一种剥离液再生工艺段的纯化剥离液调配系统的制作方法

本实用新型涉及一种液体调配系统，具体涉及一种剥离液再生工艺段的纯化剥离液调配系统。

背景技术：

随着国内电子制造产业和光电产业的迅速发展，光刻胶剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。在剥离液应用过程产生大量剥离液废液，该废液中除了含有少量高分子树脂和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分。从资源化的观点出发，循环再生这些剥离液不仅可以减少对环境的危害，还能降低企业的生产成本。

通常情况下，经过脱水精馏、薄膜蒸发、产品精制等过程进行剥离液的再生，但是剥离液在应用过程中，对其有效成分的浓度配比有较为严格的要求。如果再生剥离液的有效成分配比不合格，则需要对其进行调配，以满足生产应用的要求。目前的调配方式存在的问题是调配精确性差，自动化程度低，调配工作效率低。

技术实现要素：

本实用新型基于上述背景，解决上述问题，提出一种剥离液再生工艺段的纯化剥离液调配系统。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种剥离液再生工艺段的纯化剥离液调配系统，包括：检测腔、调配腔、PLC控制器、检测仪、出液控制器，其特征在于：所述检测腔设置于调配腔前端，所述检测腔与调配腔之间以进液软管连接，所述进液软管上安装有进液电磁阀，所述检测仪设置在检测腔顶部，检测仪的探头伸入检测腔内与剥离液接触，所述调配腔顶部设有A组分加料泵，所述A组分加料泵通过管道连接有A组分加料仓，所述调配腔顶部还设有B组分加料泵，所述B组分加料泵通过管道连接有B组分加料仓，所述调配腔内还设有液位计，调配腔进液端的底部设有顶升机构，所述PLC控制器与检测仪、A组分加料泵、B组分加料泵、出液控制器、进液电磁阀、液位计、顶升机构电连接。

进一步地，所述出液控制器设置在调配腔后端底部。

进一步地，所述PLC控制器上设有显示器。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

1、在调配之前，对剥离液进行自动检测，并将检测数据自动发送给PLC控制系统，可快速地为成分调配提供依据。

2、在调配腔上设置了两个加料泵，PLC控制系统可根据检测仪和液位计提供的数据，对加料泵做出加料和加料量的指示，可快速实现两种成分的精确加料。

3、PLC控制系统可自动控制出液控制器的启闭，调配完成后，即开启出液控制器，自动排出剥离液。

4、出液时，PLC控制器可控制顶升机构升高，使调配腔进液端升高，保证最大程度的出液；进液管采用进液软管，利用与顶升操作配合。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图。

图2是本实用新型控制系统示意图。

其中，1-检测腔，2-调配腔，3-PLC控制器，4-检测仪，5-进液软管，6-A组分加料仓，7-A组分加料泵，8-B组分加料仓，9-B组分加料泵，10-出液控制器，11-液位计，12-顶升机构，31-显示器，51-进液电磁阀。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1、图2所示，一种剥离液再生工艺段的纯化剥离液调配系统，包括：检测腔1、调配腔2、PLC控制器3、检测仪4、出液控制器10，其特征在于：所述检测腔1设置于调配腔2前端，所述检测腔1与调配腔2之间以进液软管5连接，所述进液软管5上安装有进液电磁阀51，所述检测仪4设置在检测腔1顶部，检测仪4的探头伸入检测腔1内与剥离液接触，所述调配腔2顶部设有A组分加料泵7，所述A组分加料泵7通过管道连接有A组分加料仓6，所述调配腔2顶部还设有B组分加料泵9，所述B组分加料泵9通过管道连接有B组分加料仓8，所述调配腔2内还设有液位计11，调配腔2进液端的底部设有顶升机构12，所述PLC控制器3与检测仪4、A组分加料泵7、B组分加料泵9、出液控制器10、进液电磁阀51、液位计11、顶升机构12电连接。

本实施例中，所述出液控制器10设置在调配腔后端底部。

本实施例中，所述PLC控制器3上设有显示器31。

本实施例中，所述检测仪4为折光式浓度检测仪。

本实施例中，所述出液控制器10上设置有电磁阀。

本实施例中，所述顶升机构12为液压顶升座。

具体的，A组分可以为二甲基亚砜，B组分可以为乙醇胺。

工作原理：在剥离液再生系统中，从精制单元产出的剥离液首先进入检测腔1，在检测腔1中与检测仪4的探头接触，检测仪4形成检测数据，并将数据传输给PLC控制器3。PLC控制器3控制开启进液软管5上的进液电磁阀51，剥离液进入调配腔2中，PLC控制器3根据检测数据判断剥离液中有效组分浓度是否有偏差，并通过判断是正偏差还是负偏差的方式来确定需要补充A组分还是B组分，同时还通过偏差的大小以及液位计11传送的液位数据来确定需要补充的量，如果是需要补充A组分，PLC控制器3则控制开启A组分加料泵7，如果需要补充B组分，PLC控制器3则控制开启B组分加料泵9，被开启的加料泵就从相应的加料仓中抽取定量的相应组分。当有效组分调配完成后，PLC控制器3则控制开启出液控制器10和顶升机构12，合格剥离液即可顺利排出。