技术特征：
1.一种自动涂胶管路，其特征在于，所述管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4)，所述氮气管(1)连接在所述光阻瓶(2)上，所述光阻瓶(2)通过第一管道(5)与所述回流瓶(3)连接，所述回流瓶(3)通过第二管道(6)与所述光阻喷头(4)连接，所述第二管道(6)上设有回吸阀(7)，所述回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8)，所述氮气管(1)上设有氮气阀(11)，所述回流瓶(3)上设有排气管(9)，所述排气管(9)上设有排气阀(91)。2.根据权利要求1所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述光阻瓶(2)为加仑光阻瓶。3.根据权利要求1所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述压缩空气阀(8)、氮气阀(11)、回吸阀(7)和排气阀(91)均为电磁阀。4.一种自动涂胶系统，包括权利要求1-3中任意一项所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述系统还包括：用于控制光阻喷头(4)位置的驱动组件，所述驱动组件与所述光阻喷头(4)连接；用于检测待涂胶晶圆水平位置的传感器；plc控制单元，所述plc控制模块分别与所述传感器、驱动组件、压缩空气阀(8)、氮气阀(11)、回吸阀(7)和排气阀(91)连接；用于设定涂胶参数的处理器，所述处理器与所述plc控制单元连接，所述涂胶参数包括涂胶量、涂胶速度和涂胶位置。5.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述驱动组件包括驱动电机和旋转马达，所述驱动电机分别与所述plc控制单元、旋转马达连接，所述旋转马达与所述光阻喷头(4)连接。6.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述传感器为限位传感器。7.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述plc控制单元包括plc控制器。8.根据权利要求5所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述驱动电机为步进电机。9.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述处理器为arm处理器。10.根据权利要求7所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述plc控制单元还包括继电器开关和电源转换器，所述继电器开关和电源转换器分别与所述plc控制器连接。
技术总结
本实用新型公开了一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统，属于光刻胶技术领域，管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4)，氮气管(1)连接在光阻瓶(2)上，光阻瓶(2)通过第一管道(5)与回流瓶(3)连接，回流瓶(3)通过第二管道(6)与光阻喷头(4)连接，第二管道(6)上设有回吸阀(7)，回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8)，氮气管(1)上设有氮气阀(11)，回流瓶(3)上设有排气管(9)，排气管(9)上设有排气阀(91)，该管路利用氮气加压实现自动喷涂，通过回吸组件确保喷胶时不产生气泡和胶滴落；系统实现全自动涂胶，提高工作效率，既能保证涂胶的均匀性又能节省材料。保证涂胶的均匀性又能节省材料。保证涂胶的均匀性又能节省材料。
技术研发人员：王旭东
受保护的技术使用者：成都海威华芯科技有限公司
技术研发日：2021.12.28
技术公布日：2022/5/10