一种用于晶元生产中的废气处理装置的制作方法

本实用新型属于一种废气处理装置，具体为一种用于晶元生产中的废气处理装置。

背景技术：

晶元（Wafer），是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片。其形状为圆形，故也称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。

随着科学技术的突飞猛进，半导体制造技术日新月异，在晶元的生产过程中，大量的各种各样的特殊气体以及大宗气体不断被应用到新的工艺中去，如N2O、SiH4等气体，使晶圆表面生产二氧化硅缓冲层，但是同时在生成过程中却也会产生大量的废气，废气需要进行一些列的处理后，才能排放。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对以上问题，提供一种用于晶元生产中的废气处理装置，初步处理废气，通过加热使气体高温分解、燃烧、然后进行喷淋冷却，同时溶解易溶性废气。

为实现以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于晶元生产中的废气处理装置，包括加热腔（1）、冷却腔（2）、废水腔（3）、集气腔（4），所述加热腔（1）为中空腔体，内部侧壁上设置有电热管（11），顶部设置有与内部腔体连通的废气集合管（12），侧边上部设置有空气管（13）；所述空气管（13）延伸至加热腔（1）内部与腔体内部的喷气管（15）相连；所述喷气管（15）上端延伸至加热腔（1）内壁顶部，且所述喷气管（15）表面设置有气孔（151）；加热腔（1）下端设置有与冷却腔（2）上端相连的耐高温气管（102），耐高温气管（102）与冷却腔（2）内部连通；所述冷却腔（2）的内壁顶部设置有喷淋头（22），下方设置有废水腔（3），侧面设置有与集气腔（4）相连的冷气管（304）；所述废水腔（3）通过水管（203）与喷淋头（22）相连。

进一步的，所述喷气管（15）下端以螺旋状向下延伸，所述气孔（151）均匀分布于螺旋表面。

进一步的，所述冷却腔（2）的内壁上部设置有倒八字型的中空隔板（21），所述隔板（21）下端表面上均匀设置有喷淋头（22）。

进一步的，所述隔板（21）下方设置有与冷却腔（2）内侧壁相接的导板（23），所述导板（23）与隔板（21）平行；所述导板（23）的中间间隔处设置有可活动的活塞（24）；所述活塞（24）通过下端的弹簧（25）与基板（26）连接。

进一步的，所述活塞（24）的截面为三角形。

进一步的，所述集气腔（4）的上部设置有气水分离器（41），所述冷气管（304）通过气水分离器（41）与集气腔（4）相连。

本实用新型的有益效果：

1、初步处理废气，通过加热使气体高温分解、燃烧、然后进行喷淋冷却，同时溶解易溶性废气；

2、螺旋状的喷气管使得内部加热腔内部的废气能充分的与从空气管进入的压缩空气接触，还能是内部气体流动，使得燃烧充分；

3、字型的中空隔板和导板形成了气体通道，使冷却腔内的气体能进行二次喷淋，也更有利于可溶性废气的溶解；

4、本装置的废水腔的水采用部分循环，节省资源同时不影响处理效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中B处的局部放大示意图。

图中所述文字标注表示为：1、加热腔；2、冷却腔；3、废水腔；4、集气腔；5、自来水管；11、电热管；12、废气集合管；13、空气管；14、泵机；15、喷气管；151、气孔；102、耐高温气管；21、隔板；22、喷淋头；23、导板；24、活塞；25、弹簧；26、基板；203、水管； 41、气水分离器；42、排气管；304、冷气管。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。

如图1-图2所示，本实用新型的具体结构为：一种用于晶元生产中的废气处理装置，包括加热腔1、冷却腔2、废水腔3、集气腔4，所述加热腔1为中空腔体，内部侧壁上设置有电热管11，顶部设置有与内部腔体连通的废气集合管12，侧边上部设置有空气管13；所述空气管13延伸至加热腔1内部与腔体内部的喷气管15相连；所述喷气管15上端延伸至加热腔1内壁顶部，且所述喷气管15表面设置有气孔151；加热腔1下端设置有与冷却腔2上端相连的耐高温气管102，耐高温气管102与冷却腔2内部连通；所述冷却腔2的内壁顶部设置有喷淋头22，下方设置有废水腔3，侧面设置有与集气腔4相连的冷气管304；所述废水腔3通过水管203与喷淋头22相连。

进一步的，所述喷气管15下端以螺旋状向下延伸，所述气孔151均匀分布于螺旋表面。

进一步的，所述冷却腔2的内壁上部设置有倒八字型的中空隔板21，所述隔板21下端表面上均匀设置有喷淋头22；所述隔板21与水管203相连，使水通过隔板21内部从喷淋头22喷出。

进一步的，所述隔板21下方设置有与冷却腔2内侧壁相接的导板23，所述导板23与隔板21平行；所述导板23的中间间隔处设置有可活动的活塞24；所述活塞24通过下端的弹簧25与基板26连接。

进一步的，所述活塞24的截面为三角形。

进一步的，所述集气腔4的上部设置有气水分离器41，所述冷气管304通过气水分离器41与集气腔4相连。

具体使用时，生产中产生的废气有泵机14集中抽送到废气集合管12内，然后进入加热腔1，进入加热腔1以后，通过电热管11，在控制器以及温控装置下，使腔内温度达到700~800℃，让一些气体高温分解；然后通过空气管13吹入压缩空气，压缩空气从述喷气管15表面设置的气孔151排出，使废气燃烧分解；处理后的高温气体从耐高温气管102进入到冷却腔2，在冷却腔2中，通过喷淋头22喷淋降温以及溶解，然后从导板23与隔板21形成的气道通过，再一次喷淋，二次喷淋，也更有利于可溶性废气的溶解以及冷却；沉积在导板23上的水，将挤压活塞24向下运动，如图2箭头方向流下，所述活塞24为三角形，不仅具有较好的密封效果，也可以为流出的水进行导流，向外扩散的分散流出，与气体有更好的接触效果；冷却腔2的底部废水积聚，并且流入下方的废水腔3，而废水腔3的部分水由泵机14经水管203抽往冷却腔1内的喷淋头22的管路中，部分废水从废水腔3底部排水口排出；喷淋头22还与自来水管5相连，以补充新鲜的水,优选的，在自来水管5上安装一气动水阀，通电时打开，断电时关闭，为了防止突然停电以后，自来水管5一直补充水而溢出机台，影响使用。经过冷却腔2冷却后的废气经冷气管304通过气水分离器41后，气体从排气管42排出，进入下一处理工序；分离后的水从集气腔4底部的水管排入到废水腔3内。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本实用新型的保护范围。