一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置的制作方法

文档序号:18025545发布日期:2019-06-26 01:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置,该成膜装置包括液滴喷头(11)、运动机构及固定在运动机构的运动台(13)上的基板(12);其特征在于:所述运动台(13)的上方设有工作腔(14);所述成膜装置还设有pH调节装置,该pH调节装置包括酸碱液供应装置(51)及雾化装置(52),该酸碱液供应装置(51)及雾化装置(52)之间设有连接二者的管道(54),该雾化装置(52)的雾化喷口位于该工作腔(14)内。

2.根据权利要求1所述的一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置,其特征在于:进一步设有收集酸性或碱性雾化气体的收集装置(8)及将酸性或碱性雾化气体排至所述收集装置(8)的空压机(7),该收集装置(8)与空压机(7)通过管道分别与成膜装置的工作腔(14)相连通。

3.根据权利要求2所述的一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置,其特征在于:所述的空压机(7)通过雾化装置(52)间接与所述工作腔(14)相连通,其与雾化装置之间设有连接二者的另一管道(55)。

4.根据权利要求2所述的一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置,其特征在于:所述的雾化装置(52)安装于所述工作腔(14)的上方一侧;所述的收集装置(8)通过管道连接于所述工作腔的下方腔壁上。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置,其特征在于:进一步设有pH值传感器(53),该pH值传感器(53)设于运动台(13)上方。

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