一种清洁装置、涂布机的制作方法

文档序号:15462297发布日期:2018-09-18 18:27阅读:115来源:国知局

本发明属于涂布机装置技术领域,具体涉及一种清洁装置、涂布机。



背景技术:

在TFT-LCD的制备过程中,狭缝涂布是黄光制程中非常重要的一步。但当涂布机的基台或基板表面存在异物(如颗粒)时,会对涂布效果产生十分重要的影响,甚至会造成涂布机宕机。而当涂布机的基台或基板表面出现例如异物时需要对涂布机停机并进行人工清洗。因此,上述问题对涂布的效率影响非常大,大大增加了制备的时间,提高了制备的成本。

目前,有人研发出一种用于涂布机的清洁装置,通过粘性滚轮将基台表面的异物去除,但当基板表面存在异物时,则无法用黏性滚轮进行去除。因此,现有的清洁装置仍然达不到用户的需求。



技术实现要素:

鉴于此,为了解决上述问题,本发明提供了一种清洁装置,可用于清洁基板表面的异物,免去了人工清洁的困扰。不仅大大节约了喷涂的时间,而且还提高了产品的良率,降低了成本。

本发明第一方面提供了一种清洁装置,所述清洁装置用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件和设于所述喷嘴组件相对两侧的一对滑轨和一对第一传感器,所述第一传感器用于当所述喷嘴组件在所述滑轨上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置包括第一支架和设于所述第一支架相对两侧的导轨,所述第一支架在所述导轨上的移动方向垂直于所述喷嘴组件在所述滑轨上的滑动方向,所述第一支架包括第一驱动装置、第一传动装置和设于所述第一传动装置上的吸附装置,所述第一传感器还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置,所述第一驱动装置用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述吸附装置用于当所述第一支架沿所述导轨移动时吸附所述异物。

本发明第一方面提供的一种清洁装置,首先,当涂布机开始工作时,喷嘴组件开始沿着滑轨进行滑动并对基板表面进行喷涂。当喷涂的过程中喷嘴组件发现基板表面有异物时,此时第一传感器检测异物在滑动方向上的位置,而喷嘴组件回归初始位置。然后,第一传感器将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给第一支架中的所述第一驱动装置,第一驱动装置驱动所述第一传动装置使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,紧接着第一支架开始沿着与滑轨相垂直的导轨上进行移动,并在移动的过程中开启吸附装置,吸附装置会在移动的过程中持续进行吸附。最终,吸附装置可将基板表面的异物吸附干净,达到了清洁基板表面的目的。本发明通过第一传感器和第一支架的配合使用,可精确地将异物进行清洁,免去了人工清洁的困扰。不仅大大节约了喷涂的时间,而且还提高了产品的良率,降低了成本。

其中,所述第一支架靠近所述导轨的相对两侧设有第二传感器,所述第二传感器用于所述第一支架在所述导轨上的移动的过程中检测所述异物在所述移动方向上的方位,所述第二传感器还用于将所述异物在所述移动方向上的方位信号传输给所述吸附装置,所述吸附装置用于接收所述方位信号并开启所述吸附装置使所述异物被所述吸附装置吸附。

其中,所述清洁装置还用于清洁所述涂布机的基台表面的异物,所述清洁装置还包括可沿所述导轨移动的第二支架,所述第二支架包括第二驱动装置、第二传动装置和与所述第二传动装置相连接的粘性滚筒,所述粘性滚筒平行设置于所述基台表面,所述第二驱动装置用于驱动所述第二传动装置使所述粘性滚筒沿垂直于所述基台表面的方向移动使所述粘性滚筒贴合至所述基台表面,所述粘性滚筒用于在所述第二支架沿所述导轨移动时清洁所述基台表面的所述异物。

其中,所述清洁装置还包括控制器,所述控制器通过无线或有线的方式与所述第一驱动装置和所述第二驱动装置连接,所述控制器用于控制所述第一驱动装置和所述第二驱动装置。

其中,当所述清洁装置开始工作时,所述控制器还用于控制所述清洁装置移动至所述基台表面和所述基板表面。

其中,所述第一支架还包括第一联轴器,所述第一联轴器用于连接所述第一驱动装置和所述第一传动装置,所述第二支架还包括第二联轴器,所述第二联轴器用于连接所述第二驱动装置和所述第二传动装置。

其中,所述第一传动装置包括第一移动平台,所述第一移动平台与所述吸附装置相连接,所述第一传动装置控制所述第一移动平台移动使所述吸附装置传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述第二传动装置包括第二移动平台,所述第二移动平台与所述粘性滚筒相连接,所述第二传动装置控制所述第二移动平台移动使所述粘性滚筒沿垂直于所述基台表面的方向移动。

其中,所述第二传感器和所述第一传感器为光电传感器。

其中,所述粘性滚筒由粘性材料制成,或者所述粘性滚筒的外表面包覆有粘性材料。

本发明第二方面提供了一种涂布机,包括本发明第一方面提供的清洁装置。

本发明第二方面提供的一种涂布机,利用本发明第一方面提供的清洁装置,可精确地清洁基板表面的异物,免去了人工清洁的困扰。大大提高了产品的良率,降低了成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对本发明实施例中所需要使用的附图进行说明。

图1为本发明实施例中清洁装置的结构示意图;

图2为本发明实施例中清洁装置内第一支架的结构示意图;

图3为本发明实施例中清洁装置内第二支架的结构示意图。

具体实施方式

以下是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

请参考图1-图3本发明实施例提供的一种清洁装置1,所述清洁装置1用于当涂布机检测到基板表面有异物时进行清洁,所述涂布机包括喷嘴组件2和设于所述喷嘴组件2相对两侧的一对滑轨3和一对第一传感器4,所述第一传感器4用于当所述喷嘴组件2在所述滑轨3上滑动时检测所述异物在滑动方向上的位置,所述清洁装置1包括第一支架11和设于所述第一支架11相对两侧的导轨12,所述第一支架11在所述导轨12上的移动方向垂直于所述喷嘴组件2在所述滑轨3上的滑动方向,所述第一支架11包括第一驱动装置111、第一传动装置112和设于所述第一传动装置112上的吸附装置113,所述第一传感器4还用于将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给所述第一驱动装置111,所述第一驱动装置111用于接收所述位置信号并驱动所述第一传动装置112使所述吸附装置113传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述吸附装置113用于当所述第一支架11沿所述导轨12移动时吸附所述异物。

本发明实施例提供的一种清洁装置1,首先,当涂布机开始工作时,喷嘴组件2开始沿着滑轨3进行滑动(如图1滑轨处的箭头方向)并对基板表面进行喷涂。当喷涂的过程中喷嘴组件2发现基板表面有异物时,此时第一传感器4检测异物在滑动方向上的位置,而喷嘴组件2回归初始位置。然后,第一传感器4将所述异物在所述滑动方向上的位置信号传输给第一支架11中的所述第一驱动装置111,第一驱动装置111驱动所述第一传动装置112使所述吸附装置113传动(如图2中的箭头方向所示)至所述异物在所述滑动方向上的位置,紧接着第一支架11开始沿着与滑轨3相垂直的导轨12上进行移动(如图1中导轨处的箭头方向所示),并在移动的过程中开启吸附装置113,吸附装置113会在移动的过程中持续进行吸附。最终,吸附装置113可将基板表面的异物吸附干净,达到了清洁基板表面的目的。本发明通过第一传感器4和第一支架11的配合使用,可精确地将异物进行清洁,免去了人工清洁的困扰。不仅大大节约了喷涂的时间,而且还提高了产品的良率,降低了成本。

本发明实施方式中,所述第一支架11靠近所述导轨12的相对两侧设有第二传感器115,所述第二传感器115用于所述第一支架11在所述导轨12上的移动的过程中检测所述异物在所述移动方向上的方位,所述第二传感器115还用于将所述异物在所述移动方向上的方位信号传输给所述吸附装置113,所述吸附装置113用于接收所述方位信号并开启所述吸附装置113使所述异物被所述吸附装置113吸附。

本实施方式中,第一支架11在沿着与滑轨3相垂直的导轨12上进行移动时,吸附装置113保持关闭状态,而第二传感器115一直处于工作状态,当在移动的过程中遇到异物时,第二传感器115会检测到异物的方位。此时第二传感器115发送方位信号给吸附装置113,紧接着吸附装置113开启并吸附走异物。这样可更精确定位异物的所在位置。并且可避免吸附装置113一直开启,对已涂布的基板造成影响,提高清洁的效率,降低能耗,节约成本。

本发明实施方式中,所述清洁装置1还用于清洁所述涂布机的基台表面的异物,所述清洁装置1还包括可沿所述导轨12移动(如图1中导轨处的箭头方向所示)的第二支架13,所述第二支架13包括第二驱动装置131、第二传动装置132和与所述第二传动装置132相连接的粘性滚筒133,所述粘性滚筒133平行设置于所述基台表面,所述第二驱动装置131用于驱动所述第二传动装置132使所述粘性滚筒133沿垂直于所述基台表面的方向移动(如图3中的箭头方向所示)使粘性滚筒133贴合至所述基台表面,所述粘性滚筒133用于在所述第二支架13沿所述导轨12移动时清洁所述基台表面的所述异物。

本实施方式中,清洁装置1还可以用于在涂布机未工作时去清洁基台的表面,第二驱动装置131可驱动所述第二传动装置132使所述粘性滚筒133沿垂直于所述基台表面的方向进行上下移动,并使粘性滚筒133贴合至所述基台的表面。然后,第二支架13沿着导轨12的方向进行移动,在移动的过程中粘性滚筒133会将基台表面的异物进行粘附清洁。

本发明实施方式中,所述清洁装置1还包括控制器(未在图中示出),所述控制器通过无线或有线的方式与所述第一驱动装置111和所述第二驱动装置131连接,所述控制器用于控制所述第一驱动装置111和所述第二驱动装置131。控制器发出控制信号进而去控制所述第一驱动装置111和所述第二驱动装置131。

本发明实施方式中,当所述清洁装置1开始工作时,所述控制器还用于控制所述清洁装置1移动至所述基台表面和所述基板表面。当清洁装置1未工作时,清洁装置1位于基台或基板的下方。当清洁装置1开始工作时,控制器控制清洁装置1使清洁装置1移动至所述基台表面和所述基板表面再开始进行工作。这样不仅可以节约空间,还可不妨碍涂布机的正常运行。

本发明实施方式中,控制器还可控制第二驱动驱动装置进而控制粘性滚筒133朝基台表面下落的距离和清洁的次数,即控制粘性滚筒133与基台表面的压力,最终控制粘性滚筒133的粘附力。

本发明实施方式中,所述第一支架11还包括第一联轴器114,所述第一联轴器114用于连接所述第一驱动装置111和所述第一传动装置112,所述第二支架13还包括第二联轴器134,所述第二联轴器134用于连接所述第二驱动装置131和所述第二传动装置132。第一联轴器114通过螺纹与第一传动装置112和第一驱动装置111相连接,第二联轴器134通过螺纹与第一传动装置112和第一驱动装置111相连接。

本发明实施方式中,所述第一传动装置112包括第一移动平台116,所述第一移动平台116与所述吸附装置113相连接,所述第一传动装置112控制所述第一移动平台116移动使所述吸附装置113传动至所述异物在所述滑动方向上的位置,所述第二传动装置132包括第二移动平台136,所述第二移动平台136与所述粘性滚筒133相连接,所述第二传动装置132控制所述第二移动平台136移动使所述粘性滚筒133沿垂直于所述基台表面的方向移动。

本发明实施方式中,所述第二传感器115和所述第一传感器4为光电传感器。

本发明实施方式中,所述粘性滚筒133由粘性材料制成,或者所述粘性滚筒133的外表面包覆有粘性材料。

本发明实施方式中,所述吸附装置113表面设有多个阵列排布的吸气孔。多个阵列排布的吸气孔可更好地将异物吸附。

本发明实施方式中,第一驱动装置111和第二驱动装置131为伺服电机。

本发明实施例提供的一种涂布机,包括本发明实施例提供的清洁装置1。

本发明第二方面提供的一种涂布机,利用本发明第一方面提供的清洁装置1,可精确地清洁基板表面的异物,免去了人工清洁的困扰,大大提高了产品的良率,降低了成本。

以上对本发明实施方式所提供的内容进行了详细介绍,本文对本发明的原理及实施方式进行了阐述与说明,以上说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

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