专利名称：光清洗装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种将紫外光对被处理物进行照射来除去其表面上的有机物、 不需要的抗蚀剂等杂质的光清洗装置。
背景技术：
作为使用由受激准分子放电灯发出的紫外光(下面称作uv光)的光清洗
装置，例如有日本专利特开2001-129391号公报(专利文献1)所记载的装置。 该装置包括封入有受激准分子生成气体的介质阻挡放电灯、收纳该放电灯并 在一个面上形成有开口部的框体、以及端部支撑在该框体的所述开口部上并使 所述放电灯亮灯时产生的UV光透射的照射窗部件。 专利文献l:日本专利特开2001-129391号公报
这种光清洗装置利用受激准分子放电灯进行发光，但当UV光透射清洗装 置的照射窗部件而射到空气中时，会因与空气中的氧产生光化学反应而大幅度 衰减。
图4是用于说明大气中的UV衰减率的曲线图。在该图中，纵轴以％来表 示波长172nm的UV光在大气中的衰减率，横轴以mm单位来表示从放射UV的 介质阻挡放电灯离开的距离。UV的照度具有会因大气中所含的氧而衰减的性 质，在离开灯的距离为0mm时衰减率也为0X (在曲线图上记为照度100%)， 但例如在离开灯2mm左右的位置上，衰减率变为约80% (在曲线图上记为照度 20%)。因此，将被照射物21置于尽量靠近灯的位置上是很重要的。
因此，在光清洗工序中通过縮短被清洗物与光清洗装置的照射窗之间的距 离来减少由空气中的氧引起UV光的衰减(下面称作UV衰减)。然而，由于光
清洗装置--般配置在被清洗物的上方，照射窗与被清洗物相对地配置在光清洗 装置的下侧，因此需要使用支撑并固定该照射窗用的压紧部件。因此，被照射物与照射窗之间无法縮短与该压紧部件的厚度相应的距离。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种能縮短照射窗与被照射物之 间的距离从而可减少UV衰减的光清洗装置。
本发明的光清洗装置，其特征在于，包括封入有受激准分子生成气体的 介质阻挡放电灯、收纳该放电灯并在下表面上形成有窗框开口部的框体、以及 嵌合支撑在该框体的窗框开口部内并使所述放电灯亮灯时产生的紫外光透射 的照射窗部件，该照射窗部件的端部和所述框体的窗框开口部端部具有台阶状 或斜面状的接合面，以所述接合面相对的形态将所述框体的窗框开口部端部支 撑在所述照射窗部件的端部上，从而使所述照射窗部件的下表面以与所述窗框 开口部的下表面实质上成为同一平面的形态得到支撑。
在所述本发明的光清洗装置中，其特征在于，所述框体的窗框开口部端部 由从所述框体侧壁朝着所述照射窗部件的面的方向延伸的檐状突起形成，所述 照射窗部件的端部具有帽形突起，通过将该帽形突起卡合到所述檐状突起上， 将所述照射窗部件支撑在所述框体的开口部内。
另外，在所述本发明的光清洗装置中，其特征在于，所述框体的窗框开口 部端部具有向上的斜面，所述照射窗部件的端部具有向下的斜面，通过将该向 下的斜面配置成与所述支撑部的向上的斜面相对，将所述照射窗部件支撑在所 述框体的开口部内。
采用本发明，可提供一种能縮短照射窗与被照射物之间的距离从而可 减少UV衰减的光清洗装置。
图1是将本发明实施形态的光清洗装置局部剖切表示的概略立体图。 图2是用于对图1所示的光清洗装置的照射窗部件的支撑部进行说明的局 部放大剖视图。
图3是用于对图1所示的光清洗装置的照射窗部件的支撑部的另一实施例进行说明的局部放大剖视图。
图4是用于说明大气中的UV衰减率的曲线图。
(符号说明) 1光清洗装置 2灯
3负电极 4正电极 5照射窗部件 6、 10支撑部 7端面 8接合面 9填料 22框体
具体实施例方式
图1是将本发明实施形态的光清洗装置局部剖切表示的概略立体图。光清 洗装置1具有构成本体的长方体框体22。在该框体22的内部空间的上部沿着 框体22的长度方向排列着用于产生UV光的多个介质阻挡放电灯2。这些介质 阻挡放电灯2将受激准分子生成气体封入在用合成石英玻璃管等形成的中空玻 璃管内。在该放电灯2上设有负电极3和正电极4，在这些电极之间施加放电 电压来使放电灯2亮灯。即，负电极3由配置在中空玻璃管外周的例如铝制的 块体构成，在其下表面的与各介质阻挡放电灯2对应的位置上形成有截面呈半 圆筒状的反射面。所述正电极4配置在所述中空玻璃管的内部并夹着其壁面与 所述负电极3相对。通过从电源对这些电极之间施加电压而成为激发状态，从 而放射出波长172nm的UV光。
在作为介质阻挡放电灯而使用氙灯的场合，在形成灯2的合成石英玻璃管 的内部空间内封入氙气。作为封入的氙气，例如可使用氙、氪、氩的稀有气体。
为了使从放电灯2向框体22外部照射的UV光透射，在框体22的下部设有由合成石英玻璃等构成的照射窗部件5。该照射窗部件5被在框体22的最下 部形成的窗框开口部20的支撑部6固定。在被支撑部6支撑的照射框部件5 的端部设有截面呈矩形的棒状固定体23，该固定体23从照射窗部件5的上方 将其固定。该固定体23利用螺钉24固定在框体22的侧壁上。
窗框开口部20既可以用专门的框部件与框体22分开构成，也可以将框体 22的端部作为框部件而一体构成。
为了防止灯2放射出的UV光被空气中的氧衰减，在框体22的内部利用氮 清洗或氮流来排除框体22内部的氧。为了保持该状态，照射窗部件5与框体 22之间保持气密封。从灯2放射出的UV光射入到照射窗部件5上而透射，并 向例如制造过程中的液晶面板等被照射物21照射。
图1所示的光清洗装置1具有使UV光向对象物照射的结构，可在例如液 晶面板的制造工序中的通过对制造过程中的液晶面板照射UV光来除去杂质的 光清洗工序中使用。
图2是用于对图1所示的光清洗装置的照射窗部件的支撑部进行说明的局 部放大剖视图。如图所示，构成支撑部6的照射窗部件5的端面7与在窗框开 口部20的端部形成的接合面8夹着被夹在它们之间的填料9卡合，所述窗框 开口部20形成在框体22的下部。
该照射窗部件5的端面7通过对照射窗部件5的端部边缘进行加工而形 成。在图2中，作为其加工的一例，在端面7的整周上设有帽形突起11。该帽 形突起11通过将照射窗部件5端部的下表面在其厚度范围内切除而使截面形 成为台阶状。与该端面7的帽形突起11相应，在设于框体22的窗框开口部20 内周面的接合面8上也同样形成有檐状突起12。通过将照射窗部件5的帽形突 起11载放到窗框开口部20的檐状突起12上以使两个突起卡合，照射窗部件 的下表面以相对于所述窗框开口部的下表面实质上成为同一平面的形态支撑 固定，框体22被照射窗部件5密闭。
由于为了维持框体22的密闭度而设在端面7与接合面8之间的填料9始 终暴露在UV光下，因此最好是使用耐UV特性优良的特富龙(日文亍》口乂) (注册商标)类的填料。如图2所示，被照射物21与照射窗部件5的表面之间的距离t可以设成 使两者不接触的最小限度。由于被照射物21配置在空气中，因此可将从灯2 照射的UV光因空气中的氧而UV衰减限制在最小限度。
可将距离t设定成最小是因为在将照射窗部件5安装到窗框开口部 20上时，分别设在端面7和接合面8上的突起嵌合而得到支撑，因此在框 体22外部的下表面上没有例如支撑照射窗部件5用的窗框部件等附加物那 样的不必要的突出物。
在图2中，照射窗部件5的端面7将截面做成大致台阶状，但也可对 其进行变形而将截面做成大致凸状。这种情况下，可通过将接合面8的形 状做成大致凹状而使两者容易嵌合。在嵌合部分上，作为保持气密封用的 辅助措施，也可夹持填料9。
图3是用于对图1所示的光清洗装置的照射窗部件的支撑部的另一实施例 进行说明的局部放大剖视图。
图3中作为支撑部6的变形例而表示了支撑部10。该支撑部10包括 端部7，该端部7通过将照射窗部件5周围的端面7加工成朝着斜下方进入 而形成为向上的斜面；以及接合面8，该接合面8形成有与所述端部7的斜 面相对的逆向倾斜的斜面、即向下的斜面。在端部7与接合面8之间的间 隙内夹持有填料9。即，在该支撑部10上，所述框体22的窗框开口部20 的端部具有向上的斜面，所述照射窗部件5的端部具有向下的斜面，通过 将所述向下的斜面和所述支撑部的向上的斜面相对地配置，将所述照射窗 部件5支撑在所述框体22的窗框开口部20上。
在这种结构中，端部7的斜面的斜度与接合面8的斜面的斜度的角度 相同，如图3所示，这两者的斜面彼此相对地嵌合。填料9是用于保持气 密封的密封件，在嵌合中起着维持气密封的辅助作用。
与支撑部6—样，在这种结构的支撑部IO上也不存在向外部突起的突 起物，因此可将被照射物21与照射窗部件5之间的距离t设定成最小。
若采用如上所述的本发明的实施形态，则可提供一种能縮短照射窗与 被照射物之间的距离从而可减少UV衰减的光清洗装置。
权利要求
1.一种光清洗装置，其特征在于，包括封入有受激准分子生成气体的介质阻挡放电灯、收纳所述放电灯并在下表面上形成有窗框开口部的框体、以及嵌合支撑在所述框体的窗框开口部内并使所述放电灯亮灯时产生的紫外光透射的照射窗部件，所述照射窗部件的端部和所述框体的窗框开口部端部具有台阶状或斜面状的接合面，以所述接合面相对的形态将所述框体的窗框开口部端部支撑在所述照射窗部件的端部上，从而使所述照射窗部件的下表面以与所述窗框开口部的下表面实质上成为同一平面的形态得到支撑。
2. 如权利要求1所述的光清洗装置，其特征在于，所述框体的窗框开口部 端部由从所述框体侧壁朝着所述照射窗部件的面的方向延伸的檐状突起形成， 所述照射窗部件的端部具有帽形突起，通过将所述帽形突起卡合到所述檐状突 起上，将所述照射窗部件支撑在所述框体的开口部内。
3. 如权利要求1所述的光清洗装置，其特征在于，所述框体的窗框开口部 端部具有向上的斜面，所述照射窗部件的端部具有向下的斜面，通过将所述向 下的斜面配置成与所述支撑部的向上的斜面相对，将所述照射窗部件支撑在所 述框体的开口部内。
4. 如权利要求1或2所述的光清洗装置，其特征在于，所述照射窗部件的 端部夹着填料支撑在所述框体的支撑部上。
全文摘要
本发明提供一种照射窗与被照射物之间的距离缩短而可减少UV衰减的光清洗装置。本发明的光清洗装置(1)包括构成光清洗装置(1)的本体的框体(22)、配置在框体(22)内的灯(2)、用于使灯(2)亮灯的负电极(3)和正电极(4)、使来自灯(2)的UV光透射的照射窗部件(5)、以及用于支撑该照射窗部件(5)的端部的支撑部(6)。支撑部(6)包括照射窗部件(5)的端面(7)、设于在框体(22)的下部形成的窗框开口部(20)内周的接合面(8)、以及夹在端面(7)与接合面(8)之间的填料(9)。
文档编号B01J19/12GK101301599SQ200810095278
公开日2008年11月12日 申请日期2008年5月4日 优先权日2007年5月10日
发明者八岛诚, 铃木俊也 申请人:哈利盛东芝照明株式会社