专利名称：外延设备尾气处理方法及装置的制作方法
外延设备尾气处理方法及装置
技术领域：
本发明涉及一种尾气处理方法及装置，尤其涉及一种外延设备尾气处理方法及装置。
背景技术：
半导体生产中，外延(EPI)设备会产生大量的尾气。外延设备的尾气要进行安全处理，以免造成事故。一般情况下，处理外延设备尾气 采用燃烧的方式。外延设备的尾气经过燃烧式刷洗装置(scrubber)处理后再用湿式的刷 洗装置处理，最后排到空气中。但是工厂(FAB)内采用燃烧方式处理尾气会带来很大的风 险，如不采用燃烧方式，尾气中的大量氢气排到空气中也会带来很大危险。通常情况下，生产商通过提高燃烧式刷洗装置的安全性和稳定性，来避免燃烧处 理尾气引发的事故。尽管如此，燃烧式刷洗装置还是会出现问题，从而造成安全事故。外延炉尾气净化器，申请(专利)号200810093386. X。涉及一种外延炉尾气处理 装置，提供了一种有效地提高处理外延炉尾气效率的方法。但是该净化器只是改进湿法处 理尾气的装置，没有给出不采用燃烧方法处理尾气的方案，无法避免安全事故的发生。
发明内容有鉴于此，有必要针对上述燃烧方式处理外延设备尾气造成安全事故的问题，提 出一种安全的处理外延设备尾气的方案。一种外延设备尾气处理方法，包括如下步骤对外延设备尾气进行洗气处理，以去除其中除氢气和氮气以外的气体；稀释洗气后剩余的氢气和氮气，以使氢气浓度降低到预定标准；排出经稀释后气体。优选的，所述洗气处理采用湿式刷洗方式进行。优选的，所述稀释洗气后剩余的氢气和氮气是在排气装置内采用空气进行。优选的，所述预定标准为国家标准。一种外延设备尾气处理装置，包括湿式刷洗装置、排气装置以及连接管；所述湿式 刷洗装置用于去除所述外延设备尾气中除氢气和氮气以外的气体，所述连接管将所述排气 装置与所述湿式刷洗装置连接，以将所述经去除的尾气由所述湿式刷洗装置传输至所述排 气装置，所述排气装置用于将经所述湿式刷洗装置处理后的尾气进行稀释后排放。优选的，所述排气装置采用空气对尾气处理后剩余的氢气和氮气进行稀释，使氢 气浓度降低到预定标准并将稀释后气体进行排放。优选的，所述连接管为直径IOOmm的PVC管。优选的，所述排气装置包括排气管、文丘里装置及风机，所述文丘里装置采用文丘 里方式在排气装置内形成负压，将剩余的尾气吸入排气装置，所述风机向所述排气管内吸 入空气稀释所述尾气，所述排气管对稀释后尾气进行排放。
优选的，所述排气管为200mm的PVC管。优选的，所述排气装置还包括软连接件以及硬连接件；所述文丘里装置设置于所 述排气管底部，所述风机通过所述软连接件与所述排气管设有文丘里装置的一端相连，所 述排气管与所述连接管通过所述硬连接件相连。上述外延设备尾气处理方法及装置，通过空气稀释尾气中的氢气，不再通过燃烧 的方式对尾气进行处理，彻底避免燃烧式刷洗装置出现故障而引发安全事故，大大提高了 尾气处理的安全性。同时处理尾气的费用也大大降低。
图1是外延设备尾气处理装置的示意图。图2是排气装置的结构示意图。
具体实施方式下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式
详细描述，将使本发明的技术方案 及其他有益效果显而易见。外延设备尾气处理方法，包括如下步骤对外延设备尾气进行洗气处理，以去除其中除氢气和氮气以外的气体。对外延设备尾气进行洗气处理采用湿式刷洗方式进行。稀释洗气后剩余的氢气和氮气，以使氢气浓度降低到预定标准。预定标准为国家规定的排放标准(1% )。对尾气处理后剩余的氢气和氮气进行稀释在排放装置内进行，将尾气抽入排气装 置然后向排气装置内抽取大量空气对尾气进行稀释。排出经稀释后气体。图1是外延设备尾气处理装置的示意图。外延设备尾气处理装置包括湿式刷洗装 置(本实施方式的湿式刷洗装置包括第一湿式刷洗装置Iio和第二湿式刷洗装置120)、排 气装置140以及使排气装置140与第一湿式刷洗装置110和第二湿式刷洗装置120连接的 连接管130。第一湿式刷洗装置110、第二湿式刷洗装置120首先对外延设备100产生的尾 气进行处理，将尾气中除氢气和氮气以外的废气处理干净，排气装置140将处理后剩余的 氢气和氮气吸入，对剩余尾气进行稀释和排放。连接管130采用直径为IOOmm的PVC管，对 尾气进行运输。图2是排气装置140结构示意图。排气装置140包括排气管141、文丘里装置142、 风机143、软连接件144以及硬连接件145。文丘里装置142设置于排气管141底部，排气 管141与风机145通过软连接件144相连，排气管141与连接管130通过硬连接件145相 连。文丘里装置142采用文丘里方式在排气装置140内形成负压，将剩余的尾气吸入排气 装置140。同时风机143向排气装置140内抽入大量空气，对尾气中氢气进行稀释，使氢气 浓度降到预定标准(国家规定的排放标准)。风机143可根据处理尾气的量调节风量或者 更换其他功率。排气管141采用直径为200mm的PVC管，将稀释后的尾气排放到大气中。上述外延设备尾气处理方法及装置，通过空气稀释尾气中的氢气，不再通过燃烧 的方式对尾气进行处理，彻底避免燃烧式刷洗装置出现故障而引发安全事故，大大提高了尾气处理的安全性。同时处理尾气的费用也大大降低。 以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能 因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说， 在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范 围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求
1.一种外延设备尾气处理方法，包括如下步骤对外延设备尾气进行洗气处理，以去除其中除氢气和氮气以外的气体；稀释洗气后剩余的氢气和氮气，以使氢气浓度降低到预定标准；排出经稀释后气体。
2.根据权利要求1所述的外延设备尾气处理方法，其特征在于所述洗气处理采用湿 式刷洗方式进行。
3.根据权利要求1所述的外延设备尾气处理方法，其特征在于所述稀释洗气后剩余 的氢气和氮气是在排气装置内采用空气进行。
4.根据权利要求1所述的外延设备尾气处理方法，其特征在于所述预定标准为国家 标准。
5.一种外延设备尾气处理装置，包括湿式刷洗装置、排气装置以及连接管；所述湿式 刷洗装置用于去除所述外延设备尾气中除氢气和氮气以外的气体，所述连接管将所述排气 装置与所述湿式刷洗装置连接，以将所述经去除的尾气由所述湿式刷洗装置传输至所述排 气装置，所述排气装置用于将经所述湿式刷洗装置处理后的尾气进行稀释后排放。
6.根据权利要求5所述的外延设备尾气处理装置，其特征在于所述排气装置采用空 气对尾气处理后剩余的氢气和氮气进行稀释，使氢气浓度降低到预定标准并将稀释后气体 进行排放。
7.根据权利要求5所述的外延设备尾气处理装置，其特征在于所述连接管为直径 IOOmm 的 PVC 管。
8.根据权利要求6所述的外延设备尾气处理装置，其特征在于所述排气装置包括排 气管、文丘里装置及风机，所述文丘里装置采用文丘里方式在排气装置内形成负压，将剩余 的尾气吸入排气装置，所述风机向所述排气管内吸入空气稀释所述尾气，所述排气管对稀 释后尾气进行排放。
9.根据权利要求8所述的外延设备尾气处理装置，其特征在于所述排气管为200mm 的PVC管。
10.根据权利要求8所述的外延设备尾气处理装置，其特征在于所述排气装置还包括 软连接件以及硬连接件；所述文丘里装置设置于所述排气管底部，所述风机通过所述软连 接件与所述排气管设有文丘里装置的一端相连，所述排气管与所述连接管通过所述硬连接 件相连。
全文摘要
本发明涉及一种外延设备尾气处理方法及装置，对外延设备尾气进行洗气处理，以去除其中除氢气和氮气以外的气体；稀释洗气后剩余的氢气和氮气，以使氢气浓度降低到预定标准；排出经稀释后气体。本发明通过空气稀释尾气中的氢气，取代燃烧的方式对尾气进行处理，彻底避免燃烧式刷洗装置出现故障而引发安全事故，大大提高了尾气处理的安全性，同时处理尾气的费用也大大降低。
文档编号B01D53/78GK102085448SQ200910188498
公开日2011年6月8日 申请日期2009年12月3日 优先权日2009年12月3日
发明者蔡明光, 蔡鹏 申请人:无锡华润上华半导体有限公司, 无锡华润上华科技有限公司