本实用新型涉及硅材料加工设备技术领域，尤其涉及一种超纯超细金属硅粉的生产装置。
背景技术：
超纯超细硅粉是最重要的半导体材料，广泛应用于计算机、微波通信、光纤通讯、太阳能发电等方面。科学家把现时代称为硅时代，金属硅具有优良的物理化学及半导体性质，因此在半导体器件中很快得到应用，并得到飞速发展。传统制备超纯超细硅粉在生产过程中易产生杂质，不利于大规模工业生产，经常存在细而不纯、纯而不细的难题，也有的工艺过于复杂、生产费用高。目前，我国超纯超细金属硅粉的来源很大程度上依赖进口，改进自主超纯超细硅粉生产装置显得尤为重要。
现有技术中的超纯超细金属硅粉的生产装置一般包括空气压缩机、冷冻干燥机、油水过滤器、粉碎室和分级室，该空气压缩机、冷冻干燥机、油水过滤器、粉碎室和分级室依次连接，采用上述结构的超纯超细金属硅粉的生产装置结构复杂，成本较高，难于大范围推广应用。
技术实现要素：
鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种超纯超细金属硅粉的生产装置，旨在解决现有技术结构复杂，成本较高，难于大范围推广应用的问题。
为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：
一种超纯超细金属硅粉的生产装置，包括依次连接的空气压缩机、冷冻干燥机、油水过滤器、粉碎室和引风机，所述引风机和粉碎室之间设置有除尘收集室，所述除尘收集室下端设置有分类收集系统，所述分类收集系统与所述粉碎室连接。
进一步地，所述除尘收集室包括电机、固定盘、转盘、收集盒和回收盒，所述电机的输出端与所述转盘同轴连接，所述固定盘设置于所述电机的输出轴与所述转盘之间且与所述除尘收集室的侧壁固定，所述固定盘上设置有大目数筛孔区和小目数筛孔区，所述大目数筛孔区下连接有收集盒，所述小目数筛孔区下连接有回收盒，所述回收盒与所述粉碎室连接。
进一步地，所述回收盒与所述粉碎室之间通过管道连接。
进一步地，所述粉碎室和除尘收集室的内侧壁上均设置有聚氨酯保护层。
进一步地，所述小目数筛孔区的筛孔孔径大于等于1000目的颗粒的粒径。
进一步地，所述粉碎室为行星式球磨机。
有益效果：本实用新型提供的超纯超细金属硅粉的生产装置，将现有技术的分级室和回收室合二为一了，在分级室内既可以分级，又可以回收，结构简单，成本较低，缩短工艺流程。
附图说明
图1为本实用新型具体实施例的加湿风扇的结构示意图。
图中所示：1、空气压缩机；2、冷冻干燥机；3、油水过滤器；4、粉碎室；5、引风机；6、除尘收集室；7、分类收集系统；8、管道，9、聚氨酯保护层。
具体实施方式
本实用新型提供一种超纯超细金属硅粉的生产装置。为使本实用新型的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1示，本实用新型的实施例的一种超纯超细金属硅粉的生产装置，包括依次连接的空气压缩机1、冷冻干燥机2、油水过滤器3、粉碎室4和引风机5，其特征在于，所述引风机5和粉碎室4之间设置有除尘收集室6，所述除尘收集室6下端设置有分类收集系统7，所述分类收集系统7与所述粉碎室4连接。
所述除尘收集室6包括电机、固定盘、转盘、收集盒和回收盒，所述电机的输出端与所述转盘同轴连接，所述固定盘设置于所述电机的输出轴与所述转盘之间且与所述除尘收集室6的侧壁固定，所述固定盘上设置有大目数筛孔区和小目数筛孔区，所述大目数筛孔区下连接有收集盒，所述小目数筛孔区下连接有回收盒，所述回收盒与所述粉碎室4连接。
所述回收盒与所述粉碎室4之间通过管道8连接。
所述粉碎室4和除尘收集室6的内侧壁上均设置有聚氨酯保护层9。
所述小目数筛孔区的筛孔孔径大于等于1000目的颗粒的粒径。
所述粉碎室4为行星式球磨机。
本实用新型的工作原理为：
(1)原料输送
将纯度99.995％左右，细度200目左右的原材料倒入原料容器里，将吸料管道8放置在容器适当位置并固定。
(2)物料粉碎
干净新鲜空气经空气压缩机1压缩，形成0.6-1.2MPa的高压气体，高压气体经不锈钢管道8进入储气罐进行油水分离，然后进入过滤器进行精密过滤，形成较纯净的高压气体，接着进入露点温度-40℃的冷冻干燥机2进行冷冻干燥，再进入过滤器进行高精密过滤，最终形成低温高纯高压气体，低温高纯高压气体进入气流粉碎机粉碎室4，经喷嘴喷射形成1-3倍超高速气流，带动经气流粉碎机加料仓负压吸进的物料高速运动，将物料进行粉碎。
(3)物料分级
粉碎后的颗粒随上升气流到达除尘收集室6，进而到下面的分类收集系统7里，粒度大于1000目的颗粒转入回收盒再到粉碎室4再次粉碎，粒度小于1000目的颗粒进入收集盒归集装袋包装，形成不同规格的产品，最终产品纯度为99.998％，产品粒度为2000-12500目，成品率99％以上。
尾气经布袋过滤器过滤，干净尾气经引风机5排出。原料进量根据产品要求每小时5KG-50KG，出量与进量保持平衡。
本实用新型改进了加料方式及管道8材质，在除尘收集室6和粉碎室4内侧壁上设置聚氨酯保护层9；改进减少了成品收集环节。避免了粉碎后成品率低，效果差的难题，气流粉碎机加料装置、喷嘴、分级轮等与原料直接接触的部位用聚氨酯辅以特种材料所制耐磨复合新材料制成，管壁内部衬以聚氨酯，有效防止了粉碎过程产生的二次污染，产品收集减少了步骤，采用全自动真空包装，成品率高，产品粒度细，分布均匀，形貌规则。
可以理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据本实用新型的技术方案及本实用新型构思加以等同替换或改变，而所有这些改变或替换都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。