋转架上设置有夹取组件,能够将mask夹取放置到旋转架上。在进行mask抽取时,通过旋转驱动组件驱动旋转架处于竖直状态,然后夹取组件夹取mask放置到旋转架上,旋转驱动组件驱动旋转架转动到水平状态。通过上述方式,能够实现mask的自动抽取,降低劳动强度,防止对mask造成损伤。
附图说明
22.图1是本实用新型一种mask抽取机构的示意图;
23.图2是本实用新型一种mask抽取机构中旋转架的示意图。
24.图中:
25.1、支撑架;2、旋转架;21、转轴;22、从动齿轮;23、侧滚轮;24、支撑滚轮;3、mask;4、压紧组件;41、驱动气缸;42、压紧滚轮;5、旋转驱动组件;51、第二电机;6、移动驱动组件;61、第一电机;7、地轨;71、支撑地脚;8、夹取组件;81、丝杠;82、夹紧气缸。
具体实施方式
26.下面结合附图和实施方式进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部。
27.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第
一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
29.在对mask进行抽取的过程中,为了能够实现mask的自动抽取,降低劳动强度,防止对mask造成损伤,如图1-图2所示,本实用新型提供一种mask抽取机构。本mask抽取机构包括支撑架1、旋转架2、旋转驱动组件5和夹取组件8。
30.其中,旋转架2转动设置在支撑架1上;旋转驱动组件5设置在支撑架1上,且与旋转架2传动连接,旋转驱动组件5能够驱动旋转架2相对支撑架1转动,使得旋转架2处于水平状态或者竖直状态;夹取组件8设置在旋转架2上,且夹取组件8能够沿旋转架2移动以将mask3夹取放置到旋转架2上。
31.在进行mask3抽取时,通过旋转驱动组件5驱动旋转架2处于竖直状态,然后夹取组件8从台车上夹取mask3放置到旋转架2上,旋转驱动组件5驱动旋转架2转动到水平状态。通过上述方式,能够实现mask3的自动抽取,降低劳动强度,防止对mask3造成损伤。
32.进一步地,mask抽取机构还包括地轨7和移动驱动组件6,支撑架1设置在地轨7上,移动驱动组件6设置在支撑架1上,且与地轨7传动连接,移动驱动组件6能够驱动支撑架1在地轨7上往复移动。通过上述设置,利用移动驱动组件6驱动支撑架1运动,从而能够调整支撑架1在地轨7上的位置,达到调整mask3位置的目的,便于后续mask3取走。
33.进一步地,沿地轨7的延伸方向于地轨7上设置有齿条,移动驱动组件6包括第一电机61和第一齿轮,第一电机61设置在支撑架1上,第一电机61与第一齿轮传动连接,第一齿轮与齿条啮合。在工作时,第一电机61驱动第一齿轮转动,第一齿轮与第一齿条啮合传动,使得支撑架1相对地轨7运动,实现调整mask3位置的目的。
34.进一步地,地轨7的下端间隔设置有多个支撑地脚71,多个支撑地脚71相对地轨7的伸出的长度能够调节。在安装地轨7时,通过调节支撑地脚71相对地轨7的伸出长度,便于对地轨7进行调平,满足支撑架1运动的需要。
35.进一步地,旋转架2上固定设置有转轴21,旋转架2通过转轴21转动设置在支撑架1上,旋转驱动组件5包括第二电机51和第二齿轮,第二电机51设置在支撑架1上,且与第二齿轮传动连接,第二齿轮与转轴21传动连接。具体地,在支撑架1上设置有轴承,转轴21转动设置在轴承上,在转轴21的一端设置有从动齿轮22,从动齿轮22与第二齿轮啮合。通过第二电机51驱动第二齿轮转动,从而带动从动齿轮22转动,从动齿轮22带动转轴21,转轴21带动旋转架2转动,通过调节第二电机51的转动方向,即可实现旋转架2在水平状态和竖直状态之间的切换。
36.进一步地,夹取组件8包括移动组件和夹紧组件,移动组件设置在旋转架2上,夹紧组件与移动组件传动连接,移动组件能够驱动夹紧组件相对旋转架2运动,夹紧组件能够夹住mask3。通过上述设置,能够顺利实现mask3的抓取。
37.进一步地,移动组件包括第三电机、丝杠81和丝母,第三电机设置在旋转架2上,且第三电机与丝杠81传动连接,丝母与丝杠81螺接,夹紧组件与丝母连接。具体地,通过第三电机带动丝杠81转动,从而带动丝母在丝杠81上移动,丝母带动夹紧组件运动。在夹紧组件运动到位后,夹紧组件夹取mask3,然后第三电机驱动丝杠81反向转动,带动丝母,丝母带动夹紧组件反向移动,将mask3抽取放置到旋转架2上。
38.进一步地,夹紧组件包括夹紧气缸82和夹爪,夹爪设置在夹紧气缸82上,夹紧气缸82与丝母连接。在对mask3进行夹取时,夹紧气缸82驱动夹爪动作,夹住mask3。通过采用上述方式,能够保证对mask3进行稳定夹取。
39.进一步地,沿mask3夹取运动方向,于旋转架2的相对的两侧设置有支撑滚轮24和侧滚轮23,支撑滚轮24用于支撑mask3,侧滚轮23与mask3的侧边抵接。通过设置支撑滚轮24和侧滚轮23,能够对mask3的运动进行导向和支撑,从而保证mask3运动至旋转架2上时,能够平稳移动,防止对mask3造成损伤。
40.进一步地,mask抽取机构还包括压紧组件4,压紧组件4包括驱动气缸41和压紧滚轮42,驱动气缸41固定设置在旋转架2上,压紧滚轮42设置在驱动气缸41的活塞杆上,驱动气缸41能够驱动压紧滚轮42与mask3抵接。在对mask3进行夹取的过程中,利用驱动气缸41驱动压紧滚轮42与mask3的端面抵接,能够对mask3的运动进行限位,防止mask3倾倒,造成损伤,保证夹取工作顺利进行。
41.显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
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