一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置的制作方法

本实用新型涉及一种微滴喷射成膜装置，尤其涉及一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置。

背景技术：

在喷墨打印后，油墨功能溶质的均匀沉积对高精度图案的形成及所制备器件的性能与应用都非常重要。在喷墨打印过程中，不仅需要调节参数，控制液滴喷射的稳定状态，而且需要控制液滴沉积形貌。在很多的液滴成膜过程中，在溶质和溶剂确定的情况下，影响成膜过程的参数一般有温度和pH值等，若对这些参数进行调节以致达到最佳参数，并以这些最佳参数控制成膜过程，则可以很好的完成均匀沉积，并达到预期的图案成型要求。

现有技术中，一般是先对溶剂进行pH值调节，再加入其它组分中进行搅拌获得成膜液，也就是说是对成膜材料进行pH值调节。例如：CN201410242562.7公开的“一种铝合金表面转化膜的成膜液及制备方法及应用”，该过程较繁琐且搅拌过程中也可能受其它因素影响会导致pH值发生变化。而且该调节方式只能在成膜之前进行调节，不能在成膜过程中进行调节，即不具有实时性。再者，酸碱成分可能会改变材料特性，对于有些材料不适合，还有可能因此堵塞喷头。因此，若是能在成膜过程中对成膜液滴进行pH值调节，以达到成膜所需的最佳参数，则可以很好的完成均匀沉积或获取复杂成膜图案。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置，其可在外部对微滴进行pH值调节，从而在成膜过程中通过调节pH值，来达到均匀沉积薄膜或复杂图案成型的要求。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术解决方案是：

一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置，该成膜装置包括液滴喷头、运动机构及固定在运动机构的运动台上的基板；所述运动台的上方设有工作腔；所述成膜装置还设有pH调节装置，该pH调节装置包括酸碱液供应装置及雾化装置，该酸碱液供应装置及雾化装置之间设有连接二者的管道，该雾化装置的雾化喷口位于该工作腔内。

优选地，进一步设有收集酸性或碱性雾化气体的收集装置及将酸性或碱性雾化气体排至所述收集装置的空压机，该收集装置与空压机通过管道分别与成膜装置的工作腔相连通。

优选地，所述的空压机通过雾化装置间接与所述工作腔相连通，其与雾化装置之间设有连接二者的另一管道。

优选地，所述的雾化装置安装于所述工作腔的上方一侧；所述的收集装置通过管道连接于所述工作腔的下方腔壁上。

优选地，进一步设有pH值传感器，该pH值传感器设于运动台上方。

采用上述方案后，由于本实用新型设有酸碱液供应装置，其用于提供酸碱液，然后经过雾化装置将酸碱液雾化成气体，从而在外部对喷射出的微滴进行pH值的调节，并可实现在成膜过程中的对pH值调节，直至pH值达到所实验成膜材料的最佳成膜pH值，最后完成均匀沉积成膜或制作复杂图案薄膜。

附图说明

图1是本实用新型所述成膜装置的整体结构图；

图2是本实用新型所述成膜装置的结构原理图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详述。

本实用新型所揭示的是一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置，如图1-2所示，为本实用新型的较佳实施例。所述成膜装置设有pH调节装置，该成膜装置一般至少包括液滴喷头11、运动机构（图中未示出）及固定在运动机构的运动台13上的基板12，该部分结构是现有技术，具体结构不再详细说明。

本实用新型的关键在于pH调节装置，所述pH调节装置包括酸碱液供应装置51及雾化装置52。该酸碱液供应装置51用于储存酸碱液，该酸碱液可以分别储存于酸碱液供应装置51中；也可以在酸碱液供应装置51内调节好酸碱混合液（例如采用类似CN201620785092.3公开的pH调节装置）。该酸碱液供应装置51及雾化装置52之间设有连接二者的管道54，酸碱液供应装置51中的酸液及碱液或者调节好的酸碱混合液通过管道54进入到雾化装置52中。所述运动台13的上方设有工作腔14，所述的雾化装置52安装在工作腔14上方一侧，其雾化喷口位于该工作腔14内。该雾化装置52对酸碱液供应装置51内的液体进行雾化后喷到工作腔14内，在工作腔14内对液滴进行pH值调节。这里可设置图像采集装置观察成膜图像进而反复对液滴进行pH值调节直至达到所需状态，该图像采集装置已另案申请，这里不再详细描述。

为了回收所述工作腔14内的雾化气体，本实用新型可以进一步设有收集装置8和空压机7，该收集装置8用于收集工作腔14内的酸性或碱性雾化气体；该空压机7将酸性或碱性雾化气体排至收集装置8中；该收集装置8与空压机7通过管道分别与所述的工作腔14相连通。具体地，该收集装置8通过管道与工作腔14的下方腔壁连接，该空压机7则可通过雾化装置52间接与工作腔14相连通，该空压机7与雾化装置52通过另一管道55相连接。回收时，启动空压机7对成膜装置的工作腔14进行清洗，即通过雾化装置52将工作腔14内的酸性或碱性雾化气体排至收集装置8中。

所述的pH调节装置还可以进一步设置pH值传感器53，该pH值传感器53可以安装于运动台13上方，设于基板12的四周任一位置，用于检测基板12的pH值变化。

上述中，“固定”、“连接”、“安装”等，均可以采用本领域技术人员可以理解的结构方式，例如机械连接或熔接等。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作任何限制，故但凡依本实用新型的权利要求和说明书所做的变化或修饰，皆应属于本实用新型专利涵盖的范围之内。