一种具有尾气处理功能的气相沉积炉的制作方法

1.本实用新型属于气相沉积炉技术领域，特别涉及一种具有尾气处理功能的气相沉积炉。


背景技术：

2.炭-炭复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对炭-炭复合材料产品的质量有了更高的要求。
3.化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：(1)形成挥发性物质；(2)把上述物质转移至沉积区域；(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。化学气相沉积是一种被广泛应用于生产炭-炭复合材料的工艺方法。现有的气相沉积炉中通常设有工件放置台，工件放置在工件放置台上，通过气相沉积炉底部进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内，并发生热解后形成基体碳沉积于工件的内部或表面。
4.然而，气相沉积炉工作时产生的尾气中含有不少有害物质，这些有害物质会对环境造成污染，故需要一种具有尾气处理功能的气相沉积炉，以减少尾气中的有害物质。


技术实现要素：

5.为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种具有尾气处理功能的气相沉积炉。
6.本技术实施例提供一种具有多层工件放置面的具有尾气处理功能的气相沉积炉，包括炉体和尾气过滤器；
7.所述炉体内设有反应腔室，所述炉体的顶部设有与所述反应腔室连通的尾气排出管，所述尾气排出管连通所述尾气过滤器；
8.所述尾气过滤器包括壳体和滤芯，所述壳体内设有容置腔，所述滤芯设于所述容置腔内；
9.所述壳体的底部设有进气管，所述进气管连通所述容置腔与所述尾气排出管；
10.所述壳体的顶部设有排气管；所述排气管连通所述容置腔。
11.本技术实施例提供的具有尾气处理功能的气相沉积炉，通过在炉体的尾气排出管上连通尾气过滤器，使反应腔室内产生的尾气排出到尾气过滤器中。通过尾气过滤器中的滤芯对尾气进行过滤，从而能够减少尾气中含有的有害物质。
12.作为一种可实现的方式，本技术实施例的具有尾气处理功能的气相沉积炉，所述壳体包括底壳和上盖，所述底壳的底部设有所述进气管，所述底壳的顶部具有滤芯替换口；
13.所述上盖的顶部设有所述排气管，所述上盖的底部可拆卸的连接在所述底壳的顶部。
14.这样，底壳与上盖能够拆卸，使得滤芯能够通过滤芯替换口取出或者放入到壳体
中，从而能方便滤芯的更换。
15.作为一种可实现的方式，本技术实施例的具有尾气处理功能的气相沉积炉，所述滤芯包括外壳和设置在外壳内的过滤层，所述外壳的顶部和底部均具有开口。
16.过滤层用于过滤进入到外壳内的尾气，外壳顶部、底部的开口可供尾气进入到滤芯内以及排出的滤芯外。
17.作为一种可实现的方式，本技术实施例的具有尾气处理功能的气相沉积炉，所述外壳内设有两块沿竖直方向间隔设置的隔板；
18.所述隔板上均匀分布设置有多个通孔，所述过滤层设置在两块所述隔板之间。
19.这样，过滤层由两块隔板支撑，能更加稳固的固定在外壳内。隔板上的通孔供尾气通过，减少对尾气流动造成的阻碍。
20.作为一种可实现的方式，本技术实施例的具有尾气处理功能的气相沉积炉，所述过滤层包括玻璃纤维过滤棉。
21.玻璃纤维具有稳定的过滤性能，并且耐高温、使用寿命长，非常适合用于对气体的过滤。
22.作为一种可实现的方式，本技术实施例的具有尾气处理功能的气相沉积炉，所述底壳的底部具有锥形壁，所述进气管与所述锥形壁连接，所述锥形壁的内径朝所述进气管逐渐收缩。
23.这样，尾气由进气管进入到底壳中时，通过锥形壁向外侧扩散，从而保证尾气能够更加均匀的通过过滤器。
24.作为一种可实现的方式，本技术实施例的具有尾气处理功能的气相沉积炉，所述上盖的底部与所述底壳的顶部通过螺纹连接，螺纹连接是一种简单可靠的连接方式。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1是本技术实施例提供的具有尾气处理功能的气相沉积炉的结构示意图；
27.图2是本技术实施例提供的具有尾气处理功能的气相沉积炉中尾气过滤器的结构示意图；
28.图3是本技术实施例提供的具有尾气处理功能的气相沉积炉中壳体的爆炸示意图；
29.图4是本技术实施例提供的具有尾气处理功能的气相沉积炉中滤芯的结构示意图；
30.图5是本技术实施例提供的具有尾气处理功能的气相沉积炉中隔板的结构示意图。
31.附图标记说明：
32.1-炉体；11-尾气排出管；2-尾气过滤器；21-壳体；211-底壳；2111-锥形壁；212-上盖；22-滤芯；221-外壳；222-过滤层；223-隔板；2231-通孔；23-进气管；24-排气管。
具体实施方式
33.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.参见图1-5所示，本技术实施例提供一种具有多层工件放置面的具有尾气处理功能的气相沉积炉，包括炉体1和尾气过滤器2；
35.炉体1内设有反应腔室，炉体1的顶部设有与反应腔室连通的尾气排出管11，尾气排出管11连通尾气过滤器2；
36.尾气过滤器2包括壳体21和滤芯22，壳体21内设有容置腔，滤芯22设于容置腔内；
37.壳体21的底部设有进气管23，进气管23连通容置腔与尾气排出管11；
38.壳体21的顶部设有排气管24；排气管24连通容置腔。
39.本技术实施例提供的具有尾气处理功能的气相沉积炉，通过在炉体1的尾气排出管11上连通尾气过滤器2，使反应腔室内产生的尾气排出到尾气过滤器2中。通过尾气过滤器2中的滤芯22对尾气进行过滤，从而能够减少尾气中含有的有害物质。
40.本技术实施例中，壳体21包括底壳211和上盖212，底壳211的底部设有进气管23，底壳211的顶部具有滤芯22替换口；
41.上盖212的顶部设有排气管24，上盖212的底部可拆卸的连接在底壳211的顶部。
42.这样，底壳211与上盖212能够拆卸，使得滤芯22能够通过滤芯22替换口取出或者放入到壳体21中，从而能方便滤芯22的更换。
43.本技术实施例中，滤芯22包括外壳221和设置在外壳221内的过滤层222，外壳221的顶部和底部均具有开口。
44.过滤层222用于过滤进入到外壳221内的尾气，外壳221顶部、底部的开口可供尾气进入到滤芯22内以及排出的滤芯22外。
45.本技术实施例中，外壳221内设有两块沿竖直方向间隔设置的隔板223；
46.隔板223上均匀分布设置有多个通孔2231，过滤层222设置在两块隔板223之间。
47.这样，过滤层222由两块隔板223支撑，能更加稳固的固定在外壳221内。隔板223上的通孔2231供尾气通过，减少对尾气流动造成的阻碍。
48.本技术实施例中，过滤层222包括玻璃纤维过滤棉。
49.玻璃纤维具有稳定的过滤性能，并且耐高温、使用寿命长，非常适合用于对气体的过滤。
50.本技术实施例中，底壳211的底部具有锥形壁2111，进气管23与锥形壁2111连接，锥形壁2111的内径朝进气管23逐渐收缩。
51.这样，尾气由进气管23进入到底壳211中时，通过锥形壁2111向外侧扩散，从而保证尾气能够更加均匀的通过过滤器。
52.本技术实施例中，上盖212的底部与底壳211的顶部通过螺纹连接，螺纹连接是一种简单可靠的连接方式。
53.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限
制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。