一种新型真空系统的制作方法

本实用新型涉及真空系统技术领域，具体为一种新型真空系统。

背景技术：

真空系统，是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统，目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业，现有的真空系统液环真空泵无水量控制、水质较差、工作不稳定，废液量较大，环保部门接收和处理困难，且后期处理费用增加，工作现场环境较差，汽液分离罐容积小，汽液分离不充分，尾气含大量水汽，水蒸气冷凝后造成废气管道积水，管道不通畅，尾气系统带压，为此，我们提出一种新型真空系统。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种新型真空系统，具备节能和提高效率、提高安全性的优点，解决了现有的真空系统液环真空泵无水量控制、水质较差、工作不稳定，废液量较大，环保部门接收和处理困难，且后期处理费用增加，工作现场环境较差，汽液分离罐容积小，汽液分离不充分，尾气含大量水汽，水蒸气冷凝后造成废气管道积水，管道不通畅，尾气系统带压的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型真空系统，包括给水系统、第一真空泵、汽液分离罐、换热器、第二真空泵、缓冲罐和尾气系统，所述给水系统连接有第一真空泵，所述第一真空泵连接有汽液分离罐，所述汽液分离罐连接有换热器，所述换热器连接有第二真空泵，所述第二真空泵连接有缓冲罐，所述缓冲罐连接有尾气系统，所述缓冲罐与汽液分离罐连通。

优选的，所述给水系统与第一真空泵之间连通有流量计。

优选的，所述换热器与第二真空泵通过管路连通。

优选的，所述换热器与第二真空泵之间的管路连接有温度计和压力表。

优选的，所述尾气系统内废液通过溢流管线进入废液管路。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过汽液分离罐内留有工作介质，介质经管路进入换热器换热冷却至第一真空泵适合温度，从换热器流出介质经管路进入第二真空泵，管路上有温度计和压力表显示状态，介质经第二真空泵做工后从出气端进入缓冲罐分离，气相部分进入尾气系统，液相部分作为介质继续循环使用，多余部分经溢流管线进入废液管路到达环保部门，解决了现有的真空系统液环真空泵无水量控制、水质较差、工作不稳定，废液量较大，环保部门接收和处理困难，且后期处理费用增加，工作现场环境较差，汽液分离罐容积小，汽液分离不充分，尾气含大量水汽，水蒸气冷凝后造成废气管道积水，管道不通畅，尾气系统带压的问题。

附图说明

图1为本实用新型系统原理示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，一种新型真空系统，包括给水系统、第一真空泵、汽液分离罐、换热器、第二真空泵、缓冲罐和尾气系统，给水系统与第一真空泵之间连通有流量计，给水系统连接有第一真空泵，第一真空泵连接有汽液分离罐，汽液分离罐连接有换热器，换热器连接有第二真空泵，换热器与第二真空泵通过管路连通，换热器与第二真空泵之间的管路连接有温度计和压力表，第二真空泵连接有缓冲罐，缓冲罐连接有尾气系统，尾气系统内废液通过溢流管线进入废液管路，缓冲罐与汽液分离罐连通，通过汽液分离罐内留有工作介质，介质经管路进入换热器换热冷却至第一真空泵适合温度，从换热器流出介质经管路进入第二真空泵，管路上有温度计和压力表显示状态，介质经第二真空泵做工后从出气端进入缓冲罐分离，气相部分进入尾气系统，液相部分作为介质继续循环使用，多余部分经溢流管线进入废液管路到达环保部门，解决了现有的真空系统液环真空泵无水量控制、水质较差、工作不稳定，废液量较大，环保部门接收和处理困难，且后期处理费用增加，工作现场环境较差，汽液分离罐容积小，汽液分离不充分，尾气含大量水汽，水蒸气冷凝后造成废气管道积水，管道不通畅，尾气系统带压的问题。

使用时，给水系统由生产装置一楼南侧管廊水平垂直向上穿层经流量计后至第一真空泵进口，汽液分离罐内留有工作介质，介质经管路进入换热器换热冷却至第一真空泵适合温度，从换热器流出介质经管路进入第二真空泵，管路上有温度计和压力表显示状态，介质经第二真空泵做工后从出气端进入缓冲罐分离，气相部分进入尾气系统，液相部分作为介质继续循环使用，多余部分经溢流管线进入废液管路到达环保部门，解决了现有的真空系统液环真空泵无水量控制、水质较差、工作不稳定，废液量较大，环保部门接收和处理困难，且后期处理费用增加，工作现场环境较差，汽液分离罐容积小，汽液分离不充分，尾气含大量水汽，水蒸气冷凝后造成废气管道积水，管道不通畅，尾气系统带压的问题。

综上所述：该新型真空系统，通过真空系统，包括给水系统、第一真空泵、汽液分离罐、换热器、第二真空泵和缓冲罐和尾气系统的配合，解决了现有的真空系统液环真空泵无水量控制、水质较差、工作不稳定，废液量较大，环保部门接收和处理困难，且后期处理费用增加，工作现场环境较差，汽液分离罐容积小，汽液分离不充分，尾气含大量水汽，水蒸气冷凝后造成废气管道积水，管道不通畅，尾气系统带压的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。