技术总结
本实用新型公开了一种可在外部对液滴进行pH值调节的成膜装置，该成膜装置包括液滴喷头、运动机构及固定在运动机构的运动台上的基板；所述运动台的上方设有工作腔；所述成膜装置还设有pH调节装置，该pH调节装置包括酸碱液供应装置及雾化装置，该酸碱液供应装置及雾化装置之间设有连接二者的管道，该雾化装置的雾化喷口位于该工作腔内。本实用新型可实现在外部对喷射出的微滴进行pH调节，从而在成膜过程中对pH值的控制，进而完成均匀沉积薄膜，图案成型的要求。
技术研发人员：李波;谢丹;舒霞云;吴常健;许克宇;陈文奂;魏智滨;张墙;肖航
受保护的技术使用者：厦门理工学院
技术研发日：2018.10.18
技术公布日：2019.06.25