一种含盐酸或氯盐的二氧化硅的处理装置的制作方法

文档序号:12207548阅读:399来源:国知局

本实用新型涉及一种含盐酸或氯盐的二氧化硅的处理装置,属于多晶硅行业氯硅烷残液和废气资源化技术领域。



背景技术:

国内大部分多晶硅厂生产多晶硅过程中,不可避免的会产生氯硅烷残液和废气,为了实现氯硅烷残液和废气的资源化,将氯硅烷残液和废气用水或稀盐酸吸收,在氯硅烷残液和废气的稀盐酸吸收工艺中会产生含高浓度盐酸的二氧化硅,稀碱液吸收工艺中会产生含高浓度氯盐的二氧化硅,含高浓度盐酸或氯盐的二氧化硅直接进入渣库堆存会导致资源浪费。

含高浓度盐酸的二氧化硅主要成分为10~30%二氧化硅、5~20%HCl和50~75%水;

含高浓度氯盐的二氧化硅主要成分为10~30%二氧化硅、5~20%氯盐和50~75%水;

国内大部分多晶硅厂处理氯硅烷残液和废气采用碱液淋洗工艺,产生产生的二氧化硅中含有大量的氯盐,因此,直接将其送入渣库堆存,未对其进行资源化,造成了资源的浪费。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种含盐酸或氯盐的二氧化硅的处理装置,所述装置包括洗涤槽I1、渣浆泵I2、过滤机I3、洗涤槽II4、渣浆泵II5、过滤机II6、浆化槽7、渣浆泵III8、喷雾干燥器9、旋风除尘器10、风机11、尾气净化塔12、循环槽13、循环泵14;洗涤槽I1通过渣浆泵I2与过滤机I3连通,过滤机I3与洗涤槽II4连通,洗涤槽II4通过渣浆泵II5与过滤机II6连通,过滤机II6与洗涤槽I1和浆化槽7连通,浆化槽7通过渣浆泵III8与喷雾干燥器9连通,喷雾干燥器9与旋风除尘器10连通,旋风除尘器10通过风机11与尾气净化塔12连通、尾气净化塔12与循环槽13连通、循环槽13通过循环泵14与尾气净化塔12连通。

本实用新型所述装置的使用过程:将含高浓度盐酸或氯盐的二氧化硅送入洗涤槽I1中,进行高速搅拌洗涤,然后用渣浆泵I2输送到过滤机I3过滤;压滤机I3产生的滤渣送入洗涤槽II4中,进行高速搅拌洗涤,然后用渣浆泵II5输送到过滤机II6过滤;过滤机I6滤渣进入浆化槽7,进行高速搅拌分散浆化;浆化槽7中的浆液用渣浆泵III8送入喷雾干燥机9干燥,再经过旋风除尘器10获得二氧化硅产品;旋风除尘器10得到的含二氧化硅和氯化氢的尾气用风机11送入尾气净化塔12,进一步净化处理后达标排放,吸收液进入循环槽13,吸收液作为吸收剂通过循环泵14循环喷淋。

所述洗涤槽I1的洗涤用水为过滤机II6的滤液,所述洗涤槽II6的洗涤用水为新鲜工业水;所述过滤机I3的滤液盐酸或氯盐溶液回收再利用;所述浆化槽7的浆化用水为新鲜工业水或稀碱液,将浆化槽7中二氧化硅洗涤至微酸性或中性或者微碱性,pH为4~9;

本实用新型将含高浓度盐酸或氯盐的二氧化硅进行两次洗涤,第一次洗涤用水为第二次洗涤产生的滤液,第二次洗涤用水为新鲜水,第一次洗涤滤液盐酸或氯盐回收利用,两次洗涤完成后,将滤饼浆化,然后进行喷雾干燥,获得二氧化硅产品。该装置二氧化硅洗涤效果好,提高了洗涤液中盐酸或氯盐的浓度,同时对洗涤后的二氧化硅滤饼进行浆化,并选用喷雾干燥器干燥二氧化硅,提高了二氧化硅产品的分散性,该方法在洗涤二氧化硅的同时实现了盐酸或氯盐的回收,减少资源浪费。

本实用新型提供一种含高浓度盐酸或氯盐的二氧化硅的的处理装置,首先二氧化硅进行洗涤,洗涤液盐酸或者氯盐回收,二氧化硅进入干燥器后获得二氧化硅产品,实现盐酸或氯盐和二氧化硅的同时分离回收。

本实用新型的有益效果:

(1)本实用新型所述装置设有两个洗涤槽,可以对二氧化硅进行两次洗涤,且洗涤水可循环使用增加了洗涤水的利用效率,增加了二氧化硅的洗涤效果,并提高了洗涤液中盐酸或氯盐的浓度。

(2)本实用新型的干燥设备选用了喷雾干燥器,增加二氧化硅的干燥效率,并可以提高二氧化硅的分散性。

(3)本实用新型所述装置在洗涤二氧化硅的同时,实现了盐酸或氯盐的回收。

附图说明

图1是本实用新型的工艺流程示意图;

图中:1-洗涤槽I、2-渣浆泵I、3-过滤机I、4-洗涤槽II、5-渣浆泵II、6-过滤机II、7-浆化槽、8-渣浆泵III、9-喷雾干燥器、10-旋风除尘器、11-风机、12-尾气净化塔、13-循环槽、14-循环泵。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明,但本实用新型的保护范围并不限于所述内容。

实施例1

一种含盐酸或氯盐的二氧化硅的处理装置,所述装置包括洗涤槽I1、渣浆泵I2、过滤机I3、洗涤槽II4、渣浆泵II5、过滤机II6、浆化槽7、渣浆泵III8、喷雾干燥器9、旋风除尘器10、风机11、尾气净化塔12、循环槽13、循环泵14;洗涤槽I1通过渣浆泵I2与过滤机I3连通,过滤机I3与洗涤槽II4连通,洗涤槽II4通过渣浆泵II5与过滤机II6连通,过滤机II6与洗涤槽I1和浆化槽7连通,浆化槽7通过渣浆泵III8与喷雾干燥器9连通,喷雾干燥器9与旋风除尘器10连通,旋风除尘器10通过风机11与尾气净化塔12连通、尾气净化塔12与循环槽13连通、循环槽13通过循环泵14与尾气净化塔12连通。

将本实施例所述装置用于处理含高浓度盐酸的二氧化硅,其成分:20%二氧化硅、20%HCl、60%水,具体包括以下步骤:

(1)将200kg含20%氯化氢的二氧化硅送入洗涤槽I1中,进行高速搅拌洗涤,然后用渣浆泵I2输送到过滤机I3过滤,获得240kg10%盐酸回用。

(2)压滤机I3产生的滤渣送入洗涤槽II4中,加入240kg新鲜工业水,进行高速搅拌洗涤,然后用渣浆泵II5输送到过滤机II6过滤,获得200kg洗涤后的滤渣20%二氧化硅,8%氯化氢,72%水。

(3)过滤机I6滤渣进入浆化槽7,加入200kg新鲜工业水,进行高速搅拌分散浆化;

(4)浆化槽7中的浆液用渣浆泵III8送入喷雾干燥机9干燥,再经过旋风除尘器10获得二氧化硅产品95%。

(5)旋风除尘器10的含二氧化硅和氯化氢的尾气用风机11送入尾气净化塔12,进一步净化处理后达标排放,吸收液进入循环槽13,吸收液作为吸收剂通过循环泵14循环喷淋。

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