用于涂布设备的装配机构的制作方法

本公开涉及一种用于涂布设备的装配机构。

背景技术：

1、目前，随着电子核心产业的高速发展，在半导体集成电路制造过程中在晶圆片的表面形成涂膜的技术越来越得到发展。例如，在晶圆级封装(wafer-level packaging)、晶圆片材表面膜层涂敷、生物医用芯片、微流控芯片等领域，在生产、制造、加工芯片的过程中，可能需要在晶圆片的表面上涂布规定溶液以形成涂膜，而后再对晶圆片进行后续处理。

2、在现有技术中，通常使用具有涂布头的涂布设备在晶圆片的表面形成涂膜。具体而言，使容纳有规定溶液的涂布头从晶圆片的一侧移动至另一侧以将规定溶液分配至晶圆片，并对分布于晶圆片表面的规定溶液进行干燥以在晶圆片的表面形成涂膜。

3、然而，在上述现有技术中，在对涂布头进行安装时，由于涂布头通常具有较大的重量，安装时可能由于例如臂力不足而造成难以稳定地进行安装操作。

技术实现思路

1、本公开是有鉴于上述现有技术的状况而提出的，其目的在于提供一种用于涂布设备的有助于稳定地进行安装操作的装配机构。

2、为此，本公开提供一种用于涂布设备的装配机构，所述涂布设备包括底座、设置在所述底座上且形成为龙门结构的支承机构、可拆卸地安装在所述支承机构的横梁上的涂布模头、以及布置在所述支承机构的横梁下方且承载涂布对象的基台，所述涂布模头具有容纳浆料的腔室、以及与所述腔室连通且呈狭缝状的出料口，所述出料口朝向承载在所述基台上的涂布对象，所述装配机构包括相对布置且可相对移动的上底部和下底部、以及设置在所述上底部与所述下底部之间的驱动部，所述驱动部驱动所述上底部朝向远离或靠近所述下底部的方向移动，所述上底部具有凹向所述下底部且呈沟状的对接槽，所述上底部的长度不大于所述支承机构的两个支柱的间距并且所述对接槽的长度不小于所述出料口的长度。

3、在本公开所涉及的装配机构中，装配机构具有相对布置且配置为可相对移动的上底部和下底部、以及设置在所述上底部与下底部之间的驱动部，驱动部驱动上底部朝向远离或靠近下底部的方向移动。在这种情况下，当对涂布设备的涂布模头进行装配时，涂布模头可以被置于上底部上且通过驱动部的驱动而被抬升，由此能够减少对人为作用力的需要从而有助于稳定地进行安装操作。另外，上底部具有呈沟状的对接槽，涂布模头可以以出料口对接于对接槽的方式而被置于上底部，由此能够便于在安装时进行对位。

4、另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述对接槽的正交于长度方向的剖面呈梯形状，所述对接槽的底面的长度基本上等于所述出料口的长度且所述对接槽的底面的宽度基本上等于所述出料口的宽度。由此，能够便于涂布模头与对接槽对接。

5、另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，当所述装配机构在使用时，所述上底部定位为沿着重力方向高于所述下底部，所述驱动部驱动所述上底部沿着重力方向移动。由此，通过上底部沿着重力方向进行移动能够便于对涂布模头进行顶升或降低。

6、另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述上底部还包括液槽、以及与所述液槽连通的引流槽，所述引流槽配置为引导流体流出所述液槽。由此，通过液槽能够便于承接涂布模头中流出的废液，并且能够引流槽能够便于将液槽内的流体引导流出。

7、另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述驱动部包括旋转电机、设置在所述下底部上的十字轴、以及经由所述十字轴而与所述旋转电机联动的丝杆，当所述装配机构在使用时，所述旋转电机的输出轴沿着水平方向并且所述丝杆沿着竖直方向。由此，能够提供一种升降机制。

8、另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述十字轴的数量为4个并且各个十字轴经由传动轴连接而被布置为矩形状或u字状，所述旋转电机的输出轴与其中一个十字轴连接，所述丝杆的数量为4个并且分别与各个十字轴连接。在这种情况下，通过将十字轴布置为矩形状或u字状并通过分别设置在十字轴上的丝杆对上底部进行支承，由此能够更稳定地对上底部进行抬升。

9、另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，还包括设置在所述驱动部与所述上底部之间或所述驱动部与所述下底部之间的压力传感器。在这种情况下，当置于上底部上的涂布模头上升并抵接于支承机构的横梁时，压力传感器将感测到更大的压力，从而能够方便提供一种反馈机制来控制驱动部的起停。

10、另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述装配机构还包括设置在所述上底部上的固定部，所述固定部包括相对布置在所述对接槽两侧且配置为能够相向移动的第一夹持件和第二夹持件。由此，能够更稳定地将涂布模头置于上底部上。

11、另外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述上底部和所述下底部呈板状且所述上底部与所述下底部平行布置。

12、此外，在本公开所涉及的装配机构中，可选地，所述底座包括并排布置的两个导轨，所述支承机构的两个支柱分别设置在所述两个导轨上。

13、根据本公开的装配机构，能够有助于稳定地进行安装操作。

技术特征：

1.一种用于涂布设备的装配机构，其特征在于，所述涂布设备包括底座、设置在所述底座上且形成为龙门结构的支承机构、可拆卸地安装在所述支承机构的横梁上的涂布模头、以及布置在所述支承机构的横梁下方且承载涂布对象的基台，所述涂布模头具有容纳浆料的腔室、以及与所述腔室连通且呈狭缝状的出料口，所述出料口朝向承载在所述基台上的涂布对象，所述装配机构包括相对布置且可相对移动的上底部和下底部、以及设置在所述上底部与所述下底部之间的驱动部，所述驱动部驱动所述上底部朝向远离或靠近所述下底部的方向移动，所述上底部具有凹向所述下底部且呈沟状的对接槽，所述上底部的长度不大于所述支承机构的两个支柱的间距并且所述对接槽的长度不小于所述出料口的长度。

2.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述对接槽的正交于长度方向的剖面呈梯形状，所述对接槽的底面的长度基本上等于所述出料口的长度且所述对接槽的底面的宽度基本上等于所述出料口的宽度。

3.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，当所述装配机构在使用时，所述上底部定位为沿着重力方向高于所述下底部，所述驱动部驱动所述上底部沿着重力方向移动。

4.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述上底部还包括液槽、以及与所述液槽连通的引流槽，所述引流槽配置为引导流体流出所述液槽。

5.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述驱动部包括旋转电机、设置在所述下底部上的十字轴、以及经由所述十字轴而与所述旋转电机联动的丝杆，当所述装配机构在使用时，所述旋转电机的输出轴沿着水平方向并且所述丝杆沿着竖直方向。

6.根据权利要求5所述的装配机构，其特征在于，所述十字轴的数量为4个并且各个十字轴经由传动轴连接而被布置为矩形状或u字状，所述旋转电机的输出轴与其中一个十字轴连接，所述丝杆的数量为4个并且分别与各个十字轴连接。

7.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，还包括设置在所述驱动部与所述上底部之间或所述驱动部与所述下底部之间的压力传感器。

8.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述装配机构还包括设置在所述上底部上的固定部，所述固定部包括相对布置在所述对接槽两侧且配置为能够相向移动的第一夹持件和第二夹持件。

9.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述上底部和所述下底部呈板状且所述上底部与所述下底部平行布置。

10.根据权利要求1所述的装配机构，其特征在于，所述底座包括并排布置的两个导轨，所述支承机构的两个支柱分别设置在所述两个导轨上。

技术总结
本公开描述一种用于涂布设备的装配机构，涂布设备包括底座、设置在底座上且形成为龙门结构的支承机构、可拆卸地安装在支承机构的横梁上的涂布模头、以及布置在支承机构的横梁下方且承载涂布对象的基台，涂布模头具有容纳浆料的腔室、以及与腔室连通且呈狭缝状的出料口，出料口朝向承载在基台上的涂布对象，装配机构包括相对布置且可相对移动的上底部和下底部、以及设置在上底部与下底部之间的驱动部，驱动部驱动上底部朝向远离或靠近下底部的方向移动，上底部具有凹向下底部且呈沟状的对接槽，上底部的长度不大于支承机构的两个支柱的间距并且对接槽的长度不小于出料口的长度。

技术研发人员：郑新峰,王锦山
受保护的技术使用者：上海德沪涂膜设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15