一种拉晶炉富氩尾气除油系统的制作方法

文档序号:17890408发布日期:2019-06-13 15:35阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:包括沿尾气进气方向依次设置的至少一台与富氩尾气管道(1)连接的真空泵(2)、与真空泵(2)连接的丝网过滤器(3)、至少一台与丝网过滤器(3)连接的风机(4)、与风机(4)连接的冷却器(6)、至少一台与冷却器(6)连接的滤芯过滤器(7)、与滤芯过滤器(7)连接的静电除油装置(8)、至少一台与静电除油装置(8)连接的脱油吸附筒(9)以及与脱油吸附筒(9)连接的气柜;其中,

真空泵(2)与丝网过滤器(3)组成系统内的预处理除油部分,风机(4)与冷却器(6)组成系统内的再处理除油部分,滤芯过滤器(7)组成系统内过滤除油部分,静电除油装置(8)组成系统内的静电除油部分,脱油吸附筒(9)组成系统内的脱油吸附部分。

2.根据权利要求1所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述丝网过滤器(3)内设置有若干个钢丝球,所述丝网过滤器(3)底部设置有排油管道(69)。

3.根据权利要求1所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述冷却器(6)包括多排冷却流程管(61)、设置在冷却流程管(61)外的翅片(62)、套接在翅片(62)外以容纳冷却流程管(61)和翅片(62)的套管(63)、隔板以及箱体(66);所述隔板具有上隔板(64)和下隔板(65),以形成夹持套管(63)两端的夹持空间,所述上隔板(64)和下隔板(65)上设置有与套管(63)相适配的通孔;所述箱体(66)内形成有容纳隔板的工作区域,具有设置在箱体(66)上壁的排气孔(66-1)和设置在箱体(66)侧壁底部的进气孔(66-2);每排冷却流程管(61)包括正反交替折弯的多个U型折弯管,每排冷却流程管(61)具有首端和末端,每排冷却流程管(61)的首端延伸出下隔板(65)外端并连接至出液管(67),所述出液管(67)穿出对应箱体(66)的侧壁,每排冷却流程管(61)的末端延伸出上隔板(64)外端并连接至进液管(68),所述进液管(68)穿出对应箱体(66)的侧壁。

4.根据权利要求3所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述冷却流程管(61)外缘设置有沿管子轴线延伸的若干翅片(62),所述翅片(62)呈环形阵列均匀分布。

5.根据权利要求3所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述箱体(66)的下壁倾斜设置,并在在下壁的最低处侧设置有排油管道(69),所述排油管道(69)上设置有排油阀。

6.根据权利要求1所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述滤芯过滤器(7)内设置有滤芯,所述滤芯具有若干孔隙。

7.根据权利要求1所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述静电除油装置(8)外加有14KV-16KV的高压直流电以形成二个极性相反的电场。

8.根据权利要求1所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述脱油吸附筒(9)内设置有硅酸盐吸附剂。

9.根据权利要求1所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述风机(4)并联设置有三台。

10.根据权利要求1所述的一种拉晶炉富氩尾气除油系统,其特征在于:所述冷却器(6)与风机(4)之间的管道上还设置有冷却水夹套(5),所述冷却水夹套(5)上设置有冷冻水管道。

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