一种新型供胶系统的制作方法

本实用新型涉及一种新型供胶系统，具体涉及一种在晶圆级光学中实现晶圆级点胶的供胶系统。

背景技术：

光学产业和半导体产业，历来是独立发展的两大产业，是国防民生的基础产业。随着光学产品在消费电子中的应用越来越普遍，消费电子市场对光学产品提出了越来越严格的新要求，比如光学结构越来越紧凑，越来越多面型复杂的阵列化设计。传统的光学加工手段已经无法满足新的光学产品加工需求，借鉴半导体设备和技术加工光学的晶圆级光学产业便应运而生，并逐步发展成熟。在晶圆级光学加工中，需要在晶圆内每个单元结构处安放微量胶水，用于后续工艺，如光学结构的固化成型或晶圆键合。在先技术的点胶机，只有一个或一定数量的点胶头，每次只能完成晶圆内局部范围的点胶，需要多次移动位置，才能完成整张晶圆点胶，生产效率低，成本高昂，更重要的是，点胶生产时间往往超出了晶圆级光学的工艺窗口时间，从而导致了晶圆级光学后续工艺失效。

技术实现要素：

为了解决先在技术中存在的问题，本实用新型提供一种新型供胶系统，包括：微流道平板、微流道平板吸盘、第一晶圆，第一晶圆吸盘，胶水存储单元、胶水驱动单元、对准机构、驱动机构，控制器，计算机；其特征在于，

微流道平板，包括微流道网格和n个汇胶槽，n为大于等于1的整数，微流道网格与汇胶槽相通；

微流道平板和第一晶圆上分别设有q个对应的定位标记，q为大于等于1的整数；

微流道平板吸盘，用于固定保持微流道平板；

第一晶圆吸盘，用于固定保持第一晶圆；

胶水驱动单元，配置为分别与胶水存储单元和微流道平板相通，进而驱动胶水存储单元中的胶水，通过胶水驱动单元流进微流道平板，进一步的，经过微流道网格汇集到汇胶槽，从而在汇胶槽形成微型胶水液滴；

对准机构，配置为检查微流道平板和第一晶圆的对应定位标记，对准机构包括用于提供测量的光源；

驱动机构，配置为调整微流道平板吸盘和第一晶圆吸盘的相对位置，进而调整微流道平板和第一晶圆的相对位置；

控制器，配置为控制驱动机构的行为，控制胶水驱动单元的行为；

计算机，配置为处理对准校正数据，并执行控制器的操作程序。

进一步的，第一晶圆选择光罩、模具、多玻璃板阵列、玻璃晶圆、半导体晶圆。

进一步的，对准机构设置在第一晶圆吸盘的上方或微流道平板吸盘的下方。

本实用新型公开的一种新型供胶系统，供胶方法包括以下步骤：

一、胶水存储单元中的胶水，在胶水驱动单元的驱动下，进入微流道平板，并经过微流道平板中的微流道网格，在汇胶槽汇聚成微型胶水液滴；

二、调节微流道平板吸盘与第一晶圆吸盘的相对位置，通过对准机构，对齐微流道平板与第一晶圆上的定位标记；

三、调节微流道平板吸盘与第一晶圆吸盘的相对位置，使所有汇胶槽中的微型胶水液滴都与第一晶圆表面接触；

四、调节微流道平板吸盘与第一晶圆吸盘的相对位置，使微型胶水液滴与汇胶槽分离，并滞留在第一晶圆表面，从而完成整张晶圆的点胶。

本实用新型所公开的一种新型供胶系统，通过微流道网格，同时在所有汇胶槽形成所需胶量的微型胶水液滴，所有微型胶水液滴同时与第一晶圆接触，并转移到第一晶圆表面，完成对整张晶圆的点胶，生产效率得到了极大提升。

附图说明

图1为本实用新型实施例一所述的一种新型供胶系统的结构示意图。

图2为本实用新型实施例一所述的微流道平板的结构示意图。

图3为本实用新型实施例二所述的一种新型供胶系统的结构示意图。

结合附图，对附图标记做以下说明：

1---微流道平板；2---微流道平板吸盘；3---第一晶圆；4---第一晶圆吸盘；5---胶水存储单元；6---胶水驱动单元；7---对准机构；8---驱动机构。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是：术语“上方”、“下方”、“顶部”、“底部”、“上表面”、“下表面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型的技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例一

如图1所示，本实施例中的一种新型供胶系统，包括：微流道平板1、微流道平板吸盘2、第一晶圆3，第一晶圆吸盘4，胶水存储单元5、胶水驱动单元6、对准机构7、驱动机构8、控制器（未示出）、计算机（未示出）。

其中，微流道平板1，包括微流道网格11和n个汇胶槽12，n为大于等于1的整数，微流道平板1和第一晶圆3上分别设有q个对应的定位标记，q为大于等于1的整数；第一晶圆可以是光罩、模具、多玻璃板阵列、玻璃晶圆、半导体晶圆。微流道平板吸盘2用于固定保持微流道平板1；第一晶圆吸盘4，用于固定保持第一晶圆3。

胶水驱动单元6，分别与胶水存储单元5和微流道平板1相通。

对准机构7配置为检查微流道平板1和第一晶圆3的对应定位标记，对准机构7包括用于提供测量的光源，本实施例中，对准机构7设置在微流道平板吸盘2下方。

驱动机构8配置为调整微流道平板吸盘2和第一晶圆吸盘4的相对位置，进而调整微流道平板1和第一晶圆3的相对位置。

控制器配置为控制驱动机构8的行为，控制胶水驱动单元6的行为。

计算机配置为处理计算对准校正数据，并执行控制器的操作程序。

如图2所示，微流道平板1中，微流道网格11与汇胶槽12相通。

实施例二

如图3所示，本实施例中的一种新型供胶系统，与实施例一的不同之处在于，对准机构7设置在第一晶圆吸盘4上方。其它结构与实施例一所述的新型供胶系统结构相同，在此不再赘述。

实施例三

一种新型供胶系统，供胶方法包括以下步骤：

一、胶水存储单元5中的胶水，在胶水驱动单元6的驱动下，进入微流道平板1，并经过微流道平板1中的微流道网格11，在汇胶槽12汇聚成微型胶水液滴；

二、调节微流道平板吸盘2与第一晶圆吸盘4的相对位置，通过对准机构7，对齐微流道平板1与第一晶圆3上的定位标记；

三、调节微流道平板吸盘2与第一晶圆吸盘4的相对位置，使所有汇胶槽12中的微型胶水液滴都与第一晶圆3表面接触；

四、调节微流道平板吸盘2与第一晶圆吸盘4的相对位置，使微型胶水液滴与汇胶槽12分离，并滞留在第一晶圆3表面，从而完成整张晶圆的点胶。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。