一种用于二氧化碳发泡机的联动机构的制作方法

本实用新型属于发泡机技术领域，具体涉及一种用于二氧化碳发泡机的联动机构。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。目前的晶圆尺寸一般为8英寸晶圆，12英寸晶圆，目前的晶圆在生过程中会会用到二氧化碳发泡机，目前的发泡机在使用过程中一台设备需要一台电机，各个设备之间不能够联动，且各个设备分开放置占地面积大，生产过程中经济投入大，针对目前的发泡机使用过程中所暴露的问题，有必要对发泡机的结构进行重新改进并优化，为此我们提出一种用于二氧化碳发泡机的联动机构。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，以解决上述背景技术中提出的发泡机使用时各个设备之间不能够联动，生产设备的经济投入大的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室，所述发泡室的一侧通过支架设置有电机，所述电机的一端设置有第一旋转杆，所述第一旋转杆的一端贯穿电机的外侧表面到达电机的内部，所述第一旋转杆的另一端贯穿发泡室的侧面到达发泡室的内部，所述第一旋转杆的外侧表面通过插销设置有偏角齿轮B，所述第一旋转杆的外侧表面设置有滚动轴承，所述第一旋转杆的一端顶端设置有咬合盘，所述咬合盘的侧面设置有通孔，所述通孔的内部设置有第一固定螺栓，所述咬合盘的另一端设置有第二旋转杆，所述第二旋转杆通过咬合盘和第一固定螺栓与第一旋转杆连接固定, 所述第一旋转杆与第二旋转杆的下方均设置有发泡桨叶，所述发泡桨叶的内部设置有同步杆。

优选的，所述发泡室的侧面通过切割设置有限位槽，所述发泡室的侧面设置有滚动轴承，所述滚动轴承的侧表面设置有凹槽，所述凹槽的一侧设置有咬合棱边，所述咬合棱边设置在滚动轴承的侧面，所述咬合棱边与限位槽相咬合接触。

优选的，所述第一旋转杆的下方通过支架设置有偏角齿轮A，所述偏角齿轮B与偏角齿轮A的侧面相互啮合。

优选的，所述第二旋转杆的两端都设置有咬合盘，所述咬合盘的一侧表面均匀设置有咬合齿，且所述两个咬合盘对称安装。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）发泡机新增了联动机构，在使用时能够通过一台电机设备控制多个发泡室的运行，能够使得多个发泡室并在一起运行，减少设备的占地面积，在生产时减少了设备成本投入，同时提升了经济效应。

（2）发泡机的联动机构的滚动轴承增加了固定用结构，便于设备的固定，同时在需要变更联动机构时便于工作人员的操作，在保持结构稳定的同时提升了工作人员的劳动效率。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构示意图；

图2为本实用新型的连接盘结构示意图；

图3为本实用新型的滚动轴承结构示意图；

图4为本实用新型的滚动轴承截面结构示意图；

图5为本实用新型的滚动轴承咬合圈结构示意图；

图6为本实用新型的滚动轴承外圈固定结构示意图；

图7为本实用新型的滚动轴承连接结构示意图；

图8为本实用新型的滚动轴承侧面结构示意图；

图中：1、电机；2、发泡室；3、第一旋转杆；4、偏角齿轮B；5、滚动轴承；6、咬合盘；7、发泡桨叶；8、通孔；9、第一固定螺栓；10、限位槽；11、咬合棱边；12、凹槽；13、第二固定螺栓；14、第二旋转杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室2，发泡室2的一侧通过支架与螺栓设有电机1，电机1的一端设有第一旋转杆3，第一旋转杆3的一端贯穿电机1的外侧表面到达电机1的内部，第一旋转杆3的另一端贯穿发泡室2的侧面到达发泡室2的内部，第一旋转杆3的外侧表面通过插销设有偏角齿轮B 4，第一旋转杆3的外侧表面设有滚动轴承5，第一旋转杆3的一端顶端通过焊接设有咬合盘6，咬合盘6的侧面通过钻孔机设有通孔8，通孔8的内部设有第一固定螺栓9，咬合盘6的另一端设有第二旋转杆14，第二旋转杆14通过咬合盘6和第一固定螺栓9与第一旋转杆3连接固定。

为了在保持滚动轴承5结构稳定的同时便于滚动轴承5的更换，本实施例中，优选的，发泡室2的侧面通过切割设有限位槽10，发泡室2的侧面设有滚动轴承5，滚动轴承5的侧表面设有凹槽12，凹槽12的一侧设有咬合棱边11，咬合棱边11设在滚动轴承5的侧面，咬合棱边11与限位槽10相咬合接触。

为了便于发泡机对发泡室2内部进行发泡，本实施例中，优选的，第一旋转杆3的下方通过支架设置有偏角齿轮A，偏角齿轮B 4与偏角齿轮A的侧面相互啮合。

为了便于发泡桨叶7的动作，本实施例中，优选的，第一旋转杆3与第二旋转杆14的下方设有发泡桨叶7，发泡桨叶7的内部设有同步杆。

为了保持结构的稳固，同时使得设备便于联动，本实施例中，优选的，第二旋转杆14的两端都设有咬合盘6，咬合盘6的一侧表面均匀设有咬合齿，且两个咬合盘6对称安装。

本实用新型的工作原理及使用流程：该设备在使用时启动电机1，电机1带动第一旋转杆3旋转，第一旋转杆3在旋转过程中带动偏角齿轮4旋转，偏角齿轮4旋转时带动发泡桨叶7旋转，发泡桨叶7对发泡室2内部的发泡液体进行搅拌发泡，第一旋转杆3旋转的过程中通过咬合盘6带动第二旋转杆14以同样的角速度旋转；在设备安装时滚动轴承5通过咬合棱边11与限位槽10的接触咬合固定在发泡室2上。（电机1为：YL电机）。

实施例2

请参阅图1、图2、图6、图7和图8，本实用新型提供一种技术方案：一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室2，发泡室2的一侧通过支架与螺栓设有电机1，电机1的一端设有第一旋转杆3，第一旋转杆3的一端贯穿电机1的外侧表面到达电机1的内部，第一旋转杆3的另一端贯穿发泡室2的侧面到达发泡室2的内部，第一旋转杆3的外侧表面通过插销设有偏角齿轮B 4，第一旋转杆3的外侧表面设有滚动轴承5，第一旋转杆3的一端顶端通过焊接设有咬合盘6，咬合盘6的侧面通过钻孔机设有通孔8，通孔8的内部设有第一固定螺栓9，咬合盘6的另一端设有第二旋转杆14，第二旋转杆14通过咬合盘6和第一固定螺栓9与第一旋转杆3连接固定。

为了在保持滚动轴承5结构稳定的同时便于滚动轴承5的更换，本实施例中，优选的，滚动轴承5的侧面设有第二固定螺栓13，第二固定螺栓13的一端贯穿滚动轴承5的侧面与发泡室2的侧面到达滚动轴承5的另一面，滚动轴承5通过第二固定螺栓13固定在发泡室2上。

为了便于发泡机对发泡室2内部进行发泡，本实施例中，优选的，第一旋转杆3的下方通过支架设置有偏角齿轮A，偏角齿轮B 4与偏角齿轮A的侧面相互啮合。

为了便于发泡桨叶7的动作，本实施例中，优选的，第一旋转杆3与第二旋转杆14的下方设有发泡桨叶7，发泡桨叶7的内部设有同步杆。

为了保持结构的稳固，同时使得设备便于联动，本实施例中，优选的，第二旋转杆14的两端都设有咬合盘6，咬合盘6的一侧表面均匀设有咬合齿，且两个咬合盘6对称安装。

本实用新型的工作原理及使用流程：该设备在使用时启动电机1，电机1带动第一旋转杆3旋转，第一旋转杆3在旋转过程中带动偏角齿轮B 4旋转，偏角齿轮B 4旋转时带动发泡桨叶7旋转，发泡桨叶7对发泡室2内部的发泡液体进行搅拌发泡，第一旋转杆3旋转的过程中通过咬合盘6带动第二旋转杆14以同样的角速度旋转；在设备安装时滚动轴承5通过第一旋转杆3的栓接固定在发泡室2上。（电机1为：YL电机）。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。